閘門結(jié)構(gòu)及沉積裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種閘門結(jié)構(gòu)及沉積裝置，所述閘門結(jié)構(gòu)包括：主體門，主體門包括第一側(cè)板和第二側(cè)板，第二側(cè)板上設(shè)有密封圈；壁體，包括第一側(cè)壁，第一側(cè)壁上具有一閘口；能夠驅(qū)動(dòng)主體門在第一位置和第二位置之間移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；當(dāng)?shù)谝粋?cè)板和第二側(cè)板處于吸合狀態(tài)時(shí)，第二側(cè)板的第一側(cè)面與第一側(cè)壁之間具有第一間隙；在第一側(cè)壁上設(shè)有第一調(diào)整件，在第一側(cè)板上設(shè)有第二調(diào)整件；其中第一調(diào)整件和第二調(diào)整件的位置相對應(yīng)，當(dāng)?shù)谝粋?cè)板和第二側(cè)板處于吸合狀態(tài)時(shí)，第一調(diào)整件和第二調(diào)整件之間具有第二間隙，且第二間隙小于第一間隙。本實(shí)用新型所提供的閘門結(jié)構(gòu)可以避免主體門上的密封圈與壁體發(fā)生摩擦或撞擊，從而減少了密封圈磨損風(fēng)險(xiǎn)。
【專利說明】
閘門結(jié)構(gòu)及沉積裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種閘門結(jié)構(gòu)及沉積裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣象沉積裝置應(yīng)用在TFT_LCD(Thin film ansistor-liquidcrystal display，薄膜晶體管液晶顯示器)、薄膜太陽能行業(yè)中，用于在基板上鍍膜。等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣象沉積裝置通常由裝載腔室(Load Lock)、傳遞腔室(Transfer Chamber)、工藝腔室(Process Chamber)三部分組成。其中，傳遞腔室通常對應(yīng)2?6個(gè)工藝腔室。SlitValve(縫隙閥)為傳遞腔室與工藝腔室之間的閘門，基板在傳遞腔室與工藝腔室之間進(jìn)出時(shí)，閘門打開;在進(jìn)行鍍膜工藝時(shí)，閘門關(guān)閉，目的為隔絕工藝腔室，維護(hù)工藝腔室穩(wěn)定與防治反應(yīng)氣體泄露。
[0003]圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)中的閘門的結(jié)構(gòu)示意圖。以下結(jié)合圖1對現(xiàn)有技術(shù)中閘門的結(jié)構(gòu)以及工作過程進(jìn)行說明。
[0004]如圖1所示，目前等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣象沉積裝置中，閘門設(shè)置在傳遞腔室與工藝腔室之間，閘門主要包括:壁體10、主體門、驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)20和支撐桿30等，其中主體門是由傳遞腔室側(cè)板(TC側(cè)板)31、工藝腔室側(cè)板(PC側(cè)板)32和內(nèi)部鼓風(fēng)裝置(Bellow)33組成，其中，鼓風(fēng)裝置33能夠使得TC側(cè)板32和PC側(cè)板31之間進(jìn)行吸合或分離，壁體10包括與PC側(cè)板31的外側(cè)面相對的第一側(cè)壁11，壁體10上形成一用于供基板傳輸經(jīng)過的閘口 12，支撐桿30能夠在驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)20的驅(qū)動(dòng)下，帶動(dòng)閘門的主體門上下移動(dòng)，而與閘口 12兩側(cè)的第一側(cè)壁11配合來打開或關(guān)閉閘口 12。
[0005]具體地，閘門的打開和關(guān)閉過程如下:
