處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)，包括：第一加熱裝置，具有回收料入口、第一加熱處理的回收料出口、第一殼程入口和第一殼程出口；第二加熱單元，具有第一加熱處理的回收料入口、第二加熱處理的回收料出口、第二殼程入口和第二殼程出口，第一加熱處理的回收料入口與第一加熱處理的回收料出口相連；第一精餾單元，具有經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料入口、第一塔頂蒸汽出口和第一塔釜液出口，第二加熱處理的回收料入口與第二加熱處理的回收料出口相連，第一塔釜液出口與第二殼程入口相連；以及第二精餾裝置，具有物料入口、液態(tài)輕組分出口和第二塔釜液出口，物料入口與第一塔頂蒸汽出口相連，第二塔釜液出口與第一殼程入口相連。
【專利說(shuō)明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型屬于多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，具體而言，本實(shí)用新型涉及一種處理多晶硅尾 氣干法回收料的系統(tǒng)。 處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)

【背景技術(shù)】
[0002] 多晶硅是集成電路和光伏發(fā)電的關(guān)鍵原材料，干法回收料作為多晶硅生產(chǎn)工藝中 的中間產(chǎn)品，其處理的好壞直接影響多晶硅產(chǎn)品的質(zhì)量及單位產(chǎn)品能耗。目前，隨著多晶硅 生產(chǎn)規(guī)模的不斷擴(kuò)大，需要處理的干法回收料量逐漸增大，而目前常見(jiàn)的做法為復(fù)制和增 加生產(chǎn)線，這樣大幅增加了處理干法回收料的能耗及設(shè)備投資。
[0003] 因而，現(xiàn)有的處理多晶硅尾氣干法回收料的技術(shù)有待進(jìn)一步改進(jìn)。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0004] 本實(shí)用新型旨在至少在一定程度上解決上述技術(shù)問(wèn)題之一或至少提供一種有用 的商業(yè)選擇。為此，本實(shí)用新型的一個(gè)目的在于提出一種處理多晶硅尾氣干法回收料的系 統(tǒng)，該系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)熱量和冷量的最優(yōu)綜合利用，從而顯著降低設(shè)備投資和能耗。
[0005] 在本實(shí)用新型的一個(gè)方面，本實(shí)用新型提出了一種處理多晶硅尾氣干法回收料的 系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括：
[0006] 第一加熱裝置，所述第一加熱裝置具有回收料入口、經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料 出口、第一殼程入口和第一殼程出口；
[0007] 第二加熱單元，所述第二加熱單元具有經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料入口、經(jīng)過(guò)第 二加熱處理的回收料出口、第二殼程入口和第二殼程出口，所述經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收 料入口與所述經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料出口相連；
[0008] 第一精餾單元，所述第一精餾單元具有經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料入口、第一塔 頂蒸汽出口和第一塔釜液出口，所述經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料入口與所述經(jīng)過(guò)第二加熱 處理的回收料出口相連，所述第一塔釜液出口與所述第二殼程入口相連；以及
[0009] 第二精餾裝置，所述第二精餾裝置具有物料入口、液態(tài)輕組分出口和第二塔釜液 出口，所述物料入口與所述第一塔頂蒸汽出口相連，所述第二塔釜液出口與所述第一殼程 入口相連。
[0010] 根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)通過(guò)將精餾處理過(guò) 程所得到的塔釜液作為熱源對(duì)待精餾物料進(jìn)行預(yù)熱處理，同時(shí)使得塔釜液得以降溫，進(jìn)而 實(shí)現(xiàn)了熱量和冷量的綜合利用，從而顯著降低了設(shè)備投資和能耗。
[0011] 另外，根據(jù)本實(shí)用新型上述實(shí)施例的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)還可以具 有如下附加的技術(shù)特征：
[0012] 在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述第一塔頂蒸汽出口與所述第二精餾裝置中再 沸器的蒸汽入口相連，所述第二精餾裝置中再沸器的冷凝液出口與所述物料入口相連。由 此，可以實(shí)現(xiàn)熱量和冷量的綜合利用。
[0013] 在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)進(jìn)一步包 括：緩沖罐，所述緩沖罐具有冷凝液入口、第一冷凝液出口和第二冷凝液出口，所述冷凝液 入口與所述再沸器的冷凝液出口相連，所述第一冷凝液出口與所述第一精餾單元相連，所 述第二冷凝液出口與所述物料入口相連。由此，可以進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)熱量和冷量的綜合利用。
[0014] 在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述第二加熱單元進(jìn)一步包括：第三加熱裝置，所 述第三加熱裝置具有所述經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料入口、經(jīng)過(guò)第三加熱處理的回收料出 口、第三殼程入口和第三殼程出口，所述經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料入口與所述經(jīng)過(guò)第一 加熱處理的回收料出口相連；以及第四加熱裝置，所述第四加熱裝置具有經(jīng)過(guò)第三加熱處 理的回收料入口、所述經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料出口、第四殼程入口和第四殼程出口，所 述經(jīng)過(guò)第三加熱處理的回收料入口與所述經(jīng)過(guò)第三加熱處理的回收料出口相連。由此，可 以顯著提高物料的預(yù)熱效率。
