一種四軸射流拋光機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及拋光機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，更具體的說，特別涉及一種四軸射流拋光機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002] 隨著現(xiàn)代光學(xué)、電子學(xué)、薄膜科學(xué)及航空航天等科學(xué)的飛速發(fā)展，光學(xué)元件及功能 元件的形狀越來越復(fù)雜，表面質(zhì)量的要求也越來越苛刻，超光滑表面的應(yīng)用也越來越高。超 光滑表面除了面形精度和表面粗糙度要求極高以外，還要求表面有完好的晶格結(jié)構(gòu)、無缺 陷，能消除加工損傷層。1998年，荷蘭Delft大學(xué)的F&hn Ie首先利用了 FJP技術(shù)，并將其 用在了光學(xué)元件的表面拋光上并獲得了 I. 6nm的表面粗糙度，顯示出FJP的超光滑表面加 工能力。此后，越來越多的科學(xué)家投入到FJP技術(shù)的研究中。FAhnIe和Booij通過研究發(fā) 現(xiàn)FJP技術(shù)的去除原理主要依靠粒子對元件的沖擊實(shí)現(xiàn)材料的去除，沖擊粒子通過碰撞磨 削作用以塑性方式去除工件表面材料。射流拋光機(jī)的應(yīng)用也越來越廣泛，但現(xiàn)有的射流拋 光機(jī)一般成本較高、加工精度差且控制復(fù)雜。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)存在的技術(shù)問題，提供一種四軸射流拋光機(jī)，整 體結(jié)構(gòu)簡單、成本低、噴射流穩(wěn)定且去除效果好。
[0004] 為了解決以上提出的問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：
[0005] -種四軸射流拋光機(jī)，包括溶液存儲罐、隔膜栗、管路、噴嘴緩沖管、噴嘴和收集 箱；
[0006] 所述溶液存儲罐內(nèi)盛放射流溶液，收集箱設(shè)置在溶液存儲罐上方；工件設(shè)置在收 集箱內(nèi)，并與收集箱的入口位置相對應(yīng)，所述收集箱的出口與溶液存儲罐連通；所述隔膜栗 也與溶液存儲罐連通，并連接管路的一端；所述管路的另一端連接噴嘴緩沖管，噴嘴緩沖管 的端部設(shè)置有噴嘴，噴嘴位于收集箱的入口上方；
[0007] 所述收集箱能夠?qū)崿F(xiàn)X軸方向運(yùn)動，噴嘴緩沖管能夠?qū)崿F(xiàn)Y軸和Z軸方向以及旋 轉(zhuǎn)運(yùn)動。
[0008] 所述收集箱安裝在X軸平臺上，Z軸平臺和Y軸平臺垂直設(shè)置，T軸旋轉(zhuǎn)平臺安裝 在Z軸平臺上，噴嘴緩沖管安裝在T軸旋轉(zhuǎn)平臺上。
[0009] 所述溶液存儲罐與管路之間設(shè)置有安全閥，用于對管路進(jìn)行泄壓。
[0010] 所述管路上還設(shè)置有緩沖罐和壓力表，所述緩沖罐用于減小管路的脈沖，所述壓 力表用于顯示管路的壓力。
[0011] 所述X軸平臺、Z軸平臺和Y軸平臺通過控制器進(jìn)行控制，所述控制器與計算機(jī)連 接，通過計算機(jī)能夠同時控制X、Y、Z三個方向的運(yùn)動。
[0012] 所述溶液存儲罐內(nèi)還設(shè)置有攪拌器，用于對溶液存儲罐內(nèi)的溶液進(jìn)行攪拌。
[0013] 所述收集箱為矩形透明盒PVC，其包括箱體和頂蓋，頂蓋安裝在箱體頂部；箱體內(nèi) 側(cè)底部設(shè)置有安裝工件的固定臺，箱體側(cè)面底端對稱加工有通孔作為出口，頂蓋中部加工 有通孔作為入口。
[0014] 所述噴嘴緩沖管為直管，并通過夾持塊安裝在T軸旋轉(zhuǎn)平臺上；所述夾持塊通過 底板安裝在T軸旋轉(zhuǎn)平臺上，底板上形成用于安裝噴嘴緩沖管的套筒，套筒的圓周面上形 成開口，開口的外緣向外延伸形成兩個定位塊，兩個定位塊之間通過螺釘固定。
[0015] 采用機(jī)架作為安裝載體，其內(nèi)側(cè)采用三層分布即上層、中層和下層，上層設(shè)置有X 軸平臺、Z軸平臺和Y軸平臺以及收集箱，中層設(shè)置有控制器，下層設(shè)置有攪拌器和溶液存 儲罐；所述隔膜栗和計算機(jī)置于機(jī)架外側(cè)。
[0016] 所述工件通過工件夾固定在收集箱內(nèi)的固定臺上。
[0017] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果在于：
[0018] 本發(fā)明中通過隔膜栗將射流溶液吸入管路內(nèi)，并通過噴嘴緩沖管緩沖后經(jīng)過噴嘴 作用在工件上，工件設(shè)置在收集箱內(nèi)，方便安裝，收集箱將加工后的溶液重新輸入到溶液存 儲罐內(nèi)，可以循環(huán)利用，整個拋光機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)四個方向的運(yùn)動，方便調(diào)節(jié)噴嘴與工件之間的 位置關(guān)系，整體結(jié)構(gòu)簡單、成本低、噴射流穩(wěn)定且去除效果好。
