一種蒸鍍坩堝以及oled材料的蒸鍍裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及OLED顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其是OLED顯示器件制備工藝中的一種蒸鍍坩 堝以及包含該蒸鍍坩堝的OLED材料的蒸鍍裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] OLED(Organic Light Emitting Display，有機(jī)電致發(fā)光顯示器件）作為新一代的 固態(tài)自發(fā)光顯示技術(shù)，相較于液晶顯示具有超薄、響應(yīng)度高、對比度高、功耗低等優(yōu)勢，近幾 年產(chǎn)業(yè)化速度突飛猛進(jìn)。
[0003] 請參閱圖1，為現(xiàn)有的一種OLED顯示器件的結(jié)構(gòu)示意圖，其包括：基板100、形成于 基板100上的OLED器件200及與基板100貼合設(shè)置的封裝蓋板300,所述OLED器件200包 括形成于基板100上的陽極201、形成于陽極201上的有機(jī)功能層202以及形成于有機(jī)功 能層202上的陰極203,陽極201與陰極203激發(fā)有機(jī)功能層202以實現(xiàn)顯示。其中，OLED 器件的有機(jī)功能層202, 一般由三個功能層構(gòu)成，分別為空穴傳輸功能層（Hole Transport Layer，HTL)、發(fā)光功能層（Emissive Layer，EML)、電子傳輸功能層（Electron Transport Layer，ETL)。每個功能層可以是一層，或者一層以上，例如空穴傳輸功能層，有時可以細(xì)分 為空穴注入層和空穴傳輸層；電子傳輸功能層，可以細(xì)分為電子傳輸層和電子注入層，但其 功能相近，故統(tǒng)稱為空穴傳輸功能層和電子傳輸功能層。
[0004] 目前，制備OLED顯示器件主流的方式是真空加熱鍍膜，即在真空腔體內(nèi)使用坩堝 加熱OLED材料。請參閱圖2,現(xiàn)有的用于OLED材料蒸鍍的坩堝包括坩堝本體10及蓋設(shè)于 坩堝本體10開口端的坩堝蓋子20,坩堝蓋子20中設(shè)置有蒸鍍孔21。其中坩堝本體10用 于容納OLED材料30,對OLED材料30加熱，使其在一定溫度下升華或者熔融汽化成蒸汽，透 過蒸鍍孔21沉積在基板上。
[0005] 在OLED材料的蒸鍍過程中，由于蒸鍍出的有機(jī)物為蓬松結(jié)構(gòu)，很容易在坩堝蓋子 20的蒸鍍孔21部位集結(jié)，直至將蒸鍍孔21完全堵住。但由于OLED顯示器件制作工藝的特 殊性，需要在持續(xù)的真空環(huán)境下，連續(xù)完成有機(jī)物的蒸鍍，而一旦蒸鍍孔21被堵，將使OLED 材料無法蒸發(fā)，使蒸鍍工藝無法繼續(xù)進(jìn)行，嚴(yán)重影響生產(chǎn)、實驗進(jìn)度。這種情況下，目前的做 法只能把OLED材料降溫至室溫，再打開蒸鍍設(shè)備腔體，處理完塞孔的蒸發(fā)源后，再關(guān)上蒸 鍍設(shè)備腔體，然后才能開始再次加熱有機(jī)材料繼續(xù)蒸鍍工藝，通常這一流程需要耗費幾十 小時，對生產(chǎn)計劃有嚴(yán)重的影響，影響產(chǎn)品質(zhì)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 有鑒于此，本發(fā)明提供了一種蒸鍍坩堝，該蒸鍍坩堝在蒸鍍孔堵塞時，可自動疏通 堵塞的蒸鍍孔。
[0007] 為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：
[0008] 一種蒸鍍坩堝，包括坩堝本體以及加熱裝置，所述坩堝本體用于容納蒸鍍材料，所 述加熱裝置用于對所述蒸鍍材料進(jìn)行加熱，所述坩堝本體開口端設(shè)置有一坩堝蓋子，所述 坩堝蓋子中設(shè)置有蒸鍍孔；其中，所述坩堝本體中設(shè)置有一兩端均為開口的中空結(jié)構(gòu)件，所 述中空結(jié)構(gòu)件的一端穿過所述坩堝本體的底部并與坩堝本體的底部固定連接，另一端位于 所述坩堝蓋子下方并且正對于所述蒸鍍孔；所述中空結(jié)構(gòu)件中設(shè)置有一桿狀件，所述桿狀 件在一動力裝置的驅(qū)動下可在所述中空結(jié)構(gòu)件中自由移動，并且，所述桿狀件在所述動力 裝置的驅(qū)動下，至少部分可移動至所述蒸鍍孔中。
[0009] 其中，所述中空結(jié)構(gòu)件凸起于所述坩堝本體底部的高度小于所述坩堝本體的高 度，并且大于所述坩堝本體所容納的蒸鍍材料的最大高度。
[0010] 其中，所述中空結(jié)構(gòu)件凸起于所述坩堝本體底部的高度為所述坩堝本體的高度的 I以上。 4
