噴嘴的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種噴嘴，包括：噴嘴本體，噴嘴本體內(nèi)設(shè)置有供流體流通的腔體；浮子，浮子包括浮子本體，浮子本體的外周面與腔體的內(nèi)周面形成供流體流出的流通間隙；其中，腔體呈錐形，浮子相對于噴嘴本體沿腔體的進(jìn)口端和腔體的出口端的連線的方向可移動地設(shè)置并具有朝向腔體的進(jìn)口端移動的趨勢，浮子沿進(jìn)口端至出口端的方向移動的過程中流通間隙逐漸增大。當(dāng)由腔體的進(jìn)口端進(jìn)入的流體的流量較大時，浮子在流體的沖擊力的作用下沿進(jìn)口端至出口端的方向移動，流通間隙逐漸增大，有效地減小了流速，當(dāng)流體的流量較小時流通間隙也較小，有利于保證經(jīng)流通間隙流出的流體的流速，實現(xiàn)了噴嘴根據(jù)流體的流量大小自行調(diào)節(jié)流速的功能。
【專利說明】
噴嘴

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種噴嘴。

【背景技術(shù)】
[0002]多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域中，還原爐是生產(chǎn)多晶硅的核心設(shè)備，主要含有三氯氫硅和氫氣的混合氣經(jīng)由混合氣噴嘴進(jìn)入爐腔內(nèi)，在高溫高壓下完成反應(yīng)，生成的硅沉積在硅芯棒上。一般混合氣噴嘴的氣體速度只能隨著氣量的變化而變化，在混合氣流量較小時噴嘴出口處的流速較小，混合氣達(dá)不到硅棒頂端，影響爐內(nèi)熱場分布，造成硅棒上端局部溫度較高，生成菜花狀多晶硅，嚴(yán)重時出現(xiàn)燒流等熔硅現(xiàn)象。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)的噴嘴不能根據(jù)氣量大小自行調(diào)節(jié)流速，進(jìn)而滿足多晶硅棒正常生長的問題。尤其是在還原爐啟爐初始階段，混合氣氣量較小時，原固定噴嘴噴出的氣體流速較小，會導(dǎo)致混合氣達(dá)不到硅芯頂端，而造成硅芯上部溫度較高，出現(xiàn)燒流或打火現(xiàn)象，中后期會出現(xiàn)表面粗糙甚至菜花狀外觀的現(xiàn)象，大大降低了多晶硅的外觀品質(zhì)，不利于產(chǎn)品處理和銷售。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型旨在提供一種根據(jù)流體的流量的大小自行調(diào)節(jié)流速的噴嘴。
[0005]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了一種噴嘴，噴嘴包括:噴嘴本體，噴嘴本體內(nèi)設(shè)置有供流體流通的腔體；浮子，浮子包括浮子本體，浮子本體的外周面與腔體的內(nèi)周面形成供流體流出的流通間隙；其中，腔體呈錐形，浮子相對于噴嘴本體沿腔體的進(jìn)口端和腔體的出口端的連線的方向可移動地設(shè)置并具有朝向腔體的進(jìn)口端移動的趨勢，浮子沿進(jìn)口端至出口端的方向移動的過程中流通間隙逐漸增大。
[0006]進(jìn)一步地，腔體為豎直設(shè)置，腔體的出口端位于腔體的進(jìn)口端的上方。
[0007]進(jìn)一步地，噴嘴還包括用于驅(qū)動浮子沿腔體的出口端至腔體的進(jìn)口方向移動的彈性驅(qū)動部。
[0008]進(jìn)一步地，浮子還包括與浮子本體同軸設(shè)置的錐形導(dǎo)流部，錐形導(dǎo)流部設(shè)置在浮子本體的朝向腔體的進(jìn)口端的一端，錐形導(dǎo)流部的錐形角大于腔體的內(nèi)周面的錐形角。
[0009]進(jìn)一步地，浮子本體呈圓錐形，浮子本體的錐度與腔體的錐度相同。
[0010]進(jìn)一步地，浮子以其軸心為旋轉(zhuǎn)中心可轉(zhuǎn)動地設(shè)置，浮子本體的外周面上設(shè)置有多個導(dǎo)流槽，導(dǎo)流槽相對于浮子本體的母線傾斜，多個導(dǎo)流槽的傾斜方向一致。
[0011]進(jìn)一步地，噴嘴還包括與腔體的延伸方向一致的導(dǎo)向件，浮子相對于噴嘴本體沿導(dǎo)向件的延伸方向可移動地設(shè)置。
[0012]進(jìn)一步地，噴嘴還包括限位件，限位件與導(dǎo)向件連接，限位件設(shè)置在浮子由腔體的進(jìn)口端向腔體的出口端的方向移動的路徑上。
[0013]進(jìn)一步地，導(dǎo)向件為導(dǎo)向管，導(dǎo)向管用于流通部分的流體。
