專利名稱：一種多晶硅硅芯夾持裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及多晶硅技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及ー種多晶硅硅芯夾持裝置。
背景技術(shù)：
國內(nèi)外多晶硅生產(chǎn)主要以改良西門子為主 ，關(guān)鍵的的設(shè)備為三氯氫硅還原反應(yīng)爐。エ藝物料三氯氫硅和氫氣在1100°c左右的硅芯表面發(fā)生化學(xué)氣相沉積反應(yīng)，生成多晶硅。目前多晶硅生產(chǎn)時硅芯的夾持裝置為底端多卡芯(4)夾持固定，卡芯(4)的上端使用螺套(3)固定(參見


圖1)，此種夾持裝置限制了硅芯在三個正交方向上的平動自由度和沿硅芯軸向的轉(zhuǎn)動自由度，但是隨著多晶娃棒的生長，娃棒上端逐漸變粗，由于娃棒自身的重力而硅芯底端被卡芯(4)和螺套(3)固定，卡芯(4)夾持硅芯的部位存在剪應(yīng)力，隨著反應(yīng)的進(jìn)行，硅芯會在存在剪應(yīng)カ的部分折斷，導(dǎo)致反應(yīng)終止，硅棒傾倒，對還原反應(yīng)爐和爐內(nèi)部件造成損傷，導(dǎo)致生產(chǎn)事故。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種有效避免反應(yīng)過程中硅芯折斷的多晶硅硅芯夾持裝置。為解決上述問題，本實用新型所述的ー種多晶硅硅芯夾持裝置，包括卡瓣和底座，其特征在于所述卡瓣呈梭形，由兩瓣組成，其中心設(shè)有與硅芯接觸的上下聯(lián)通圓孔，其下部與所述底座接觸的部分呈圓臺型；所述底座呈圓柱體，其下部為與電極配合的圓臺形凹槽，上部為與所述卡瓣配合的圓臺形凹槽。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點I、本實用新型采用將原有裝置硅芯和卡芯處存在的剪應(yīng)カ轉(zhuǎn)移至卡瓣與底座接觸處，有效地解決了硅芯長粗后折斷的問題。2、結(jié)構(gòu)簡潔、功能實用。在安裝吋，兩片卡瓣夾持住硅芯底端，放置在底座上，輕壓夾持有硅芯卡瓣，卡瓣和底座之間的錐度一致，二者配合緊密，接觸為面接觸，接觸良好，避免在接通高電壓后發(fā)生火花燒毀夾持部件，發(fā)生生產(chǎn)安全事故。隨著反應(yīng)的進(jìn)行，硅芯逐漸長粗，依靠硅棒自身的重量增加卡瓣與底座之間接觸面積，硅棒越重接觸越牢固，穩(wěn)定性越好。3、循環(huán)利用、降低消耗。毎次反應(yīng)完成后，只需要適當(dāng)?shù)纳咸峁璋簦纯蓪⒖ò旰凸栊緩牡鬃鶅?nèi)取出，將卡瓣從硅芯上剝離，卡瓣和底座和循環(huán)利用，減少了物資消耗，降低了多晶硅的生產(chǎn)成本。4、本實用新型自身的結(jié)構(gòu)決定了安裝操作方便，節(jié)省了多晶硅還原爐的安裝時間，減少多晶硅還原爐單爐運行周期，降低成本。5、本實用新型保證了還原爐在運行規(guī)程中硅芯不折斷，避免硅棒發(fā)送倒?fàn)t事件，具有安全性。以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進(jìn)ー步詳細(xì)的說明。圖I為現(xiàn)有技術(shù)中的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實用新型的梭形卡瓣軸側(cè)簡圖。圖4為本實用新型安裝使用時的簡圖。圖中1ー卡瓣2—底座 3—螺套 4ー卡芯。
具體實施方式
如圖2 4所示，ー種多晶硅硅芯夾持裝置，包括卡瓣I和底座2?？ò闕呈梭形，由兩瓣組成，其中心設(shè)有與硅芯接觸的上下聯(lián)通圓孔，其下部與底座2接觸的部分呈圓臺型；底座2呈圓柱體，其下部為與電極配合的圓臺形凹槽，上部為與卡瓣I配合的圓臺形凹槽。
權(quán)利要求1 . ー種多晶硅硅芯夾持裝置，包括卡瓣(I)和底座(2)，其特征在于所述卡瓣(I)呈 梭形，由兩瓣組成，其中心設(shè)有與硅芯接觸的上下聯(lián)通圓孔，其下部與所述底座(2)接觸的部分呈圓臺型；所述底座(2)呈圓柱體，其下部為與電極配合的圓臺形凹槽，上部為與所述卡瓣(I)配合的圓臺形凹槽。
專利摘要本實用新型涉及一種多晶硅硅芯夾持裝置，包括卡瓣和底座，其特征在于所述卡瓣呈梭形，由兩瓣組成，其中心設(shè)有與硅芯接觸的上下聯(lián)通圓孔，其下部與所述底座接觸的部分呈圓臺型；所述底座呈圓柱體，其下部為與電極配合的圓臺形凹槽，上部為與所述卡瓣配合的圓臺形凹槽。本實用新型結(jié)構(gòu)簡潔，可有效避免反應(yīng)過程中硅芯折斷現(xiàn)象的出現(xiàn)，同時也實現(xiàn)了循環(huán)利用、降低消耗的目的。
文檔編號C01B33/035GK202643329SQ20122024631
公開日2013年1月2日 申請日期2012年5月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月30日
發(fā)明者武春青, 李文強, 李春松, 朱貴平, 楊濤 申請人:青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司新能源分公司