[0006]圖1所示為閘門處于打開狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，在閘門打開狀態(tài)時(shí)，PC側(cè)板32與TC側(cè)板31處于吸合狀態(tài)，并位于閘口 12的一側(cè)，當(dāng)需要關(guān)閉閘門12時(shí)，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)20驅(qū)動(dòng)支撐桿30上移，帶動(dòng)PC側(cè)板32和TC側(cè)板31上移至能夠使得PC側(cè)板32的外側(cè)面與閘口 12兩側(cè)的第一側(cè)壁11均相對，然后鼓風(fēng)裝置33使得PC側(cè)板32和TC側(cè)板31分離，在PC側(cè)板32上外側(cè)設(shè)置有密封圈(0-^1^)34，？(:側(cè)板32外側(cè)的密封圈34則與第一側(cè)壁11相接觸，從而關(guān)閉閘口 12，而隔絕工藝腔室和傳遞腔室，維護(hù)工藝腔室溫度，防止反應(yīng)氣體泄漏；當(dāng)需要打開閘門12時(shí)，鼓風(fēng)裝置33使得PC側(cè)板32和TC側(cè)板31吸合，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)20驅(qū)動(dòng)支撐桿30下移，帶動(dòng)PC側(cè)板32和TC側(cè)板31下移至能夠使得閘口 12打開的第一位置，打開閘口 12，使得基板能夠從閘口 12在工藝腔室與傳遞腔室之間傳輸。此外，在TC側(cè)板31上設(shè)置有保險(xiǎn)桿(Bumper)35為導(dǎo)電作用，PC側(cè)板32和TC側(cè)板31吸合的目的為保證主體門在上下移動(dòng)過程中密封圈34不被撞擊或摩擦。
[0007]現(xiàn)有技術(shù)中，閘門存在以下問題:
[0008]由于支撐桿的晃動(dòng)，當(dāng)主體門從關(guān)閉狀態(tài)至打開狀態(tài)時(shí)，由于密封圈(Ο-ring)與第一側(cè)壁之間的粘附力，PC側(cè)板和TC側(cè)板吸合后主體門會(huì)左右晃動(dòng)，上下移動(dòng)時(shí)，密封圈與第一側(cè)壁之間會(huì)發(fā)生磨損，尤其高世代線，主體門的重量大，晃動(dòng)更加劇烈;此外，閘門在長時(shí)間使用中，螺絲松動(dòng)，導(dǎo)致PC側(cè)板與第一側(cè)壁之間的間隙(Gap)變差，密封圈與壁體磨損，例如，導(dǎo)軌固定螺絲松動(dòng)、Gap Plate調(diào)整螺絲松動(dòng)等；由于驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)如驅(qū)動(dòng)氣缸泄氣等原因，導(dǎo)致主體門的運(yùn)動(dòng)不平穩(wěn)，而導(dǎo)致密封圈與壁體磨損;此外，由于不正當(dāng)?shù)牟僮?，PC側(cè)板和TC側(cè)板沒有吸合時(shí)，主體門上下移動(dòng)，密封圈撞擊與磨損。
[0009]由此可見，當(dāng)閘門的主體門與第一側(cè)壁之間的空隙(Gap)稍差，再加上移動(dòng)過程中主體門的震動(dòng)，密封圈很容易與壁體發(fā)生摩擦，嚴(yán)重導(dǎo)致撞斷，導(dǎo)致泄露發(fā)生，引發(fā)生產(chǎn)品質(zhì)與安全事故。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0010]本實(shí)用新型的目的在于提供一種閘門結(jié)構(gòu)以及沉積裝置，能夠減少密封圈磨損風(fēng)險(xiǎn)。
[0011 ]本實(shí)用新型所提供的技術(shù)方案如下:
[0012]一種閘門結(jié)構(gòu)，包括:
[0013]主體門，所述主體門包括相對設(shè)置的能夠吸合或分離的第一側(cè)板和第二側(cè)板，且所述第二側(cè)板的遠(yuǎn)離所述第一側(cè)板的第一側(cè)面上設(shè)有密封圈；
[0014]壁體，所述壁體包括一與所述第二側(cè)板的第一側(cè)面相對的第一側(cè)壁，所述第一側(cè)壁上具有一閘口 ；
[0015]以及，與所述主體門連接，能夠驅(qū)動(dòng)所述主體門在第一位置和第二位置之間移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu);在所述第一位置，所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板處于吸合狀態(tài)，并位于所述閘口的一側(cè)，以打開所述閘口；在所述第二位置，所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板處于分離狀態(tài)，且所述第二側(cè)板的第一側(cè)面上的密封圈與所述第一側(cè)壁的閘口兩側(cè)均接觸，以關(guān)閉所述閘口 ；
[0016]其中當(dāng)所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板處于吸合狀態(tài)時(shí)，所述第二側(cè)板的第一側(cè)面與所述第一側(cè)壁之間具有第一間隙；