[0015] 在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述第一精餾單元進(jìn)一步包括：第三精餾裝置，所 述第三精餾裝置具有經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料第一入口、第三塔頂蒸汽出口和第三塔釜 液出口，所述經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料第一入口與所述經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料出口 相連；以及第四精餾裝置，所述第四精餾裝置具有經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料第二入口、第 四塔頂蒸汽出口和第四塔釜液出口，所述經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料第二入口與所述經(jīng)過(guò) 第二加熱處理的回收料出口相連，其中，所述第三塔釜液出口和所述第四塔釜液出口與所 述第四殼程入口相連，所述第四殼程出口與所述第三殼程入口相連，所述第三塔頂蒸汽出 口和所述第四塔頂蒸汽出口與所述第二精餾裝置中再沸器的蒸汽入口相連。由此，可以顯 著提高物料的精餾效率。
[0016] 在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)進(jìn)一步包 括：第一冷卻裝置，所述第一冷卻裝置與所述液態(tài)輕組分出口相連。由此，可以分離得到二 氯二氫硅。
[0017] 在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述第一冷凝液出口分別與所述第三精餾裝置和 所述第四精餾裝置相連。由此，可以顯著提高物料的利用率。
[0018] 在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)進(jìn)一步包 括：第二冷卻裝置，所述第二冷卻裝置與所述第三殼程出口相連。由此，可以分離得到四氯 化硅。
[0019] 在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)進(jìn)一步包 括：第三冷卻裝置，所述第三冷卻裝置與所述第一殼程出口相連。由此，可以分離得到三氯 氫硅。
[0020] 本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述 中變得明顯，或通過(guò)本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0021] 本實(shí)用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對(duì)實(shí)施例的描述中 將變得明顯和容易理解，其中：
[0022] 圖1是根據(jù)本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu) 示意圖；
[0023] 圖2是根據(jù)本實(shí)用新型又一個(gè)實(shí)施例的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)的結(jié) 構(gòu)示意圖；
[0024] 圖3是利用本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)實(shí)施處 理多晶硅尾氣干法回收料的方法的流程示意圖；
[0025] 圖4是利用本實(shí)用新型又一個(gè)實(shí)施例的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)實(shí)施 處理多晶硅尾氣干法回收料的方法的流程示意圖；
[0026] 圖5是根據(jù)本實(shí)用新型再一個(gè)實(shí)施例的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)的結(jié) 構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0027] 下面詳細(xì)描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始 至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過(guò)參 考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，旨在用于解釋本實(shí)用新型，而不能理解為對(duì)本實(shí)用新型 的限制。
[0028] 在本實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)"中心"、"縱向"、"橫向"、"長(zhǎng)度"、"寬 度"、"厚度"、"上"、"下"、"前"、"后"、"左"、"右"、"堅(jiān)直"、"水平"、"頂"、"底""內(nèi)"、"外"、"順 時(shí)針"、"逆時(shí)針"等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了 便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方 位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
[0029] 此外，術(shù)語(yǔ)"第一"、"第二"僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性 或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有"第一"、"第二"的特征可以明示或 者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本實(shí)用新型的描述中，"多個(gè)"的含義是兩個(gè)或兩 個(gè)以上，除非另有明確具體的限定。
[0030] 在本實(shí)用新型中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)"安裝"、"相連"、"連接"、"固 定"等術(shù)語(yǔ)應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可 以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是 兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ) 在本實(shí)用新型中的具體含義。
[0031] 在本實(shí)用新型中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征之"上"或之 "下"可以包括第一和第二特征直接接觸，也可以包括第一和第二特征不是直接接觸而是通 過(guò)它們之間的另外的特征接觸。而且，第一特征在第二特征"之上"、"上方"和"上面"包括 第一特征在第二特征正上方和斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一 特征在第二特征"之下"、"下方"和"下面"包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或僅 僅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0032] 在本實(shí)用新型的一個(gè)方面，本實(shí)用新型提出了一種處理多晶硅尾氣干法回收料的 系統(tǒng)。下面參考圖1-2對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)進(jìn)行詳細(xì) 描述。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，該系統(tǒng)包括：
