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一種石英砂提純裝置的制作方法

文檔序號(hào):3448833閱讀:365來源:國知局
專利名稱:一種石英砂提純裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種石英砂提純裝置,尤其涉及一種用于高純度石英砂提純的石英砂提純裝置。
背景技術(shù)
石英玻璃坩堝是拉制太陽能、半導(dǎo)體單晶硅棒的重要輔件。在石英坩堝的制作過程中,一般采用電弧高溫熔融法生產(chǎn)。即在旋轉(zhuǎn)的石墨模具腔體內(nèi)倒入高純石英砂,采用刮砂成型治具成型,使石英砂均布在石墨模具腔體內(nèi)形成石英坩堝坯體。然后將石墨電極伸入腔體內(nèi),通上大電流使石墨電極釋放出高溫電弧對(duì)坯體進(jìn)行熔融,一定熔融時(shí)間后坯體形成石英坩堝。該石英坩堝使用的石英原料砂為一種高純度的石英砂,Si02含量99. 99%,目數(shù)為50 150目ο
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型旨在發(fā)明一種提高石英砂中純Si02含量的石英砂提純裝置。一種石英砂提純裝置,包括爐體和支架,爐體下側(cè)固定有支架,所述爐體包括框體、上板和防護(hù)罩,框體外側(cè)固定有防護(hù)罩,框體上側(cè)固定有上板,框體內(nèi)側(cè)上部、左部和右部設(shè)有耐高溫纖維板,框體內(nèi)側(cè)底面設(shè)有耐火磚,左右兩側(cè)的耐高溫纖維板內(nèi)側(cè)設(shè)有耐火磚,分體式爐芯管固定于爐體內(nèi),爐體上設(shè)有若干卡接孔,碳硅棒左右兩側(cè)卡接于爐體的卡接孔上且處于防護(hù)罩內(nèi)部。優(yōu)選地,所述的碳硅棒為24根。優(yōu)選地,所述的24根碳硅棒呈6排,4列分布。優(yōu)選地,所述的碳娃棒底面圓直徑為16cm,長度為740cm。優(yōu)選地,所述的支架由支架主體、支撐腳和重載腳輪組成。優(yōu)選地,所述的分體式爐芯管上端貫穿上板且處于上板上側(cè)。優(yōu)選地,所述的分體式爐芯管下端貫穿爐體底部和支架上部。優(yōu)選地,所述的分體式爐芯管共有3根。優(yōu)選地,所述的防護(hù)罩為4個(gè)且設(shè)于爐體4個(gè)側(cè)面。本實(shí)用新型一種石英砂提純裝置的有益效果在于I、加熱爐體內(nèi)部由耐高溫纖維板和耐火磚砌成,排放四列,每列六根共24根硅碳棒作為加熱元件,使石英砂提純效果更佳;2、爐體外側(cè)設(shè)有四個(gè)隔熱防護(hù)罩進(jìn)行加熱元件保護(hù),要提純的石英砂沒有任何污染,不會(huì)帶入新的雜質(zhì),提取的石英砂純度高;3、整個(gè)爐體底部設(shè)有四個(gè)支撐腳和四個(gè)移動(dòng)腳輪,方便爐體移動(dòng)和就位。

圖I是本實(shí)用新型的復(fù)合無紡布結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)作進(jìn)一步說明。實(shí)施例I圖I所示,一種石英砂提純裝置,包括爐體和支架2,爐體下側(cè)固定有支架2,所述爐體包括框體I. I、上板I. 2和防護(hù)罩I. 3,框體I. I外側(cè)固定有防護(hù)罩I. 3,框體I. I上側(cè)固定有上板I. 2,框體I. I內(nèi)側(cè)上部、左部和右部設(shè)有耐高溫纖維板5,框體I. I內(nèi)側(cè)底面設(shè)有耐火磚4,左右兩側(cè)的耐高溫纖維板5內(nèi)側(cè)設(shè)有耐火磚4,分體式爐芯管6固定于爐體內(nèi),爐體上設(shè)有若干卡接孔,碳硅棒3左右兩側(cè)卡接于爐體的卡接孔上且處于防護(hù)罩I. 3內(nèi)部。實(shí)施例2一種石英砂提純裝置,加熱爐體安裝在支架上,爐體由框體和上板組成,框體外圍 由鋼板制作,內(nèi)部由耐高溫纖維板和耐火磚砌成,排放四列,每列六根共24根硅碳棒作為加熱元件,爐體外側(cè)設(shè)有四個(gè)隔熱防護(hù)罩進(jìn)行加熱元件保護(hù)。整個(gè)爐體底部設(shè)有四個(gè)支撐腳和四個(gè)移動(dòng)腳輪,方便爐體移動(dòng)和就位。在爐體內(nèi)放置三根爐芯管,爐芯管為高純石英玻璃管制作。把需要提純的石英砂加入到爐芯管內(nèi),開啟提純裝置加熱,加熱到1250°C后從爐芯管底板通入HCl氣體,持續(xù)加熱通氣I小時(shí)。