[0017]在所述第一側(cè)壁上設(shè)有第一調(diào)整件，在所述第一側(cè)板上設(shè)有第二調(diào)整件;其中所述第一調(diào)整件和所述第二調(diào)整件的位置相對應(yīng)，當(dāng)所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板處于吸合狀態(tài)時(shí)，所述第一調(diào)整件和所述第二調(diào)整件之間具有第二間隙，且所述第二間隙小于所述第一間隙。
[0018]進(jìn)一步的，所述第一調(diào)整件包括:凸設(shè)在所述第一側(cè)壁上的調(diào)整板；
[0019]所述第二調(diào)整件包括:設(shè)置在所述第一側(cè)板上的滾動(dòng)部件。
[0020]進(jìn)一步的，所述第一調(diào)整件包括:設(shè)置在所述第一側(cè)板上的滾動(dòng)部件；
[0021 ]所述第二調(diào)整件包括:凸設(shè)在所述第一側(cè)壁上的調(diào)整板。
[0022]進(jìn)一步的，所述滾動(dòng)部件包括滾輪或滾珠。
[0023]進(jìn)一步的，所述調(diào)整板為采用耐磨材料形成的耐磨板。
[0024]進(jìn)一步的，所述調(diào)整板為沿所述主體門的移動(dòng)方向延伸的條狀板。
[0025]進(jìn)一步的，所述第一調(diào)整件設(shè)置在所述第一側(cè)壁上，并位于所述第二側(cè)板的至少一側(cè);所述第一側(cè)板在與所述第一調(diào)整件相對應(yīng)的位置具有超出所述第二側(cè)板之外的超出部分，所述第二調(diào)整件設(shè)置在所述超出部分上。
[0026]進(jìn)一步的，所述第一調(diào)整件設(shè)置在所述第一側(cè)壁上，并位于所述第二側(cè)板的至少一側(cè);所述第一側(cè)板在所述第一調(diào)整件所在的一側(cè)具有一安裝結(jié)構(gòu)，所述第二調(diào)整件安裝在所述安裝結(jié)構(gòu)上。
[0027]進(jìn)一步的，所述主體門還包括設(shè)置在所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板之間，能夠使得所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板吸合或分離的鼓風(fēng)裝置。
[0028]—種沉積裝置，包括如上所述的閘門結(jié)構(gòu)。
[0029]本實(shí)用新型的有益效果如下:
[0030]本實(shí)用新型所提供的閘門結(jié)構(gòu)，在壁體上設(shè)置第一調(diào)整件，通過在主體門上設(shè)置第二調(diào)整件，且在所述主體門處于吸合狀態(tài)時(shí)，使得第一調(diào)整件和第二調(diào)整件之間的間隙小于主體門上的密封圈與壁體之間的間隙，當(dāng)閘門主體傾斜或者震動(dòng)等情況下上下移動(dòng)時(shí)，第一調(diào)節(jié)件會(huì)與第二調(diào)節(jié)件接觸，而避免主體門上的密封圈與壁體發(fā)生摩擦或撞擊，從而減少了密封圈磨損風(fēng)險(xiǎn)；
[0031]在本實(shí)用新型所提供的閘門結(jié)構(gòu)的進(jìn)一步優(yōu)選方案中，第一調(diào)節(jié)件和第二調(diào)節(jié)件為滾動(dòng)摩擦，可以保證運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，且減少摩擦碎肩。
【附圖說明】
[0032]圖1表示現(xiàn)有技術(shù)中閘門處于打開狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖2表示本實(shí)用新型所提供的閘門結(jié)構(gòu)處于打開狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖3表示圖2中從閘口處俯視壁體的俯視圖；
[0035]圖4表示本實(shí)用新型所提供一種實(shí)施例中的閘門結(jié)構(gòu)的第一調(diào)整件和第二調(diào)整件的安裝結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0036]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；谒枋龅谋緦?shí)用新型的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0037]針對現(xiàn)有技術(shù)中沉積設(shè)備中傳遞腔室與工藝腔室之間的閘門上密封圈容易磨損的技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種閘門結(jié)構(gòu)，其能夠減少密封圈磨損風(fēng)險(xiǎn)。