[0033] 第一加熱裝置100 :根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第一加熱裝置100具有回收料入口 11、經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料出口 12、第一殼程入口 13和第一殼程出口 14,且適于將回 收料進(jìn)行第一加熱處理，從而可以得到經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料。如無(wú)特殊說(shuō)明，本文中 提到的回收料均為多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中采用"改良西門(mén)子法"回收多晶硅尾氣得到的回收料。 根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，回收料可以含有二氯二氫硅、三氯氫硅和四氯化硅。根據(jù)本實(shí)用 新型的實(shí)施例，第一加熱處理的條件并不受特別限制，根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，第一 加熱處理可以在25?40攝氏度的溫度下進(jìn)行。具體地，第一加熱裝置可以為換熱器，例如 可以為立式的雙管程單殼程換熱器。
[0034] 第二加熱單元200 :根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第二加熱單元200具有經(jīng)過(guò)第一加 熱處理的回收料入口 21、經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料出口 22、第二殼程入口 23和第二殼 程出口 24,根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料入口 21與經(jīng)過(guò)第一 加熱處理的回收料出口 12相連，且適于將上述得到的經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料進(jìn)行第 二加熱處理，從而可以得到經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第二 加熱單元可以包括多個(gè)加熱裝置，例如可以包括第三加熱裝置210和第四加熱裝置220兩 個(gè)裝置，具體的，第三加熱裝置210具有經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料入口 21、經(jīng)過(guò)第三加熱 處理的回收料出口 25、第三殼程入口 26和第三殼程出口 27,經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料 入口 21與經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料出口 12相連，適于將經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料在 第三加熱裝置中進(jìn)行第三加熱處理，從而可以得到經(jīng)過(guò)第三加熱處理的回收料；第四加熱 裝置220具有經(jīng)過(guò)第三加熱處理的回收料入口 28、經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料出口 22、第 四殼程入口 29和第四殼程出口 30,根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，經(jīng)過(guò)第三加熱處理的回 收料入口 28與經(jīng)過(guò)第三加熱處理的回收料出口 25相連，適于將所得到的經(jīng)過(guò)第三加熱處 理的回收料在第四加熱裝置中進(jìn)行第四加熱處理，從而可以得到經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收 料。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第三加熱處理和第四加熱處理的條件并不受特別限制，根據(jù) 本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，第三加熱處理可以在40?55攝氏度的溫度和0. 4?0. 6MPa的 壓力下進(jìn)行，第四加熱處理可以在55?70攝氏度的溫度和0· 4?0· 6MPa的壓力下進(jìn)行。 具體地，第三加熱裝置和第四加熱裝置均可以為換熱器，例如可以為立式的雙管程單殼程 換熱器。
[0035] 第一精餾單元300 :根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第一精餾單元300具有經(jīng)過(guò)第二加 熱處理的回收料入口 31、第一塔頂蒸汽出口 32和第一塔釜液出口 33,根據(jù)本實(shí)用新型的 具體實(shí)施例，經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料入口 31與經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料出口 22相 連，且適于將上述得到的經(jīng)過(guò)第二加熱處理回收料進(jìn)行第一精餾處理，從而可以得到第一 塔頂蒸汽和第一塔釜液，根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，第一塔釜液含有四氯化硅。根據(jù)本 實(shí)用新型的實(shí)施例，第一精餾單元可以包括多個(gè)精餾裝置，例如可以包括第三精餾裝置310 和第四精餾裝置320兩個(gè)，具體地，第三精餾裝置310具有經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料第一 入口 34、第三塔頂蒸汽出口 35和第三塔釜液出口 36,根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，經(jīng)過(guò) 第二加熱處理的回收料第一入口 34與經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料出口 22相連，適于將上 述得到的經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料的一部分在第三精餾裝置中進(jìn)行第三精餾處理，從而 可以得到第三塔頂蒸汽和第三塔釜液；第四精餾裝置320具有經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料 第二入口 37、第四塔頂蒸汽出口 38和第四塔釜液出口 39,根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例， 經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料第二入口 37與經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料出口 22相連，適于 將上述所得到的經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料的另一部分在第四精餾裝置中進(jìn)行第四精餾 處理，從而可以得到第四塔頂蒸汽和第四塔釜液。需要說(shuō)明的是，將第三塔頂蒸汽和第四塔 頂蒸汽匯合即為第一塔頂蒸汽，將第三塔釜液和第四塔釜液匯合即為第一塔釜液。根據(jù)本 實(shí)用新型的實(shí)施例，第三精餾處理和第四精餾處理的條件并不受特別限制，根據(jù)本實(shí)用新 型的具體實(shí)施例，第三精餾處理和第四精餾處理均可以在80?120攝氏度的溫度和0. 3? 0.5MPa的壓力下進(jìn)行。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，該條件下可以明顯提高精餾處理效率。根據(jù)本實(shí)用新型 的實(shí)施例，第一塔釜液的溫度可以為110?130攝氏度，第一塔頂蒸汽的溫度可以為75? 95攝氏度。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第三精餾裝置和第四精餾裝置均可以采用規(guī)整填料 塔或板式塔，理論塔板數(shù)的范圍為60?80,塔頂操作表壓力的范圍為0. 35?0. 55MPa，塔 頂操作溫度的范圍為80?95°C，回流量與進(jìn)料量的質(zhì)量流率比的范圍為2?6。
