用于真空鍍膜系統(tǒng)的環(huán)形坩堝的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于真空鍍膜系統(tǒng)的環(huán)形坩禍。作為蒸鍍材料的載體，能有效提高蒸鍍材料預(yù)熔后結(jié)構(gòu)密度，從而改善產(chǎn)品質(zhì)量。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，真空蒸鍍系統(tǒng)所使用的蒸鍍材料的載體環(huán)形坩禍，其環(huán)形主體是一個(gè)空心的圓環(huán)體，圓環(huán)體內(nèi)部開一道通冷卻水的環(huán)槽，環(huán)槽內(nèi)外圈靠兩條氟橡膠密封圈和底板通過螺栓連接，形成由兩條密封圈間水冷卻循環(huán)結(jié)構(gòu)。由于環(huán)形主體是一個(gè)空心圓，冷卻水槽的冷卻量有限，導(dǎo)致膜料在電子束轟擊熔化時(shí)不能夠迅速冷卻，從而容易出現(xiàn)空穴現(xiàn)象，最終導(dǎo)致在產(chǎn)品鍍制過程中出現(xiàn)蒸鍍速率不穩(wěn)定情況而影響產(chǎn)品的性能。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為了克服普通環(huán)形坩禍在真空蒸鍍?nèi)哿线^程出現(xiàn)空穴情況，本實(shí)用新型提供了一種用于真空鍍膜系統(tǒng)的環(huán)形坩禍，能有效提高蒸鍍材料在電子束轟擊熔料過程中材料的結(jié)構(gòu)密度，解決蒸鍍過程速率不穩(wěn)定的情況。
[0004]本實(shí)用新型解決技術(shù)問題所使用的技術(shù)方案是:
[0005]—種用于真空鍍膜系統(tǒng)的環(huán)形坩禍，包括環(huán)形主體、水流分流板、底板、冷卻水導(dǎo)管、旋轉(zhuǎn)主軸，環(huán)形主體的中心通過螺絲固定水流分流板，外圈設(shè)有氟橡膠密封圈，底板通過固定螺栓與固定水流分流板相連壓緊氟橡膠密封圈后形成一個(gè)中空腔體為冷卻水提供循環(huán)空間，然后整體固定在電機(jī)的旋轉(zhuǎn)主軸上，主軸中空，內(nèi)部設(shè)有冷卻水導(dǎo)管為所述中空腔體提供冷卻水。
[0006]所述的環(huán)形主體進(jìn)一步設(shè)有上蓋板，用于為防止蒸鍍過程對固定螺栓的污染。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果是:由于水冷面積大能夠最大限度保證蒸鍍材料由顆粒狀熔化液體后變?yōu)楣腆w時(shí)的結(jié)構(gòu)密度，防止了在蒸鍍過程中因出現(xiàn)材料空穴造成成膜速率跳動而影響成膜質(zhì)量問題。最終能夠節(jié)約蒸鍍材料，延長燒坑時(shí)間，提高膜層穩(wěn)定性。增大水冷卻面積后可以避免蒸鍍材料在預(yù)熔料過程中出現(xiàn)的結(jié)構(gòu)密度問題，能有效減少預(yù)熔次數(shù)節(jié)約蒸鍍材料穩(wěn)定蒸鍍速率。
【附圖說明】
[0008]下面結(jié)合附圖和實(shí)例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。
[0009]圖1為本實(shí)用新型的一種爆炸圖；
[0010]其中，環(huán)形主體1、水流分流板2、底板3、固定螺栓4、上蓋板5、冷卻水導(dǎo)管6、旋轉(zhuǎn)主軸7，氟橡膠圈為標(biāo)準(zhǔn)件圖中未標(biāo)出；
[0011 ]圖2為本實(shí)用新型的一種裝配后的剖面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]本實(shí)用新型將將傳統(tǒng)的蒸鍍材料載體環(huán)形坩禍的環(huán)形主體由原來的空心圓環(huán)體，加工成一個(gè)表面看起來是整個(gè)圓環(huán)而內(nèi)部大面積中空的結(jié)構(gòu)，并增加一個(gè)水流分流板，此分流板水流固定于環(huán)形主體內(nèi)部，故環(huán)形主體與底板的密封由原來兩道變?yōu)橐坏?。這種結(jié)構(gòu)增加了環(huán)形坩禍的冷卻面積有效增大冷卻量，從而克服常規(guī)環(huán)形坩禍熔料中出現(xiàn)的材料結(jié)構(gòu)密度不一致問題。