[0038]如圖2和圖3所示，本實(shí)用新型所提供的閘門結(jié)構(gòu)，包括:
[0039]主體門100，所述主體門100包括相對設(shè)置的能夠吸合或分離的第一側(cè)板101和第二側(cè)板102，且所述第二側(cè)板102的遠(yuǎn)離所述第一側(cè)板101的第一側(cè)面上設(shè)有密封圈110;
[0040]壁體200，所述壁體200包括一與所述第二側(cè)板102的第一側(cè)面相對的第一側(cè)壁201，所述第一側(cè)壁201上具有一閘口 202 ；
[0041]以及，與所述主體門100連接，能夠驅(qū)動(dòng)所述主體門100在第一位置和第二位置之間移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)300;
[0042]在所述第一位置，所述第一側(cè)板101和所述第二側(cè)板102處于吸合狀態(tài)，并位于所述閘口 202的一側(cè)，以打開所述閘口 202;
[0043]在所述第二位置，所述第一側(cè)板101和所述第二側(cè)板102處于分離狀態(tài)，且所述第二側(cè)板102的第一側(cè)面上的密封圈110與所述第一側(cè)壁201的閘口 202兩側(cè)均接觸，以關(guān)閉所述閘口 202;
[0044]其中當(dāng)所述第一側(cè)板101和所述第二側(cè)板102處于吸合狀態(tài)時(shí)，所述第二側(cè)板102的第一側(cè)面與所述第一側(cè)壁201之間具有第一間隙Dl;
[0045]在所述第一側(cè)壁201上設(shè)有第一調(diào)整件211，在所述第一側(cè)板101上設(shè)有第二調(diào)整件 111;
[0046]其中所述第一調(diào)整件211和所述第二調(diào)整件111的位置相對應(yīng)，當(dāng)所述第一側(cè)板101和所述第二側(cè)板102處于吸合狀態(tài)時(shí)，所述第一調(diào)整件211和所述第二調(diào)整件111之間具有第二間隙D2，且所述第二間隙D2小于所述第一間隙D1。
[0047]本實(shí)用新型所提供的閘門結(jié)構(gòu)，可以設(shè)置在等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣象沉積裝置的傳遞腔室與工藝腔室之間。其中，本實(shí)用新型所提供的閘門結(jié)構(gòu)中，主體門100的第一側(cè)板101和第二側(cè)板102分別用于設(shè)置在傳遞腔室一側(cè)和工藝腔室一側(cè)，第一側(cè)板101和第二側(cè)板102可以吸合或分離;驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)300可以驅(qū)動(dòng)主體門100上下移動(dòng)，當(dāng)閘門打開時(shí)，第一側(cè)板101和第二側(cè)板102吸合，處于第一位置上，位于閘口 202—側(cè)；當(dāng)關(guān)閉閘門時(shí)，第一側(cè)板101和第二側(cè)板102則上移，并移動(dòng)至第二位置上，第二側(cè)板102的第一側(cè)面與壁體200的第一側(cè)壁201的閘口 202兩側(cè)均相對，再分離第一側(cè)板101和第二側(cè)板102，則第二側(cè)板102上的密封圈110與閘口 202的兩側(cè)的第一側(cè)壁201均接觸，而實(shí)現(xiàn)隔絕工藝腔室和傳遞腔室的目的。由此可見，第一側(cè)板101和第二側(cè)板102在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)300的驅(qū)動(dòng)下上下移動(dòng)過程中均處于吸合狀態(tài)，為了避免由于主體門100震動(dòng)等原因造成第二側(cè)板102上的密封圈110與壁體200磨損或撞擊，在本實(shí)用新型所提供的閘門結(jié)構(gòu)中，通過在第一側(cè)壁201上設(shè)置第一調(diào)整件211，在第一側(cè)板101上設(shè)置第二調(diào)整件111，且使得在所述主體門100處于吸合狀態(tài)時(shí)，使得第一調(diào)整件211和第二調(diào)整件111之間的間隙小于密封圈110與第一側(cè)壁201之間的間隙，當(dāng)閘門主門體傾斜或者震動(dòng)等情況下上下移動(dòng)時(shí)，第一調(diào)整件211會(huì)與第二調(diào)整件111接觸，而避免第二側(cè)板102上的密封圈110與第一側(cè)壁201之間發(fā)生摩擦或撞擊，從而減少了密封圈110磨損風(fēng)險(xiǎn)。此外，本實(shí)用新型所提供的閘門結(jié)構(gòu)可在現(xiàn)有的閘門結(jié)構(gòu)上進(jìn)行改造，閘門壁體200不需更換，只需對閘門壁體200以及主體門100進(jìn)行部分更換或者加工可實(shí)現(xiàn)，實(shí)用性較強(qiáng)。