[0036] 根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第一塔釜液出口 33與第二殼程入口 23相連，適于將第 一精餾單元中得到的第一塔釜液作為熱源返回至第二加熱單元進(jìn)行第二加熱處理，從而可 以得到四氯化硅。如上所述，第二加熱裝置可以包括第三加熱裝置和第四加熱裝置。根據(jù)本 實(shí)用新型的實(shí)施例，第三加熱裝置和第四加熱裝置均可以為立式的雙管程單殼程換熱器， 其中高溫物料走殼程、低溫物料走管程，通過(guò)雙向換熱處理，可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)高溫物料的降溫 和低溫物料的預(yù)熱。具體地，第三塔釜液出口 36和第四塔釜液出口 38與第四殼程入口 29 相連，適于將以上所得到的第三塔釜液和第四塔釜液的至少之一作為熱源在第四加熱裝置 中進(jìn)行第四加熱處理，其中，第三塔釜液和第四塔釜液從殼程上部管口進(jìn)入殼程，從殼程下 部管口排出，經(jīng)過(guò)第三加熱處理的回收料走管程，并且殼程上部進(jìn)料管口與管程出料管口 在同一方位上，經(jīng)過(guò)雙向換熱處理，第三塔釜液和第四塔釜液的熱量被經(jīng)過(guò)第三加熱處理 的回收料所吸收，從而可以得到65?75攝氏度的經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料和75?95 攝氏度的第一降溫四氯化硅；第四殼程出口 30與第三殼程入口 26相連，適于將所得到的 第一降溫的四氯化硅作為熱源在第三精餾裝置中進(jìn)行第三加熱處理，其中，第一降溫的四 氯化硅從殼程上部管口進(jìn)入殼程，從殼程下部管口排出，經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料走管 程，并且殼程上部進(jìn)料管口與管程出料管口在同一方位上，經(jīng)過(guò)雙向換熱處理，第一降溫的 四氯化硅的熱量被經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料所吸收，從而可以得到45?65攝氏度的經(jīng) 過(guò)第三加熱處理的回收料和40?60攝氏度的第二降溫四氯化硅；第二冷卻裝置230與第 三殼程出口 27相連，適于將所得到的第二降溫的四氯化硅在第二冷卻裝置230中進(jìn)行第二 冷卻處理，從而可以得到四氯化硅產(chǎn)品。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，可以采用水冷方式對(duì)第 二降溫的四氯化硅進(jìn)行第二冷卻處理。據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第二冷卻處理的條件并不 受特別限制，根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，第二冷卻處理可以在25?55攝氏度的溫度和 0. 3?0. 5MPa的壓力下進(jìn)行。發(fā)明人經(jīng)過(guò)大量實(shí)驗(yàn)驚奇發(fā)現(xiàn)，經(jīng)過(guò)第一精餾處理所得到的 塔釜液可以用于對(duì)經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料進(jìn)行預(yù)熱處理，并且通過(guò)將塔釜液的熱量用 于對(duì)經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料進(jìn)行加熱處理，可以顯著提高經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料 的溫度和降低塔釜液的溫度，從而可以充分實(shí)現(xiàn)熱量與冷量的綜合利用，進(jìn)而降低設(shè)備的 投資和能耗。
[0037] 第二精餾裝置400 :根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第二精餾裝置400具有物料入口 41、液態(tài)輕組分出口 42和第二塔釜液出口 43,根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，物料入口 41 與第一塔頂蒸汽出口 32相連，第二塔荃液出口 43與第一殼程入口 13相連，且適于將上述 得到的第一塔頂蒸汽進(jìn)行第二精餾處理，從而可以得到液態(tài)輕組分和第二塔釜液，根據(jù)本 實(shí)用新型的具體實(shí)施例，液態(tài)輕組分中含有二氯二氫硅、第二塔釜液中含有三氯氫硅。根據(jù) 本實(shí)用新型的實(shí)施例，第二精餾處理的條件并不受特別限制，根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施 例，第二精餾處理可以在45?75攝氏度的溫度和0. 2?0. 4MPa的壓力下進(jìn)行。發(fā)明人發(fā) 現(xiàn)，該條件下可以明顯提高精餾處理效率。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第二精餾處理可以采 用規(guī)整填料塔，理論塔板數(shù)的范圍為100?120,塔頂操作表壓力的范圍為0. 2?0. 4MPa， 塔頂操作溫度的范圍為50?65°C，回流量與進(jìn)料量的質(zhì)量流率比的范圍為4?8。
