一種hdi板銅箔蝕刻液的精確配制裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及HDI印制線路板制造，具體涉及一種HDI板銅箔蝕刻液的精確配制裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]HDI板(High Density Interconnect)即高密度互連板，是PCB行業(yè)在20世紀(jì)末發(fā)展起來的一門較新的技術(shù)。隨著智能手機(jī)、平板電腦等消費(fèi)類電子產(chǎn)品不斷向輕便化、小型化的趨勢發(fā)展，推動(dòng)PCB不斷向更高、更密集化布局方向發(fā)展。HDI印刷電路板制造過程中涉及內(nèi)層板、外層板的蝕刻過程，蝕刻工藝過程對于HDI板的制造十分重要，其可以有效地將線路設(shè)計(jì)圖實(shí)施到芯板、內(nèi)層、外層的銅箔上。目前采用的蝕刻液主要包括FeCl3溶液、溶液以及堿性CuCl2溶液。FeCl 3蝕刻液易產(chǎn)生沉淀，對設(shè)備腐蝕較嚴(yán)重，且廢液處理較為困難；蝕刻液不穩(wěn)定，蝕刻速度變化大；堿性CuCl#4刻液因含有大量氨水，在蝕刻過程中氨水極具揮發(fā)性和刺激性，容易影響蝕刻液的穩(wěn)定性及蝕刻速度的一致性，且對人和環(huán)境產(chǎn)生不良影響。相比之下，酸性CuCl#4刻液體系具有蝕刻速度穩(wěn)定、蝕刻均勻、蝕刻液易再生和污染少的優(yōu)點(diǎn)。目前蝕刻過程中常見的質(zhì)量缺陷主要包括蝕刻不盡、開路、短路等，其原因是蝕刻反應(yīng)過程不穩(wěn)定所致，關(guān)鍵問題是蝕刻液的化學(xué)組成及工藝控制。
[0003]蝕刻液的準(zhǔn)確配制、藥劑定量加入以及運(yùn)行過程中的有效維護(hù)是銅箔蝕刻行業(yè)中長期存在的技術(shù)難題，若主要化學(xué)藥劑的加入量不準(zhǔn)確，濃度過高導(dǎo)致腐蝕過度，影響到邊緣的平整、規(guī)正度；濃度過低，導(dǎo)致腐蝕慢，生產(chǎn)效率不高。采用傳統(tǒng)配液裝置，在生產(chǎn)過程中無法查證其濃度是否維持在合理的范圍內(nèi)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為了克服上述缺陷，本實(shí)用新型提出一種新型HDI板銅箔蝕刻液的精確配制及藥劑濃度調(diào)整的裝置，該裝置能夠有效解決HDI板產(chǎn)品蝕刻生產(chǎn)過程中蝕刻液的精確配制及藥劑濃度調(diào)整中出現(xiàn)的相關(guān)質(zhì)量缺陷，提高HDI產(chǎn)品的良品率。
[0005]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種HDI板銅箔蝕刻液的精確配制裝置，包括一個(gè)蝕刻液配制槽，添加劑1貯槽、添加劑2貯槽以及兩個(gè)預(yù)分散槽，添加劑1貯槽、添加劑2貯槽的位置高于蝕刻液配制槽；添加劑1貯槽、添加劑2貯槽與預(yù)分散槽之間通過管道、閥門連接，添加劑1貯槽、添加劑2貯槽的位置高于預(yù)分散槽，所述預(yù)分散槽中安裝有超聲波發(fā)生器及溫度傳感器。
[0006]進(jìn)一步的，所述預(yù)分散槽與蝕刻液配制槽之間通過管道連接，其中安裝有栗、閥門、流量計(jì)。流量計(jì)通過數(shù)據(jù)線與電腦相連。
[0007]進(jìn)一步的，所述各個(gè)流量計(jì)和預(yù)分散槽溫度傳感器都通過不同的數(shù)據(jù)線與同一臺電腦相連。
[0008]本實(shí)用新型通過對蝕刻液配制中主要化學(xué)藥劑加入的準(zhǔn)確計(jì)量、檢測裝置的改進(jìn)，采用計(jì)算機(jī)瞬時(shí)采集栗輸送液體的流量，并轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號，再經(jīng)計(jì)算機(jī)積分計(jì)算，獲得所加入藥劑的總量，達(dá)到蝕刻液中主要化學(xué)藥劑的準(zhǔn)確加入，改善蝕刻后銅箔質(zhì)量，提高工藝運(yùn)行穩(wěn)定可靠性及生產(chǎn)效率的目的。