[0048]以下說明本實(shí)用新型所提供的閘門結(jié)構(gòu)的優(yōu)選實(shí)施例。
[0049]如圖2和圖3所示，在本實(shí)施例中，優(yōu)選的，所述第一調(diào)整件211包括:凸設(shè)在所述第一側(cè)壁201上的調(diào)整板;所述第二調(diào)整件111包括:設(shè)置在所述第一側(cè)板101上的滾動(dòng)部件。
[0050]采用上述方案，第一側(cè)板101上安裝滾動(dòng)部件，壁體200的第一側(cè)壁201上安裝調(diào)整板，主體門100的第一側(cè)板101和第二側(cè)板102吸合時(shí)，滾動(dòng)部件與調(diào)整板之間的間隙小于密封圈110與第一側(cè)壁201之間的間隙，當(dāng)閘門主體門100傾斜或者震動(dòng)情況下，主體門100上下移動(dòng)時(shí)，滾動(dòng)部件會(huì)與調(diào)整板接觸，可完全避免密封圈110與壁體200的磨損與撞擊，且為滾動(dòng)摩擦，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn);并且，滾動(dòng)部件設(shè)計(jì)在第一側(cè)板101上，當(dāng)主體門100的第一側(cè)板101和第二側(cè)板102分離密封閘口 202時(shí)，滾動(dòng)部件會(huì)隨第一側(cè)板101運(yùn)動(dòng)而遠(yuǎn)離調(diào)整板，避免撞擊。
[0051]需要說明的是，在本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，所述第一調(diào)整件211和所述第二調(diào)整件111的結(jié)構(gòu)可以并不僅局限于此，還可以采用其他結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)，例如:所述第一調(diào)整件211包括設(shè)置在所述第一側(cè)板101上的滾動(dòng)部件，所述第二調(diào)整件111包括凸設(shè)在所述第一側(cè)壁201上的調(diào)整板;對此不再一一列舉。
[0052]此外，如圖2和圖3所示，在本實(shí)施例中，優(yōu)選的，所述滾動(dòng)部件采用滾輪112。應(yīng)當(dāng)理解的是，所述滾動(dòng)部件還可以采用其他部件實(shí)現(xiàn)，例如:所述滾動(dòng)部件還可以采用滾珠。所述滾動(dòng)部件采用滾輪112與采用滾珠相比，滾輪112安裝結(jié)構(gòu)更為簡單。
[0053]此外，在本實(shí)施例中，優(yōu)選的，所述調(diào)整板為采用耐磨材料形成的耐磨板，且所述調(diào)整板為沿所述主體門100的移動(dòng)方向延伸的條狀板。
[0054]采用上述方案，所述調(diào)整板采用耐磨材料制成，且為沿主體門100移動(dòng)方向延伸的條狀板，在主體門100移動(dòng)過程中，若有主體門100傾斜或震動(dòng)等情況，滾輪112會(huì)在條狀板上上下移動(dòng)，保證運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)。
[0055]此外，在本實(shí)用新型所提供的一種實(shí)施例中，如圖2和圖3所示，所述第一調(diào)整件211設(shè)置在所述第一側(cè)壁201上，并位于所述第二側(cè)板102的至少一側(cè);所述第一側(cè)板101在與所述第一調(diào)整件211相對應(yīng)的位置具有超出所述第二側(cè)板102之外的超出部分，所述第二調(diào)整件111設(shè)置在所述超出部分上。
[0056]采用上述方案，由于第一側(cè)板101上需要安裝滾輪112，僅需要將第一側(cè)板101設(shè)計(jì)為稍大于第二側(cè)板102即可安裝滾輪112，結(jié)構(gòu)簡單。
[0057]需要說明的是，滾輪112也可以是采用其他方式安裝于第一側(cè)板101上，例如:如圖4所示為本實(shí)用新型所提供的另一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，其中所述第一調(diào)整件211設(shè)置在所述第一側(cè)壁201上，并位于所述第二側(cè)板102的至少一側(cè);所述第一側(cè)板101在所述第一調(diào)整件211所在的一側(cè)具有一安裝結(jié)構(gòu)，所述第二調(diào)整件111安裝在所述安裝結(jié)構(gòu)上。采用上述方案，可在第一側(cè)板101的側(cè)面打孔，安裝滾輪112。