[0038] 根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第三塔頂蒸汽出口 35和第四塔頂蒸汽出口 38與第二 精餾裝置中再沸器的蒸汽入口 44相連，適于將第二塔釜液作為熱源在第一加熱裝置中進(jìn) 行第一加熱處理，從而可以得到三氯氫硅。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第一加熱裝置可以采 用立式的雙管程單殼程換熱器。具體的，首先將上述得到第二塔釜液作為熱源在第一加熱 裝置中進(jìn)行第一加熱處理，其中，第二塔釜液走從殼程上部管口進(jìn)入殼程，從殼程下部管口 排出，回收料走管程，并且殼程上部進(jìn)料管口與管程出料管口在同一方位上，經(jīng)過(guò)雙向換熱 處理，第二塔釜液的熱量被回收料所吸收，從而可以得到30?50攝氏度的經(jīng)過(guò)第一加熱處 理的回收料和30?50攝氏度的降溫的第二塔釜液；第三冷卻裝置110與第一殼程出口 14 相連，適于將所得到的降溫的第二塔釜液在第三冷卻裝置中進(jìn)行第三冷卻處理，從而可以 得到三氯氫硅。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第三冷卻處理的條件并不受特別限制，根據(jù)本實(shí) 用新型的具體實(shí)施例，第三冷卻處理可以在20?40攝氏度的溫度和0. 2?0. 4MPa的壓力 下進(jìn)行。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，經(jīng)過(guò)第二精餾處理得到第二塔釜液可以用于對(duì)回收料進(jìn)行預(yù)熱處理， 并且通過(guò)將塔釜液的熱量用于對(duì)回收料進(jìn)行加熱處理，可以顯著提高回收料的溫度和降低 塔釜液的溫度，從而進(jìn)一步充分實(shí)現(xiàn)熱量和冷量的綜合利用，進(jìn)而降低設(shè)備的投資和能耗。
[0039] 根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)通過(guò)將精餾處理過(guò) 程所得到的塔釜液作為熱源對(duì)待精餾物料進(jìn)行預(yù)熱處理，同時(shí)使得塔釜液得以降溫，進(jìn)而 實(shí)現(xiàn)了熱量和冷量的綜合利用，從而顯著降低了設(shè)備投資和能耗。
[0040] 根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第一塔頂蒸汽出口 32與第二精餾裝置中再沸器的蒸 汽入口 44相連，第二精餾裝置中再沸器的冷凝液出口 45與物料入口 41相連。由此可以實(shí) 現(xiàn)熱量和冷量的綜合利用。
[0041] 參考圖2,本實(shí)用新型實(shí)施例的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)進(jìn)一步包括：
[0042] 緩沖罐500 :根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，緩沖罐500緩沖罐具有冷凝液入口 51、第 一冷凝液出口 52和第二冷凝液出口 53,根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，冷凝液入口 51與再 沸器的冷凝液出口 45相連，第一冷凝液出口 52與第一精餾單元300相連，第二冷凝液出口 53與物料入口 41相連，且適于儲(chǔ)存在進(jìn)行第二精餾處理之前，將第一塔頂蒸汽作為第二精 餾裝置的熱源而得到的塔頂蒸汽冷凝液，并將塔頂蒸汽冷凝液的一部分返回至第一精餾單 元，以及將塔頂蒸汽冷凝液的另一部分通入第二精餾裝置。具體地，第一冷凝液出口 52分 別與第三精餾裝置310和第四精餾裝置320相連，適于將所得到的第三塔頂蒸汽和第四塔 頂蒸汽（第一塔頂蒸汽）作為熱源為第二精餾裝置中的再沸器提供熱量，從而可以存儲(chǔ)塔 頂蒸汽冷凝液，并將蒸汽冷凝液的第一部分返回進(jìn)行第三精餾裝置，將蒸汽冷凝液的第二 部分返回進(jìn)行第四精餾裝置，將塔頂蒸汽冷凝液的第三部分通入第二精餾裝置中進(jìn)行第二 精餾處理。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，第一精餾處理過(guò)程所得到的第一塔頂蒸汽可以作為熱源對(duì)第二精 餾處理過(guò)程提供熱量，從而可以進(jìn)一步充分利用了系統(tǒng)中產(chǎn)生的熱量，進(jìn)而顯著降低設(shè)備 的投資和能耗投入。
[0043] 第一冷卻裝置600 :根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第一冷卻裝置600與液態(tài)輕組分出 口 42相連，且適于將所得到的液態(tài)輕組分進(jìn)行第一冷卻處理，從而可以分離得到二氯二氫 硅。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第一冷卻處理可以在20?40攝氏度的溫度和0. 2?0. 4MPa 的壓力下進(jìn)行。根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，冷卻裝置可以為水冷裝置。
[0044] 以上對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)進(jìn)行了詳細(xì)描述， 為了方便理解，下面參考圖3-4對(duì)利用本實(shí)用新型實(shí)施例的處理多晶硅尾氣干法回收料的 系統(tǒng)實(shí)施處理多晶硅尾氣干法回收料的方法進(jìn)行詳細(xì)描述。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，該 方法包括：
[0045] S100 :第一加熱處理
[0046] 根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，將回收料進(jìn)行第一加熱處理，從而可以得到經(jīng)過(guò)第一 加熱處理的回收料。如上所述，本文中提到的回收料均為多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中采用"改良西門(mén) 子法"回收多晶硅尾氣得到的回收料。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，回收料可以含有二氯二 氫硅、三氯氫硅和四氯化硅。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第一加熱處理的條件并不受特別限 制，根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，第一加熱處理可以在25?40攝氏度的溫度下進(jìn)行。具 體地，第一加熱處理可以采用換熱器進(jìn)行，例如可以采用立式的雙管程單殼程換熱器。
[0047] S200 :第二加熱處理
[0048] 根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，將上述得到的經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料進(jìn)行第二加 熱處理，從而可以得到經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第二加熱處 理可以包括多步加熱處理，例如可以包括第三加熱處理和第四加熱處理兩步，具體的，將經(jīng) 過(guò)第一加熱處理的回收料進(jìn)行第三加熱處理，從而可以得到經(jīng)過(guò)第三加熱處理的回收料， 接著將所得到的經(jīng)過(guò)第三加熱處理的回收料進(jìn)行第四加熱處理，從而可以得到經(jīng)過(guò)第二加 熱處理的回收料。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第三加熱處理和第四加熱處理的條件并不受 特別限制，根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，第三加熱處理可以在40?55攝氏度的溫度和 0. 4?0. 6MPa的壓力下進(jìn)行，第四加熱處理可以在55?70攝氏度的溫度和0. 4?0. 6MPa 的壓力下進(jìn)行。具體地，第三加熱處理和第四加熱處理均可以采用換熱器進(jìn)行，例如可以采 用立式的雙管程單殼程換熱器。