[0014]應(yīng)用本實用新型的技術(shù)方案，噴嘴包括噴嘴本體和浮子，噴嘴本體內(nèi)設(shè)置有供流體流通的腔體，浮子包括浮子本體，浮子本體的外周面與腔體內(nèi)周面形成供流體流出的流通間隙，其中，腔體呈錐形，浮子相對于噴嘴本體沿腔體的進(jìn)口端和腔體的出口端的連線的方向可移動地設(shè)置并具有朝向所述腔體的進(jìn)口端移動的趨勢，浮子沿進(jìn)口端至出口端的方向移動的過程中流通間隙逐漸增大。應(yīng)用本實用新型的技術(shù)方案，當(dāng)由腔體的進(jìn)口端進(jìn)入的流體的流量較大時，浮子在流體的沖擊力的作用下沿進(jìn)口端至出口端的方向移動，流通間隙逐漸增大，有效地減小了流速，當(dāng)流體的流量較小時流通間隙也較小，有利于保證經(jīng)流通間隙流出的流體的流速，實現(xiàn)了噴嘴根據(jù)流體的流量大小自行調(diào)節(jié)流速的功能。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]構(gòu)成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本實用新型的進(jìn)一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0016]圖1示出了本實用新型實施例的噴嘴的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]附圖標(biāo)記:1、噴嘴本體；11、腔體；2、浮子；21、浮子本體；22、錐形導(dǎo)流部；3、導(dǎo)向件；4、限位件。

【具體實施方式】
[0018]需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實施例來詳細(xì)說明本實用新型。
[0019]如圖1所示，本實用新型實施例的噴嘴包括噴嘴本體I和浮子2，噴嘴本體I內(nèi)設(shè)置有供流體流通的腔體11。浮子2包括浮子本體21，浮子本體21的外周面與腔體11的內(nèi)周面形成供流體流出的流通間隙。其中，腔體11呈錐形，浮子2相對于噴嘴本體I沿腔體11的進(jìn)口端和腔體11的出口端的連線的方向可移動地設(shè)置并具有朝向腔體11的進(jìn)口端移動的趨勢，浮子2沿進(jìn)口端至出口端的方向移動的過程中流通間隙逐漸增大。在腔體11中無流體流通的狀態(tài)下流通間隙最小。
[0020]本實施例中，腔體11為豎直設(shè)置，腔體11的出口端位于腔體11的進(jìn)口端的上方。浮子2在重力的作用下具有向腔體11的進(jìn)口端運動的趨勢。在腔體11中無流體流通的狀態(tài)下，浮子2位于其移動路徑的最下方且流通間隙最小。
[0021]在腔體11中的流體的流量增大的過程中，浮子2在流體的沖擊力的作用下沿腔體11的進(jìn)口端至腔體11的出口端的方向移動，流通間隙逐漸增大，有利于降低由流通間隙流出的流體的流速。
[0022]在腔體11中的流體的流量減小的過程中，浮子2在重力的作用下沿腔體11的出口端至腔體11的進(jìn)口端的方向移動，流通間隙逐漸減小，有利于增大由流通間隙流出的流體的流速。
[0023]因此，本實施例的噴嘴實現(xiàn)了根據(jù)流體的流量自動調(diào)節(jié)流速的功能。實現(xiàn)將不同流量的流體以一定的流速輸出的技術(shù)效果。
[0024]浮子2還包括與浮子本體21同軸設(shè)置的錐形導(dǎo)流部22，錐形導(dǎo)流部22設(shè)置在浮子本體21的朝向腔體11的進(jìn)口端的一端，錐形導(dǎo)流部22的錐形角大于腔體的內(nèi)周面的錐形角。
[0025]錐形導(dǎo)流部22可以有效地降低浮子2的朝向腔體11的進(jìn)口端的端面對流體的阻力，改變錐形導(dǎo)流部22的錐度能夠調(diào)節(jié)流體對浮子2的沖擊力，從而實現(xiàn)對浮子2移動所需流體的流量的調(diào)節(jié)，進(jìn)而實現(xiàn)了對經(jīng)流通間隙流出的流體的流速的調(diào)節(jié)。
[0026]浮子本體21呈圓錐形，浮子本體21的錐度與腔體11的錐度相同。
[0027]浮子2以其軸心為旋轉(zhuǎn)中心可轉(zhuǎn)動地設(shè)置，浮子本體21的外周面上設(shè)置有多個導(dǎo)流槽，導(dǎo)流槽相對于浮子本體21的母線傾斜，多個導(dǎo)流槽的傾斜方向一致。
[0028]浮子2相對于噴嘴本體I以浮子2的軸心為旋轉(zhuǎn)中心可轉(zhuǎn)動地設(shè)置。流經(jīng)導(dǎo)流槽的流體沖擊導(dǎo)流槽的側(cè)壁，以使浮子2相對于噴嘴本體I以浮子2的軸心轉(zhuǎn)動。有利于多組分的流體充分的混合。
[0029]噴嘴還包括與腔體11的延伸方向一致的導(dǎo)向件3，浮子2相對于噴嘴本體I沿導(dǎo)向件3的延伸方向可移動地設(shè)置。
[0030]浮子2與導(dǎo)向件3同軸地設(shè)置，浮子2套設(shè)在導(dǎo)向件3上并相對于導(dǎo)向件3以導(dǎo)向件3為軸可轉(zhuǎn)動地設(shè)置。
[0031]導(dǎo)向件3為導(dǎo)向管，導(dǎo)向管用于流通部分的流體。在浮子2相對于噴嘴本體I沿腔體11的進(jìn)口端與腔體的出口端的連線的方向移動的過程中，可能會出現(xiàn)因流通間隙過小，而無法保證充足的流體的問題，為了解決這一問題將導(dǎo)向件3設(shè)置為導(dǎo)向管以輸送部分的流體。