[0058]此外，還需要說明的是，如圖3所示，在本實(shí)施例中，優(yōu)選的，在第二側(cè)板102的相對的兩側(cè)均設(shè)置滾輪112和耐磨板，由此，可進(jìn)一步保證運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，密封圈110不會(huì)與壁體200磨損或撞擊。
[0059]此外，如圖所示，在本實(shí)施例中，如圖2和圖3所示，所述主體門100還包括設(shè)置在所述第一側(cè)板101和所述第二側(cè)板102之間，能夠使得所述第一側(cè)板101和所述第二側(cè)板102吸合或分離的鼓風(fēng)裝置103。采用上述方案，可以通過所述鼓風(fēng)裝置103來控制第一側(cè)板101和第二側(cè)板102吸合或分離。應(yīng)當(dāng)理解的是，在實(shí)際應(yīng)用中，所述第一側(cè)板101和所述第二側(cè)板102之間的吸合或分離也可以通過其他方式來實(shí)現(xiàn)。
[0060]此外，在本實(shí)施例中，如圖2所示，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)300可以采用與現(xiàn)有技術(shù)中閘門的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相同，其可以包括驅(qū)動(dòng)氣缸301和支撐桿302，其中驅(qū)動(dòng)氣缸301可以驅(qū)動(dòng)支撐桿302，來帶動(dòng)主體門100上下移動(dòng)。當(dāng)然可以理解的是，在此對于驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)并不僅局限于此。
[0061]此外，如圖2所示，本實(shí)用新型所提供的閘門結(jié)構(gòu)還可以包括用于調(diào)整第二側(cè)板102與第一側(cè)壁201之間的第一間隙的間隙調(diào)整結(jié)構(gòu)，所述間隙調(diào)整結(jié)構(gòu)可以包括相對設(shè)置且能夠相對距離進(jìn)行調(diào)整的第一間隙調(diào)整板303和第二間隙調(diào)整板304，其中第一間隙調(diào)整板303與支撐桿302連接，當(dāng)?shù)谝婚g隙調(diào)整板303和第二間隙調(diào)整板304之間間距發(fā)生變化時(shí)，會(huì)帶動(dòng)支撐桿302移動(dòng)，而帶動(dòng)主門體200向靠近或遠(yuǎn)離第一側(cè)壁201的方向移動(dòng)，進(jìn)而調(diào)整所述第二側(cè)板102與所述第一側(cè)壁201之間的第一間隙D1。
[0062]此外，本實(shí)用新型還提供了一種沉積裝置，包括本實(shí)用新型實(shí)施例中所提供的閘門結(jié)構(gòu)，該沉積裝置可以是等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣象沉積裝置，所述閘門結(jié)構(gòu)可以設(shè)置在傳遞腔室與工藝腔室之間。
[0063]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種閘門結(jié)構(gòu)，包括: 主體門，所述主體門包括相對設(shè)置的能夠吸合或分離的第一側(cè)板和第二側(cè)板，且所述第二側(cè)板的遠(yuǎn)離所述第一側(cè)板的第一側(cè)面上設(shè)有密封圈； 壁體，所述壁體包括一與所述第二側(cè)板的第一側(cè)面相對的第一側(cè)壁，所述第一側(cè)壁上具有一閘口 ； 以及，與所述主體門連接，能夠驅(qū)動(dòng)所述主體門在第一位置和第二位置之間移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu);在所述第一位置，所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板處于吸合狀態(tài)，并位于所述閘口的一側(cè)，以打開所述閘口；在所述第二位置，所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板處于分離狀態(tài)，且所述第二側(cè)板的第一側(cè)面上的密封圈與所述第一側(cè)壁的閘口兩側(cè)均接觸，以關(guān)閉所述閘P； 其中當(dāng)所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板處于吸合狀態(tài)時(shí)，所述第二側(cè)板的第一側(cè)面與所述第一側(cè)壁之間具有第一間隙;其特征在于， 在所述第一側(cè)壁上設(shè)有第一調(diào)整件，在所述第一側(cè)板上設(shè)有第二調(diào)整件;其中所述第一調(diào)整件和所述第二調(diào)整件的位置相對應(yīng)，當(dāng)所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板處于吸合狀態(tài)時(shí)，所述第一調(diào)整件和所述第二調(diào)整件之間具有第二間隙，且所述第二間隙小于所述第一間隙。