【附圖說明】
[0009]圖1所示的是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]其中，1、蝕刻液配制槽；2、添加劑1貯槽；3、添加劑2貯槽；4、預(yù)分散槽；5、管道；6、閥門；7、超聲波發(fā)生器；8、溫度傳感器；9、電腦；10、栗；11、流量計(jì)。
【具體實(shí)施方式】
[0011 ] 如圖1所示，一種HDI板銅箔蝕刻液的精確配制裝置，包括一個(gè)蝕刻液配制槽1，添加劑1貯槽2、添加劑2貯槽3以及兩個(gè)預(yù)分散槽4，添加劑1貯槽2、添加劑2貯槽3的位置高于蝕刻液配制槽1，添加劑1貯槽2、添加劑2貯槽3與預(yù)分散槽4之間通過管道5、閥門6連接，添加劑1貯槽2、添加劑2貯槽3的位置高于預(yù)分散槽1，借助重力作用可自動(dòng)流入預(yù)分散槽4內(nèi)。預(yù)分散槽4中安裝有超聲波發(fā)生器7，其可將加入的化學(xué)藥劑高度均勻分散，同時(shí)預(yù)分散槽4還中安裝有溫度傳感器8，可將槽內(nèi)料液的溫度準(zhǔn)確采集。
[0012]預(yù)分散槽4與配液槽1之間通過管道連接，其中安裝有栗10、閥門6、流量計(jì)。流量計(jì)11通過數(shù)據(jù)線與電腦9相連，隨時(shí)采集配料過程中通過流量計(jì)11的瞬時(shí)流量，電腦9將上述采集到的瞬時(shí)流量數(shù)據(jù)，經(jīng)過積分處理，獲得所加入藥劑的總體積量，通過實(shí)際溫度下藥劑的濃度值，計(jì)算獲得所加入藥劑的總質(zhì)量。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種HDI板銅箔蝕刻液的精確配制裝置，包括一個(gè)蝕刻液配制槽，添加劑1貯槽、添加劑2貯槽以及兩個(gè)預(yù)分散槽，其特征在于，添加劑1貯槽、添加劑2貯槽的位置高于蝕刻液配制槽；添加劑1貯槽、添加劑2貯槽與預(yù)分散槽之間通過管道、閥門連接，添加劑1貯槽、添加劑2貯槽的位置高于配液槽，所述預(yù)分散槽中安裝有超聲波發(fā)生器及溫度傳感器。2.如權(quán)利要求1所述的一種HDI板銅箔蝕刻液的精確配制裝置，其特征在于，所述預(yù)分散槽與配液槽之間通過管道連接，其中安裝有栗、閥門、流量計(jì)，流量計(jì)通過數(shù)據(jù)線與電腦相連。3.如權(quán)利要求1所述的一種HDI板銅箔蝕刻液的精確配制裝置，其特征在于，所述各個(gè)藥劑對應(yīng)的流量計(jì)都通過不同的數(shù)據(jù)線與同一臺電腦相連。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種HDI板銅箔蝕刻液的精確配制裝置，包括一個(gè)蝕刻液配制槽，添加劑1貯槽、添加劑2貯槽以及兩個(gè)預(yù)分散槽，添加劑1貯槽、添加劑2貯槽的位置高于蝕刻液配制槽；添加劑1貯槽、添加劑2貯槽與預(yù)分散槽之間通過管道、閥門連接，添加劑1貯槽、添加劑2貯槽的位置高于預(yù)分散槽，所述預(yù)分散槽中安裝有超聲波發(fā)生器及溫度傳感器；本實(shí)用新型通過對蝕刻液配制中主要化學(xué)藥劑加入的準(zhǔn)確計(jì)量、檢測裝置的改進(jìn)，采用計(jì)算機(jī)瞬時(shí)采集泵輸送液體的流量，并轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號，再經(jīng)計(jì)算機(jī)積分計(jì)算，獲得所加入藥劑的總量，達(dá)到蝕刻液中主要化學(xué)藥劑的準(zhǔn)確加入，改善蝕刻后銅箔質(zhì)量，提高工藝運(yùn)行穩(wěn)定可靠性及生產(chǎn)效率的目的。
【IPC分類】B01F15/02, C23F1/00
【公開號】CN205115604
【申請?zhí)枴緾N201420651457
【發(fā)明人】詹有根, 零上銳
【申請人】臨安振有電子有限公司
【公開日】2016年3月30日
【申請日】2014年11月3日