[0011] 其中，所述中空結(jié)構(gòu)件的材料與所述坩堝本體的材料相同，所述中空結(jié)構(gòu)件與所 述坩堝本體為一體成型。
[0012] 其中，所述加熱裝置包括電源以及環(huán)繞于所述坩堝本體外周的電熱絲，所述電熱 絲與所述電源電性連接。
[0013] 其中，所述桿狀件由電熱材料制備形成，所述桿狀件與所述電源電性連接。
[0014] 其中，所述動力裝置為伺服電機(jī)。
[0015] 本發(fā)明還提供了一種OLED材料的蒸鍍裝置，該裝置包括工作平臺以及多個蒸鍍 坩堝，所述工作平臺的中央具有工作通孔，所述多個蒸鍍坩堝設(shè)置于所述工作通孔中，其 中，所述蒸鍍坩堝為如上所述的蒸鍍坩堝。
[0016] 相比于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明實施例提供的蒸鍍坩堝中，在坩堝本體中增加了中空結(jié) 構(gòu)件，并在中空結(jié)構(gòu)件中設(shè)置可自由移動桿狀件，在蒸鍍孔發(fā)生堵塞時，可控制桿狀件伸入 到蒸鍍孔中進(jìn)行疏通，大大節(jié)省了疏通時間，提高了工作效率。另外，在疏通的過程中，不需 要打開蒸鍍設(shè)備腔體，可以保障產(chǎn)品的品質(zhì)。進(jìn)一步地，在一些優(yōu)選的實施例中，桿狀件由 電熱材料制備形成，連接電源后可以從坩堝本體中心對蒸鍍材料進(jìn)行加熱，結(jié)合設(shè)置于坩 堝本體外周的電熱絲同時進(jìn)行加熱，有效解決了坩堝內(nèi)材料邊緣溫度高而中心溫度低的缺 點，即解決了坩堝橫向溫差的問題。
【附圖說明】
[0017] 圖1是現(xiàn)有的一種OLED顯示器件的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018] 圖2是現(xiàn)有的一種蒸鍍坩堝的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019] 圖3是本發(fā)明實施例提供的蒸鍍坩堝的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020] 圖4a_4c是如圖3所示的蒸鍍坩堝對蒸鍍孔進(jìn)行疏通的過程圖示。
[0021] 圖5是本發(fā)明實施例提供的OLED材料的蒸鍍裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0022] 下面將結(jié)合附圖以及具體實施例，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)地描 述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實例，而不是全部實施例?；诒景l(fā)明中的 實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例， 都屬于本發(fā)明保護(hù)范圍。
[0023] 在此，還需要說明的是，為了避免因不必要的細(xì)節(jié)而模糊了本發(fā)明，在附圖中僅僅 示出了與根據(jù)本發(fā)明的方案密切相關(guān)的結(jié)構(gòu)和/或處理步驟，而省略了與本發(fā)明關(guān)系不大 的其他細(xì)節(jié)。
[0024] 圖3是本發(fā)明實施例提供的蒸鍍坩堝的結(jié)構(gòu)示意圖（圖中位于坩堝本體10內(nèi)部 的結(jié)構(gòu)采用了透視的效果圖示）。參閱圖3,該蒸鍍坩堝2包括坩堝本體10以及加熱裝置 40,所述坩堝本體10用于容納蒸鍍材料30,所述加熱裝置40用于對所述蒸鍍材料30進(jìn)行 加熱，所述坩堝本體10的開口端設(shè)置有一坩堝蓋子20,所述坩堝蓋子20中設(shè)置有蒸鍍孔 21〇
[0025] 其中，如圖3所示的，所述坩堝本體10中設(shè)置有一兩端均為開口的中空結(jié)構(gòu)件50， 所述中空結(jié)構(gòu)件50的一端穿過所述坩堝本體10的底部并與坩堝本體10的底部固定連接， 另一端位于所述坩堝蓋子20下方并且正對于所述蒸鍍孔21。所述中空結(jié)構(gòu)件50中設(shè)置 有一桿狀件60,所述桿狀件60在一動力裝置70的驅(qū)動下可在所述中空結(jié)構(gòu)件50中自由 移動，并且，所述桿狀件60在所述動力裝置70的驅(qū)動下，至少部分可移動至所述蒸鍍孔21 中。其中，所述動力裝置70可以選擇為伺服電機(jī)。
[0026] 其中，所述加熱裝置40包括電源41以及環(huán)繞于所述坩堝本體10外周的電熱絲 42,所述電熱絲42與所述電源41電性連接。由電熱絲42產(chǎn)生熱量對蒸鍍材料30加熱，使 蒸鍍材料30升華或者熔融汽化成蒸汽，