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閘門結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述第一調(diào)整件包括:凸設(shè)在所述第一側(cè)壁上的調(diào)整板； 所述第二調(diào)整件包括:設(shè)置在所述第一側(cè)板上的滾動(dòng)部件。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閘門結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述第一調(diào)整件包括:設(shè)置在所述第一側(cè)板上的滾動(dòng)部件； 所述第二調(diào)整件包括:凸設(shè)在所述第一側(cè)壁上的調(diào)整板。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的閘門結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述滾動(dòng)部件包括滾輪或滾珠。5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的閘門結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述調(diào)整板為采用耐磨材料形成的耐磨板。6.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的閘門結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述調(diào)整板為沿所述主體門的移動(dòng)方向延伸的條狀板。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閘門結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述第一調(diào)整件設(shè)置在所述第一側(cè)壁上，并位于所述第二側(cè)板的至少一側(cè);所述第一側(cè)板在與所述第一調(diào)整件相對應(yīng)的位置具有超出所述第二側(cè)板之外的超出部分，所述第二調(diào)整件設(shè)置在所述超出部分上。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閘門結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述第一調(diào)整件設(shè)置在所述第一側(cè)壁上，并位于所述第二側(cè)板的至少一側(cè);所述第一側(cè)板在所述第一調(diào)整件所在的一側(cè)具有一安裝結(jié)構(gòu)，所述第二調(diào)整件安裝在所述安裝結(jié)構(gòu)上。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閘門結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述主體門還包括設(shè)置在所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板之間，能夠使得所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板吸合或分離的鼓風(fēng)裝置。10.—種沉積裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的閘門結(jié)構(gòu)。
【文檔編號】C23C16/50GK205420544SQ201620260829
【公開日】2016年8月3日
【申請日】2016年3月31日
【發(fā)明人】楊曉東, 董杰, 金哲山, 周東淇, 張興洋, 胡毓龍, 張新星, 高歡, 龔勛
【申請人】北京京東方顯示技術(shù)有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司