[0049] S：300 :第一精餾處理
[0050] 根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，將上述得到的經(jīng)過(guò)第二加熱處理回收料進(jìn)行第一精餾 處理，從而可以得到第一塔頂蒸汽和第一塔釜液，根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，第一塔釜 液含有四氯化硅。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第一精餾處理可以包括多步精餾處理，例如可 以包括第三精餾處理和第四精餾處理兩步，具體地，將上述得到的經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回 收料的一部分進(jìn)行第三精餾處理，從而可以得到第三塔頂蒸汽和第三塔釜液。同時(shí)，將上述 所得到的經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料的另一部分進(jìn)行第四精餾處理，從而可以得到第四塔 頂蒸汽和第四塔釜液。需要說(shuō)明的是，將第三塔頂蒸汽和第四塔頂蒸汽匯合即為第一塔頂 蒸汽，將第三塔釜液和第四塔釜液匯合即為第一塔釜液。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第三精 餾處理和第四精餾處理的條件并不受特別限制，根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，第三精餾 處理和第四精餾處理均可以在80?120攝氏度的溫度和0. 3?0. 5MPa的壓力下進(jìn)行。發(fā) 明人發(fā)現(xiàn)，該條件下可以明顯提高精餾處理效率。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第一塔釜液的 溫度可以為110?130攝氏度，第一塔頂蒸汽的溫度可以為75?95攝氏度。根據(jù)本實(shí)用 新型的實(shí)施例，第三精餾處理和第四精餾處理均可以采用規(guī)整填料塔或板式塔，理論塔板 數(shù)的范圍為60?80,塔頂操作表壓力的范圍為0. 35?0. 55MPa，塔頂操作溫度的范圍為 80?95°C，回流量與進(jìn)料量的質(zhì)量流率比的范圍為2?6。
[0051] S400 :第二精餾處理
[0052] 根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，將上述得到的第一塔頂蒸汽進(jìn)行第二精餾處理，從而 可以得到液態(tài)輕組分和第二塔釜液，根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，液態(tài)輕組分中含有二 氯二氫硅、第二塔釜液中含有三氯氫硅。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第二精餾處理的條件并 不受特別限制，根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，第二精餾處理可以在45?75攝氏度的溫度 和0.2?0.4MPa的壓力下進(jìn)行。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，該條件下可以明顯提高精餾處理效率。根 據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第二精餾處理可以采用規(guī)整填料塔，理論塔板數(shù)的范圍為1〇〇? 120,塔頂操作表壓力的范圍為0. 2?0. 4MPa，塔頂操作溫度的范圍為50?65°C，回流量與 進(jìn)料量的質(zhì)量流率比的范圍為4?8。
[0053] S500 :將第一塔釜液作為熱源進(jìn)行第二加熱處理
[0054] 根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，將S300得到的第一塔釜液作為熱源在S200中進(jìn)行第 二加熱處理，從而可以得到四氯化硅。如上所述，第二加熱處理可以包括第三加熱處理和第 四加熱處理。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第三加熱處理和第四加熱處理均可以采用立式的 雙管程單殼程換熱器，其中高溫物料走殼程、低溫物料走管程，通過(guò)雙向換熱處理，可以同 時(shí)實(shí)現(xiàn)高溫物料的降溫和低溫物料的預(yù)熱。該步驟中，具體地，首先將以上所得到的第三塔 釜液和第四塔釜液的至少之一作為熱源進(jìn)行第四加熱處理，其中，第三塔釜液和第四塔釜 液從殼程上部管口進(jìn)入殼程，從殼程下部管口排出，經(jīng)過(guò)第三加熱處理的回收料走管程，并 且殼程上部進(jìn)料管口與管程出料管口在同一方位上，經(jīng)過(guò)雙向換熱處理，第三塔釜液和第 四塔釜液的熱量被經(jīng)過(guò)第三加熱處理的回收料所吸收，從而可以得到65?75攝氏度的經(jīng) 過(guò)第二加熱處理的回收料和75?95攝氏度的第一降溫四氯化硅，接著，將所得到的第一 降溫的四氯化硅作為熱源進(jìn)行第三加熱處理，其中，第一降溫的四氯化硅從殼程上部管口 進(jìn)入殼程，從殼程下部管口排出，經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料走管程，并且殼程上部進(jìn)料管 口與管程出料管口在同一方位上，經(jīng)過(guò)雙向換熱處理，第一降溫的四氯化硅的熱量被經(jīng)過(guò) 第一加熱處理的回收料所吸收，從而可以得到45?65攝氏度的經(jīng)過(guò)第三加熱處理的回收 料和40?60攝氏度的第二降溫四氯化硅，最后將所得到的第二降溫的四氯化硅進(jìn)行第二 冷卻處理，從而可以得到四氯化硅產(chǎn)品。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，可以采用水冷方式對(duì)第 二降溫的四氯化硅進(jìn)行第二冷卻處理。據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第二冷卻處理的條件并不 受特別限制，根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，第二冷卻處理可以在25?55攝氏度的溫度和 0. 3?0. 5MPa的壓力下進(jìn)行。發(fā)明人經(jīng)過(guò)大量實(shí)驗(yàn)驚奇發(fā)現(xiàn)，經(jīng)過(guò)第一精餾處理所得到的 塔釜液可以用于對(duì)經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料進(jìn)行預(yù)熱處理，并且通過(guò)將塔釜液的熱量用 于對(duì)經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料進(jìn)行加熱處理，可以顯著提高經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料 的溫度和降低塔釜液的溫度，從而可以充分實(shí)現(xiàn)熱量與冷量的綜合利用，進(jìn)而降低設(shè)備的 投資和能耗。
[0055] S600 :將第二塔釜液作為熱源進(jìn)行第一加熱處理
