專利名稱:LaB<sub>6</sub>多晶塊體陰極材料的快速制備方法
LaB6多晶塊體陰極材料的快速制備方法
技術(shù)領(lǐng)
本發(fā)明屬于稀土硼化物陰極材料技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種利 用放電等離子燒結(jié)(SPS )快速制備LaB6多晶塊體陰極材料的方法。
背景技術(shù):
LaB6是稀土六硼化物陰極中性能最佳的陰極之一,它具有逸 出功低、熔點高、硬度大、熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性高等作為陰極 材料的理想特性。此外,與其他熱陰極相比,LaB6還有發(fā)射電流 密度大、耐離子轟擊、抗中毒性好、使用壽命長等很多優(yōu)點,現(xiàn) 在已成功應(yīng)用于等離子體源、掃描電鏡、透射電鏡、電子束曝光 機、電子束焊機、俄歇能鐠儀及電子探針等多種設(shè)備中,具有廣 闊的應(yīng)用前景。
目前,通常采用熱壓或冷壓燒結(jié)法制備LaB6多晶塊體,而上 述方法均存在燒結(jié)溫度高(2000 - 2300°C )、燒結(jié)時間長(2 - 10h ), 且制備的產(chǎn)品不夠致密(相對密度低于90%),導(dǎo)致產(chǎn)品的力學(xué) 性能和發(fā)射性能不佳,限制了其應(yīng)用范圍。中國專利 ZL200610012297. 9中提供了 一種原位合成高純納米晶LaB6塊體的 制備方法,該方法分兩步,先采用氫電弧蒸發(fā)冷凝法制備納米氬 化鑭粉末,再將氬化鑭粉末與B粉末混合后,采用SPS反應(yīng)燒結(jié), 在燒結(jié)溫度為1150 - 1400°C,壓力為30-5眼Pa,保溫時間2-10min的條件下制備LaB6陰極材料,但該方法納米粉末制備過程
復(fù)雜,且產(chǎn)量低,成本高,不利于大規(guī)^莫工業(yè)生產(chǎn)和應(yīng)用。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)中的問題,而提供一種LaB6 多晶塊體陰極材料的快速制備方法。本發(fā)明所提供的方法能降低 燒結(jié)溫度、縮短燒結(jié)時間、提高陰極的力學(xué)和發(fā)射性能,并且能 縮短流程,降低成本,有利于大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)和應(yīng)用。
本發(fā)明所提供的一種LaB6多晶塊體陰極材料的快速制備方 法,包括以下步驟將LaB6粉末裝入石墨模具中,加壓壓實后, 放入SPS燒結(jié)爐中燒結(jié),燒結(jié)工藝為軸向壓力30 - 50MPa,氣 氛為高純氬氣(純度99. 999 % )或真空度高于5Pa的真空,以90 -20(TC/mm的升溫速度升溫,燒結(jié)溫度為1400 - 1700°C,保溫 時間為5-20min,隨爐冷至室溫,得到LaB6多晶塊體陰極材料。 其中,LaB6粉末可通過碳化硼還原法或其它方法制得。 與現(xiàn)有技術(shù)相比較,本發(fā)明具有以下有益效果 本發(fā)明采用SPS方法直接燒結(jié)LaB6粉末制備得到LaB6塊體陰 極,與傳統(tǒng)的燒結(jié)相比,SPS制備法燒結(jié)溫度低(1400 - 170(TC), 燒結(jié)時間短(5-20min),不僅工藝簡單,而且可獲得致密度高、 性能好的陰極材料。采用本方法制備的LaB6燒結(jié)塊體晶粒均勻, 力學(xué)及發(fā)射性能均有大幅提高,樣品相對密度達到96.2%,維氏 硬度達到1720kg/mm2,抗彎強度達到203. 2MPa。樣品在1520。C溫 度下發(fā)射電流密度達到16.98 A/cm2,功函數(shù)為2. 40eV。與專利 ZL200610012297. 9相比,本發(fā)明縮短了流程,克服了納米粉末制
備產(chǎn)量低,成本高的缺點,從而能實現(xiàn)大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn),使LaB6
多晶陰極有更廣闊的應(yīng)用前景。