氣體從下往上充分與石英砂接觸發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成KCl、NaCl、CaC12等氣體、還有未被反應(yīng)完的HCl氣體被爐芯管上方的抽排風(fēng)機(jī)吸走,排入堿液槽內(nèi)進(jìn)行中和。這樣降低了石英砂中K、Ca、Na、Fe、Al、Li等不利元素的含量,高溫環(huán)境下完成了提純,提高了石英砂中純Si02的含量,提高石英砂品質(zhì)。由于和石英砂直接接觸的為高純石英玻璃管制作的爐芯管,這樣對(duì)要提純的石英砂沒有任何污染,不會(huì)帶入新的雜質(zhì)。
權(quán)利要求1.一種石英砂提純裝置,包括爐體和支架,爐體下側(cè)固定有支架,其特征在于所述爐體包括框體、上板和防護(hù)罩,框體外側(cè)固定有防護(hù)罩,框體上側(cè)固定有上板,框體內(nèi)側(cè)上部、左部和右部設(shè)有耐高溫纖維板,框體內(nèi)側(cè)底面設(shè)有耐火磚,左右兩側(cè)的耐高溫纖維板內(nèi)側(cè)設(shè)有耐火磚,分體式爐芯管固定于爐體內(nèi),爐體上設(shè)有若干卡接孔,碳硅棒左右兩側(cè)卡接于爐體的卡接孔上且處于防護(hù)罩內(nèi)部。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英砂提純裝置,其特征在于所述的碳硅棒為24根。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英砂提純裝置,其特征在于所述的24根碳硅棒呈6排,4列分布。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英砂提純裝置,其特征在于所述的碳硅棒底面圓直徑為16cm,長度為 740cm。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英砂提純裝置,其特征在于所述的支架由支架主體、支撐腳和重載腳輪組成。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英砂提純裝置,其特征在于所述的分體式爐芯管上端貫穿上板且處于上板上側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英砂提純裝置,其特征在于所述的分體式爐芯管下端貫穿爐體底部和支架上部。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英砂提純裝置,其特征在于所述的分體式爐芯管共有3根。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英砂提純裝置,其特征在于所述的防護(hù)罩為4個(gè)且設(shè)于爐體4個(gè)側(cè)面。
專利摘要一種石英砂提純裝置,包括爐體和支架,爐體下側(cè)固定有支架,所述爐體包括框體、上板和防護(hù)罩,框體外側(cè)固定有防護(hù)罩,框體上側(cè)固定有上板,框體內(nèi)側(cè)上部、左部和右部設(shè)有耐高溫纖維板,框體內(nèi)側(cè)底面設(shè)有耐火磚,左右兩側(cè)的耐高溫纖維板內(nèi)側(cè)設(shè)有耐火磚,分體式爐芯管固定于爐體內(nèi),爐體上設(shè)有若干卡接孔,碳硅棒左右兩側(cè)卡接于爐體的卡接孔上。本實(shí)用新型的有益效果在于加熱爐體內(nèi)部由耐高溫纖維板和耐火磚砌成,排放四列,每列六根共24根硅碳棒作為加熱元件,使石英砂提純效果更佳;爐體外側(cè)設(shè)有四個(gè)隔熱防護(hù)罩進(jìn)行加熱元件保護(hù),不會(huì)帶入新的雜質(zhì),提取的石英砂純度高;整個(gè)爐體底部設(shè)有四個(gè)支撐腳和四個(gè)移動(dòng)腳輪,方便爐體移動(dòng)和就位。
文檔編號(hào)C01B33/12GK202575998SQ201220163918
公開日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2012年4月18日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月18日
發(fā)明者陳晨明 申請(qǐng)人:杭州邁拓機(jī)械設(shè)備有限公司
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