[0013]—種用于真空鍍膜系統(tǒng)的環(huán)形坩禍，包括環(huán)形主體1、水流分流板2、底板3、冷卻水導(dǎo)管6、旋轉(zhuǎn)主軸7，環(huán)形主體I的中心通過螺絲固定水流分流板2，外圈設(shè)有氟橡膠密封圈，底板3通過固定螺栓4與固定水流分流板2相連壓緊氟橡膠密封圈后形成一個(gè)中空腔體為冷卻水提供循環(huán)空間，然后整體固定在電機(jī)的旋轉(zhuǎn)主軸7上，主軸中空，內(nèi)部設(shè)有冷卻水導(dǎo)管6為所述中空腔體提供冷卻水。
[0014]所述的環(huán)形主體I進(jìn)一步設(shè)有上蓋板5，用于為防止蒸鍍過程對固定螺栓的污染。當(dāng)然對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說也可以采用其它方式來防止該污染，圖中僅示出有蓋板5的情形。
[0015]實(shí)施例
[0016]如圖1所示，將氟橡膠圈放入環(huán)形主體I中，注意先將橡膠圈清潔后涂一層真空潤滑脂，以防損壞密封圈。環(huán)形主體I與水流分流板2通過M3螺絲固定，然后將底板3與通過固定螺栓4連為一體，插入冷卻水導(dǎo)管6，將連接好的主體通過外六角螺栓(此螺栓尾部一般需帶有密封圈槽)固定到旋轉(zhuǎn)主軸7上完成連接，蓋板5主要是為防止蒸鍍過程對外六角螺栓的污染。
[0017]裝配后的剖面圖如圖2所示。
[0018]其中，環(huán)形主體I由無氧銅材料加工成型，水流分流板2由SUS304板加工，底板3由SUS304材料加工。
[0019]所述環(huán)形坩禍，環(huán)形主體I設(shè)有的矩形槽道放置蒸鍍材料由高壓電子槍產(chǎn)生電子束對材料進(jìn)行預(yù)熔，環(huán)形主體I與底板3之間充滿冷卻循環(huán)水對蒸鍍材料預(yù)熔后迅速冷卻保證了預(yù)熔材料凝固時(shí)結(jié)構(gòu)密度，由調(diào)速電機(jī)帶動環(huán)形坩禍轉(zhuǎn)動完成材料預(yù)熔。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于真空鍍膜系統(tǒng)的環(huán)形坩禍，其特征是:包括環(huán)形主體(I)、水流分流板(2)、底板(3)、冷卻水導(dǎo)管(6)、旋轉(zhuǎn)主軸(7)，環(huán)形主體(I)的中心通過螺絲固定水流分流板(2)，外圈設(shè)有氟橡膠密封圈，底板(3)通過固定螺栓(4)與固定水流分流板(2)相連壓緊氟橡膠密封圈后形成一個(gè)中空腔體為冷卻水提供循環(huán)空間，然后整體固定在電機(jī)的旋轉(zhuǎn)主軸(7)上，主軸中空，內(nèi)部設(shè)有冷卻水導(dǎo)管(6 )為所述中空腔體提供冷卻水。2.根據(jù)權(quán)利要求1的所述環(huán)形坩禍，其特征是:所述的環(huán)形主體I進(jìn)一步設(shè)有上蓋板(5)， 用于為防止蒸鍍過程對固定螺栓的污染。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于真空鍍膜系統(tǒng)的環(huán)形坩堝，包括環(huán)形主體、水流分流板、底板、冷卻水導(dǎo)管、旋轉(zhuǎn)主軸，環(huán)形主體的中心通過螺絲固定水流分流板，外圈設(shè)有氟橡膠密封圈，底板通過固定螺栓與固定水流分流板相連壓緊氟橡膠密封圈后形成一個(gè)中空腔體為冷卻水提供循環(huán)空間，然后整體固定在電機(jī)的旋轉(zhuǎn)主軸上，主軸中空，內(nèi)部設(shè)有冷卻水導(dǎo)管為所述中空腔體提供冷卻水。所述的環(huán)形主體進(jìn)一步設(shè)有上蓋板，用于為防止蒸鍍過程對固定螺栓的污染。本實(shí)用新型的有益效果是：增大冷卻水冷卻面積后可以避免蒸鍍材料在預(yù)熔料過程中出現(xiàn)的結(jié)構(gòu)密度問題，能有效減少預(yù)熔次數(shù)節(jié)約蒸鍍材料穩(wěn)定蒸鍍速率。
【IPC分類】C23C14/24
【公開號】CN205188413
【申請?zhí)枴緾N201520920849
【發(fā)明人】謝繼闖
【申請人】合波光電通信科技有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請日】2015年11月18日