圖1、實施例1制備的LaB6燒結(jié)塊體樣品的X射線譜圖。 圖2、實施例1制備的LaB6燒結(jié)塊體樣品的SEM斷口形貌照片。
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明作進一步說明,但本 發(fā)明的保護范圍不限于下述實施例。
具體實施例方式
實施例1
將LaB6粉末裝入石墨模具中,加壓壓實后,放入SPS燒結(jié)爐 中進行燒結(jié),燒結(jié)工藝為軸向壓力30MPa,氣氛為高純氬氣(純 度99.999% ),以90°C/min的升溫速度升溫,燒結(jié)溫度為1400 °C,保溫時間為20min,隨爐冷至室溫,得到LaB6多晶塊體。
從圖l可看出,燒結(jié)塊體結(jié)晶良好,為LaB6單相結(jié)構(gòu)。從圖 2可看出,LaB6晶粒均勻,樣品的斷裂方式為穿晶斷裂,有助于增 加樣品的抗彎強度。樣品相對密度達到90.5%,維氏硬度達到 1548kg/mm2,抗彎強度達到167. 4MPa。樣品在1520。C溫度下發(fā)射 電流密度達到16. 40A/cm2,功函數(shù)為2. 40eV。
實施例2
將LaB6粉末裝入石墨模具中,加壓壓實后,放入SPS燒結(jié)爐 中進行燒結(jié),燒結(jié)工藝為軸向壓力40MPa,氣氛為高純氬氣(純
度99. 999%),以150°C/min的升溫速度升溫,燒結(jié)溫度為1500 。C,保溫時間為lOmin,隨爐冷至室溫,得到LaB6多晶塊體。
LaB6多晶塊體經(jīng)X射線衍射分析為LaB6單相結(jié)構(gòu)。樣品相對 密度達到92.6%,維氏硬度達到1580kg/,2,抗彎強度達到 195. 6MPa。樣品在1520。C溫度下發(fā)射電流密度達到16. 63 A/cm2, 功函數(shù)為2. 40eV。
實施例3
將LaB6粉末裝入石墨模具中,加壓壓實后,放入SPS燒結(jié)爐 中進行燒結(jié),燒結(jié)工藝為軸向壓力50MPa,抽真空至5Pa,以 200°C/min的升溫速度升溫,燒結(jié)溫度為1700°C,保溫時間為 5min,隨爐冷至室溫,得到LaB6多晶塊體。
LaB6多晶塊體經(jīng)X射線衍射分析為LaB6單相結(jié)構(gòu)。樣品相對 密度達到96.5%,維氏硬度達到1720kg/mm2,抗彎強度達到 203. 2MPa。樣品在1520。C溫度下發(fā)射電流密度達到16. 98A/cm2, 功函數(shù)為2. 40eV。
權(quán)利要求
1、一種LaB6多晶塊體陰極材料的快速制備方法,其特征在于,包括以下步驟:將LaB6粉末裝入石墨模具中,加壓壓實后,放入SPS燒結(jié)爐中進行燒結(jié),燒結(jié)工藝為:軸向壓力30-50MPa,氣氛為99.999%的高純氬氣或真空度高于5Pa的真空,以90-200℃/min的升溫速度升溫,燒結(jié)溫度為1400-1700℃,保溫時間為5-20min,隨爐冷至室溫,得到LaB6多晶塊體陰極材料。
全文摘要
LaB<sub>6</sub>多晶塊體陰極材料的快速制備方法屬于稀土硼化物熱陰極材料技術(shù)領(lǐng)域?,F(xiàn)有LaB<sub>6</sub>陰極材料的制備技術(shù)存在燒結(jié)溫度高、時間長、工藝復(fù)雜等問題。本發(fā)明將LaB<sub>6</sub>粉末置于模具中壓實后放入SPS燒結(jié)爐內(nèi),施加30-50MPa壓力,采用高純氬氣氣氛或真空度高于5Pa的真空,以90-200℃/min的升溫速度升溫,燒結(jié)溫度為1400-1700℃,保溫時間為5-20min,隨爐冷卻,即可得到LaB<sub>6</sub>多晶塊體。本發(fā)明方法在降低燒結(jié)溫度、縮短燒結(jié)時間,簡化工藝流程的同時,大幅提高了LaB<sub>6</sub>陰極的力學(xué)性能和發(fā)射性能。
文檔編號C01B35/00GK101381085SQ200810225030
公開日2009年3月11日 申請日期2008年10月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月24日
發(fā)明者劉丹敏, 周身林, 張久興 申請人:北京工業(yè)大學(xué)