[0056] 根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，將S400得到的第二塔釜液作為熱源在S100中進(jìn)行第 一加熱處理，從而可以得到三氯氫硅。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第一加熱處理可以采用采 用立式的雙管程單殼程換熱器。該步驟中，具體的，首先將上述得到第二塔釜液作為熱源進(jìn) 行第一加熱處理，其中，第二塔釜液從殼程上部管口進(jìn)入殼程，從殼程下部管口排出，回收 料走管程，并且殼程上部進(jìn)料管口與管程出料管口在同一方位上，經(jīng)過(guò)雙向換熱處理，第二 塔釜液的熱量被回收料所吸收，從而可以得到30?50攝氏度的經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收 料和30?50攝氏度的降溫的第二塔釜液，然后將所得到的降溫的第二塔釜液進(jìn)行第三冷 卻處理，從而可以得到三氯氫硅。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第三冷卻處理的條件并不受 特別限制，根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，第三冷卻處理可以在20?40攝氏度的溫度和 0. 2?0. 4MPa的壓力下進(jìn)行。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，經(jīng)過(guò)第二精餾處理得到第二塔釜液可以用于對(duì) 回收料進(jìn)行預(yù)熱處理，并且通過(guò)將塔釜液的熱量用于對(duì)回收料進(jìn)行加熱處理，可以顯著提 高回收料的溫度和降低塔釜液的溫度，從而進(jìn)一步充分實(shí)現(xiàn)熱量和冷量的綜合利用，進(jìn)而 降低設(shè)備的投資和能耗。
[0057] 根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的處理多晶硅尾氣干法回收料的方法通過(guò)將精餾處理過(guò) 程所得到的塔釜液作為熱源對(duì)待精餾物料進(jìn)行預(yù)熱處理，同時(shí)使得塔釜液得以降溫，進(jìn)而 實(shí)現(xiàn)了熱量和冷量的綜合利用，從而顯著降低了設(shè)備投資和能耗。
[0058] 參考圖4,本實(shí)用新型實(shí)施例的處理多晶硅尾氣干法回收料的方法進(jìn)一步包括：
[0059] S700 :將第一塔頂蒸汽作為熱源進(jìn)行第二精餾處理
[0060] 根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，在將S300得到的第一塔頂蒸汽進(jìn)行在第一精餾處理 之前，將第一塔頂蒸汽作為熱源在S400中進(jìn)行第二精餾處理，從而可以得到塔頂蒸汽冷凝 液，并將塔頂蒸汽冷凝液的一部分返回進(jìn)行第一精餾處理，將塔頂蒸汽冷凝液的另一部分 進(jìn)行第二精餾處理。該步驟中，具體地，將所得到的第三塔頂蒸汽和第四塔頂蒸汽（第一塔 頂蒸汽）作為熱源對(duì)第二精餾處理過(guò)程中的再沸器提供熱量，從而可以得到塔頂蒸汽冷凝 液，并將蒸汽冷凝液的第一部分返回進(jìn)行第三精餾處理，將蒸汽冷凝液的第二部分返回進(jìn) 行第四精餾處理，將塔頂蒸汽冷凝液的第三部分進(jìn)行第二精餾處理。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，第一精餾 處理過(guò)程所得到的第一塔頂蒸汽可以作為熱源對(duì)第二精餾處理過(guò)程提供熱量，從而可以進(jìn) 一步充分利用了系統(tǒng)中產(chǎn)生的熱量，進(jìn)而顯著降低設(shè)備的投資和能耗投入。
[0061] S800:第一冷卻處理
[0062] 根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，將S400所得到的液態(tài)輕組分進(jìn)行第一冷卻處理，從而 可以分離得到二氯二氫硅。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，第一冷卻處理的條件并不受特別限 制，根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，第一冷卻處理可以在20?40攝氏度的溫度和0. 2? 0. 4MPa的壓力下進(jìn)行。根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，冷卻處理可以采用水冷裝置。
[0063] 如上所述，根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的處理多晶硅尾氣干法回收料的方法可以具有 選自下列的優(yōu)點(diǎn)至少之一：
[0064] 根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的處理多晶硅尾氣干法回收料的方法通過(guò)精餾系統(tǒng)進(jìn)行 整合，一定程度降低了系統(tǒng)的設(shè)備投資和能量消耗；
[0065] 根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的處理多晶硅尾氣干法回收料的方法充分利用系統(tǒng)內(nèi)部 的熱源和冷源，達(dá)到能量的最優(yōu)綜合利用，進(jìn)一步降低系統(tǒng)的能量消耗及運(yùn)行成本。
[0066] 下面參考具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行描述，需要說(shuō)明的是，這些實(shí)施例僅僅是 描述性的，而不以任何方式限制本實(shí)用新型。
[0067] 實(shí)施例
[0068] 如圖5所示，將多晶硅尾氣干法回收料在第一加熱裝置100中進(jìn)行第一加熱處理， 然后將所得到的經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料在第三加熱裝置210中進(jìn)行第三加熱處理，接 著將所得到的經(jīng)過(guò)第三加熱處理的回收料在第四加熱裝置220中進(jìn)行第四加熱處理，得到 經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料，然后將得到經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料的一部分在第三精餾 裝置310中進(jìn)行第三加熱處理，得到第三塔頂蒸汽和第三塔釜液，將得到的經(jīng)過(guò)第二加熱 處理的回收料的另一部分在第四精餾裝置320中進(jìn)行第四精餾處理，得到第四塔頂蒸汽和 第四塔釜液，然后將第三塔頂蒸汽和第四塔頂蒸汽的至少之一的熱量供給至第二精餾裝置 400的再沸器410,得到蒸汽冷凝液存儲(chǔ)在緩沖罐500中，將蒸汽冷凝液的第一部分返回至 第三精餾裝置，將蒸汽冷凝液的第二部分返回至第四精餾裝置，將蒸汽冷凝液的第三部分 供給至第二精餾裝置400中進(jìn)行第二精餾處理，得到液態(tài)輕組分和第二塔釜液，同時(shí)將以 上所得到的第三塔釜液和第四塔釜液的至少之一的熱量供給至第四加熱裝置220中，通過(guò) 雙向換熱處理，得到第一降溫的四氯化硅，然后將得到的第一降溫的四氯化硅的熱量供給 至第三加熱裝置210中，得到第二降溫的四氯化硅，然后將第二降溫的四氯化硅供給至第 二冷卻裝置230中，從而可以得到四氯化硅產(chǎn)品，同時(shí)將第二塔釜液的熱量供給至第一加 熱裝置，通過(guò)雙向換熱得到降溫的第二塔釜液，然后將降溫的第二塔釜液供給至第三冷卻 裝置110中，從而可以得到三氯氫硅產(chǎn)品，同時(shí)將以上所得到的液態(tài)輕組分供給至第一冷 卻裝置600中，從而可以得到二氯二氫硅。