【附圖說明】
[0019] 圖1為本發(fā)明四軸射流拋光機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020] 圖2為本發(fā)明收集箱的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021] 圖3為本發(fā)明收集箱的局部結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022] 圖4為本發(fā)明夾持塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023] 附圖標(biāo)記說明：1-溶液存儲罐、2-攪拌器、3-隔膜栗、4-安全閥、5-緩沖罐、6-壓 力表、7-管路、8-Z軸平臺、9-Y軸平臺、IO-T軸旋轉(zhuǎn)平臺、11-噴嘴緩沖管、12-噴嘴、13-工 件夾、14-工件、15-收集箱、15a-入口、15b-出口、15c-固定臺、16-X軸平臺、17-控制器、 18-機(jī)架、19-計算機(jī)、21-底板、22-套筒、23-定位塊
【具體實(shí)施方式】
[0024] 為了便于理解本發(fā)明，下面將參照相關(guān)附圖對本發(fā)明進(jìn)行更全面的描述。附圖中 給出了本發(fā)明的較佳實(shí)施例。但是，本發(fā)明可以以許多不同的形式來實(shí)現(xiàn)，并不限于本文所 描述的實(shí)施例。相反地，提供這些實(shí)施例的目的是使對本發(fā)明的公開內(nèi)容的理解更加透徹 全面。
[0025] 除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本發(fā)明的技術(shù)領(lǐng)域的 技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本發(fā)明的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具 體的實(shí)施例的目的，不是旨在于限制本發(fā)明。
[0026] 參閱圖1所示，本發(fā)明提供的一種四軸射流拋光機(jī)，包括溶液存儲罐1、隔膜栗3、 管路7、噴嘴緩沖管11、噴嘴12和收集箱15,本實(shí)施例中以機(jī)架18為安裝載體。
[0027] 所述溶液存儲罐1內(nèi)盛放射流溶液，并設(shè)置在機(jī)架18內(nèi)側(cè)。收集箱15也設(shè)置在 機(jī)架18內(nèi)側(cè)并位于溶液存儲罐1上方，收集箱15上加工有入口和出口。工件14設(shè)置在收 集箱15內(nèi)，并與收集箱15的入口位置相對應(yīng)，收集箱15的出口與溶液存儲罐1連通。
[0028] 所述隔膜栗3置于機(jī)架18外側(cè)，并與溶液存儲罐1連通。隔膜栗3還連接管路7 的一端，管路7的另一端連接噴嘴緩沖管11，噴嘴緩沖管11的端部設(shè)置有噴嘴12,噴嘴12 位于收集箱15上方。
[0029] 所述收集箱15能夠?qū)崿F(xiàn)X軸方向運(yùn)動，噴嘴緩沖管11能夠?qū)崿F(xiàn)Y軸和Z軸方向 以及旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，這樣可以方便調(diào)節(jié)噴嘴12與工件14之間的距離及對應(yīng)的位置關(guān)系，即使得 噴嘴12與工件14的位置相對應(yīng)，保證噴射溶液能夠可靠地作用在工件14上。
[0030] 上述中，收集箱15安裝在X軸平臺16上，通過X軸平臺16可靠地實(shí)現(xiàn)X軸方向 運(yùn)動。Z軸平臺8和Y軸平臺9垂直設(shè)置，T軸旋轉(zhuǎn)平臺10安裝在Z軸平臺8上，噴嘴緩沖 管11安裝在T軸旋轉(zhuǎn)平臺10上，這樣可以可靠地實(shí)現(xiàn)Y軸和Z軸方向以及旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。
[0031] 上述中，溶液存儲罐1與管路7之間設(shè)置有安全閥4,用于保證噴射壓力不會突然 增大，可以起到對管路7進(jìn)行泄壓的作用。
[0032] 上述中，管路7上還設(shè)置有緩沖罐5和壓力表6,所述緩沖罐5用于減小管路7的 脈沖，可減小脈沖達(dá)95% ;所述壓力表6用于顯示管路7的壓力，保證管路7的安全性和可 靠性。
[0033] 上述中，X軸平臺16、Z軸平臺8和Y軸平臺9通過控制器17進(jìn)行控制，可以實(shí)現(xiàn) 三維運(yùn)動?？刂破?7與機(jī)架18外