[0032]噴嘴還包括限位件4，限位件4與導(dǎo)向件3連接，限位件4設(shè)置在浮子2由腔體11的進(jìn)口端向腔體11的出口端的方向移動的路徑上。
[0033]為了適應(yīng)噴嘴本體的供流體流通的腔體11非豎直設(shè)置的情況，在本實用新型的另一優(yōu)選實施例中，噴嘴還包括用于驅(qū)動浮子2由腔體11的出口端至腔體11的進(jìn)口方向移動的彈性驅(qū)動部。彈性驅(qū)動部包括彈簧。浮子2由腔體11的出口端至腔體11的進(jìn)口方向移動的過程中，流通間隙逐漸減小。
[0034]在腔體11中的流體的流量減小的過程中，浮子2在彈性驅(qū)動部的作用下沿腔體11的出口端至腔體11的進(jìn)口端的方向移動，流通間隙逐漸減小，有利于增大由流通間隙流出的流體的流速。
[0035]以上所述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本實用新型，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種噴嘴，其特征在于，所述噴嘴包括: 噴嘴本體(I)，所述噴嘴本體(I)內(nèi)設(shè)置有供流體流通的腔體(11); 浮子(2)，所述浮子(2)包括浮子本體(21)，所述浮子本體(21)的外周面與所述腔體(11)的內(nèi)周面形成供所述流體流出的流通間隙； 其中，所述腔體(11)呈錐形，所述浮子⑵相對于所述噴嘴本體⑴沿所述腔體(11)的進(jìn)口端和所述腔體(11)的出口端的連線的方向可移動地設(shè)置并具有朝向所述腔體(11)的進(jìn)口端移動的趨勢，所述浮子(2)沿所述進(jìn)口端至所述出口端的方向移動的過程中所述流通間隙逐漸增大。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴嘴，其特征在于，所述腔體(11)為豎直設(shè)置，所述腔體(11)的出口端位于所述腔體(11)的進(jìn)口端的上方。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴嘴，其特征在于，所述噴嘴還包括用于驅(qū)動所述浮子(2)沿所述腔體(11)的出口端至所述腔體(11)的進(jìn)口方向移動的彈性驅(qū)動部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴嘴，其特征在于，所述浮子(2)還包括與所述浮子本體(21)同軸設(shè)置的錐形導(dǎo)流部(22)，所述錐形導(dǎo)流部(22)設(shè)置在所述浮子本體(21)的朝向所述腔體(11)的進(jìn)口端的一端，所述錐形導(dǎo)流部(22)的錐形角大于所述腔體的內(nèi)周面的錐形角。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴嘴，其特征在于，所述浮子本體(21)呈圓錐形，所述浮子本體(21)的錐度與所述腔體(11)的錐度相同。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的噴嘴，其特征在于，所述浮子(2)以其軸心為旋轉(zhuǎn)中心可轉(zhuǎn)動地設(shè)置，所述浮子本體(21)的外周面上設(shè)置有多個導(dǎo)流槽，所述導(dǎo)流槽相對于所述浮子本體(21)的母線傾斜，所述多個導(dǎo)流槽的傾斜方向一致。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴嘴，其特征在于，所述噴嘴還包括與所述腔體(11)的延伸方向一致的導(dǎo)向件(3)，所述浮子(2)相對于所述噴嘴本體(I)沿所述導(dǎo)向件(3)的延伸方向可移動地設(shè)置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的噴嘴，其特征在于，所述噴嘴還包括限位件(4)，所述限位件(4)與所述導(dǎo)向件(3)連接，所述限位件⑷設(shè)置在所述浮子(2)由所述腔體(11)的進(jìn)口端向所述腔體(11)的出口端的方向移動的路徑上。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的噴嘴，其特征在于，所述導(dǎo)向件(3)為導(dǎo)向管，所述導(dǎo)向管用于流通部分的所述流體。
【文檔編號】C01B33/035GK204251348SQ201420719974
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年11月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月25日
【發(fā)明者】孫強(qiáng), 萬燁, 嚴(yán)大洲, 湯傳斌, 喬兵超 申請人:中國恩菲工程技術(shù)有限公司