[0069] 在本說(shuō)明書(shū)的描述中，參考術(shù)語(yǔ)"一個(gè)實(shí)施例"、"一些實(shí)施例"、"示例"、"具體示 例"、或"一些示例"等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特 點(diǎn)包含于本實(shí)用新型的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說(shuō)明書(shū)中，對(duì)上述術(shù)語(yǔ)的示意性表 述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在 任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。
[0070] 盡管上面已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，可以理解的是，上述實(shí)施例是 示例性的，不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型 的原理和宗旨的情況下在本實(shí)用新型的范圍內(nèi)可以對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行變化、修改、替換和 變型。
【權(quán)利要求】
1. 一種處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)，其特征在于，包括： 第一加熱裝置，所述第一加熱裝置具有回收料入口、經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料出口、 第一殼程入口和第一殼程出口； 第二加熱單元，所述第二加熱單元具有經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料入口、經(jīng)過(guò)第二加 熱處理的回收料出口、第二殼程入口和第二殼程出口，所述經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料入 口與所述經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料出口相連； 第一精餾單元，所述第一精餾單元具有經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料入口、第一塔頂蒸 汽出口和第一塔釜液出口，所述經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料入口與所述經(jīng)過(guò)第二加熱處理 的回收料出口相連，所述第一塔釜液出口與所述第二殼程入口相連；以及 第二精餾裝置，所述第二精餾裝置具有物料入口、液態(tài)輕組分出口和第二塔釜液出口， 所述物料入口與所述第一塔頂蒸汽出口相連，所述第二塔釜液出口與所述第一殼程入口相 連。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一 塔頂蒸汽出口與所述第二精餾裝置中再沸器的蒸汽入口相連，所述第二精餾裝置中再沸器 的冷凝液出口與所述物料入口相連。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)，其特征在于，進(jìn)一步包 括： 緩沖罐，所述緩沖罐具有冷凝液入口、第一冷凝液出口和第二冷凝液出口，所述冷凝液 入口與所述再沸器的冷凝液出口相連，所述第一冷凝液出口與所述第一精餾單元相連，所 述第二冷凝液出口與所述物料入口相連。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)，其特征在于，所述第二 加熱單元進(jìn)一步包括： 第三加熱裝置，所述第三加熱裝置具有所述經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料入口、經(jīng)過(guò)第 三加熱處理的回收料出口、第三殼程入口和第三殼程出口，所述經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收 料入口與所述經(jīng)過(guò)第一加熱處理的回收料出口相連；以及 第四加熱裝置，所述第四加熱裝置具有經(jīng)過(guò)第三加熱處理的回收料入口、所述經(jīng)過(guò)第 二加熱處理的回收料出口、第四殼程入口和第四殼程出口，所述經(jīng)過(guò)第三加熱處理的回收 料入口與所述經(jīng)過(guò)第三加熱處理的回收料出口相連。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一 精饋單元進(jìn)一步包括： 第三精餾裝置，所述第三精餾裝置具有經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料第一入口、第三塔 頂蒸汽出口和第三塔釜液出口，所述經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料第一入口與所述經(jīng)過(guò)第二 加熱處理的回收料出口相連；以及 第四精餾裝置，所述第四精餾裝置具有經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料第二入口、第四塔 頂蒸汽出口和第四塔釜液出口，所述經(jīng)過(guò)第二加熱處理的回收料第二入口與所述經(jīng)過(guò)第二 加熱處理的回收料出口相連， 其中， 所述第三塔釜液出口和所述第四塔釜液出口與所述第四殼程入口相連，所述第四殼程 出口與所述第三殼程入口相連，所述第三塔頂蒸汽出口和所述第四塔頂蒸汽出口與所述第 二精餾裝置中再沸器的蒸汽入口相連。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)，其特征在于，進(jìn)一步包 括： 第一冷卻裝置，所述第一冷卻裝置與所述液態(tài)輕組分出口相連。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一 冷凝液出口分別與所述第三精餾裝置和所述第四精餾裝置相連。
8. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)，其特征在于，進(jìn)一步包 括： 第二冷卻裝置，所述第二冷卻裝置與所述第三殼程出口相連。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理多晶硅尾氣干法回收料的系統(tǒng)，其特征在于，進(jìn)一步包 括： 第三冷卻裝置，所述第三冷卻裝置與所述第一殼程出口相連。
【文檔編號(hào)】C01B33/107GK203890070SQ201420263451
【公開(kāi)日】2014年10月22日 申請(qǐng)日期:2014年5月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月21日
【發(fā)明者】趙雄, 嚴(yán)大洲, 姜利霞, 萬(wàn)燁, 楊永亮 申請(qǐng)人:中國(guó)恩菲工程技術(shù)有限公司