加熱裝置及包括該裝置的涂覆設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種加熱裝置，所述加熱裝置產(chǎn)生用于對(duì)連續(xù)移動(dòng)的母材（鋼板）進(jìn) 行沉積并涂覆的涂覆蒸汽（氣體），更具體地，涉及一種加熱裝置及包括該裝置的涂覆設(shè) 備，其采用溫度下降幅度小的液相供給方式，將供給的固相涂覆物質(zhì)在停止的狀態(tài)下進(jìn)行 加熱，然后將液相的涂覆物質(zhì)供給到加熱部，因此能夠充分地產(chǎn)生（形成）涂覆蒸汽，通過 產(chǎn)生的涂覆蒸汽能夠提高涂覆質(zhì)量、操作性等。
【背景技術(shù)】
[0002] 以基板為例，通過已知的在真空氛圍下對(duì)連續(xù)（高速）移動(dòng)的鋼板進(jìn)行沉積的方 法，將涂覆物質(zhì)，即金屬蒸汽涂覆在鋼板表面上。
[0003] 上述的真空沉積是在真空氛圍下通過各種方式對(duì)固體（固相）或者液體（液相） 涂覆物質(zhì)進(jìn)行加熱蒸發(fā)，使其變成蒸汽（氣體），然后將蒸汽沉積在鋼板上來進(jìn)行涂覆。
[0004] 然而，以如上所述的真空沉積為媒介的基板（鋼板）的連續(xù)涂覆，可根據(jù)加熱方 法進(jìn)行分類，例如有熱沉積法（thermalevaporation)、電子束沉積法（electronbeam evaporation)等。
[0005] 另一方面，近來正在研發(fā)一種能夠進(jìn)行高速沉積的電磁懸浮沉積法 (electro-magneticlevitationevaporation)〇
[0006] 如上所述的電磁懸浮沉積法如下：涂覆物質(zhì)被電磁線圈包圍，向電磁線圈施加從 高頻電源產(chǎn)生的高頻交流電，通過此時(shí)產(chǎn)生的交流電磁場，將涂覆物質(zhì)加熱至懸浮的狀態(tài)， 這與現(xiàn)有的在坩堝熔爐中產(chǎn)生金屬蒸汽的情況相比，不僅能夠減少熱損失，而且能夠?qū)?板的表面，例如在連續(xù)（高速）移動(dòng)的鋼板表面上涂覆大量的金屬蒸汽。
[0007] 然而，為了在真空中對(duì)連續(xù)移動(dòng)的鋼板進(jìn)行涂覆，要求產(chǎn)生涂覆蒸汽的加熱裝置 (蒸發(fā)源裝置），而且，為了進(jìn)行連續(xù)涂覆，要求供給涂覆物質(zhì)（蒸發(fā)（涂覆）對(duì)象物質(zhì)）。
[0008] 根據(jù)涂覆物質(zhì)的狀態(tài)，將如上所述的涂覆物質(zhì)的供給可分為固相（固體）供給和 液相（液體）供給，并且液相供給方式還可分為機(jī)械方式、利用高度差的方式、利用壓差的 方式等。
[0009] 例如，作為液相供給方式之一的機(jī)械方式有活塞方式（美國公開專利US 2005-0229856)、利用電磁的MHD泵方式（韓國公開專利第2007-0015923號(hào)）或者螺桿方 式（日本公開專利第2010-189739號(hào)）等。
[0010] 另外，在韓國公開專利第2009-0074064號(hào)等中公開了利用高度差的方式，在日本 公開專利55-154537等中公開了利用壓差的方式。
[0011] 然而，在上述的專利中公開的液相供給方式有以下共同的問題，即，因供給的液相 物質(zhì)的溫度或者化學(xué)特性，設(shè)備發(fā)生侵蝕（磨損）。
[0012] 另一方面，作為固相（固體）供給方式的代表性的方式，一直在使用供給固體鋼絲 的方式，可是該方式具有在電磁線圈內(nèi)降低蒸汽物質(zhì)的溫度的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0013] (一）要解決的技術(shù)問題
[0014] 因此，在本技術(shù)領(lǐng)域中，要求一種加熱裝置，所述加熱裝置在初期將生成為涂覆蒸 汽的涂覆物質(zhì)（介質(zhì)）以固相（固體狀態(tài)）來供給，之后使固相相變?yōu)椋ㄈ刍癁椋┮合啵ㄒ?體狀態(tài)）后供給至加熱部，從而能夠防止現(xiàn)有的由于直接供給液相涂覆物質(zhì)而引起的設(shè)備 侵蝕（磨損）等，而且由于將液相涂覆物質(zhì)生成為涂覆蒸汽，因此還能夠解決現(xiàn)有的因供給 固體鋼絲而導(dǎo)致的涂覆物質(zhì)的溫度下降等問題，最終能夠?qū)崿F(xiàn)加熱裝置的能量效率的最大 化。
[0015] 并且，需要一種涂覆設(shè)備，所述設(shè)備利用如上所述的加熱裝置，能夠歸根結(jié)底地對(duì) 母材、特別是對(duì)（高速）移動(dòng)的鋼板進(jìn)行連續(xù)穩(wěn)定的涂覆，從而能夠提高涂覆品質(zhì)。
[0016] (二）技術(shù)方案
[0017] 用于實(shí)現(xiàn)上述要求的本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種加熱裝置，其包括：加熱部，對(duì) 供給的固相涂覆物質(zhì)進(jìn)行加熱，產(chǎn)生涂覆于涂覆對(duì)象物的涂覆蒸汽；以及涂覆物質(zhì)供給單 元，與所述加熱部連接，使供給的固相涂覆物質(zhì)相變?yōu)橐合嗤扛参镔|(zhì)后供給至加熱部。
[0018] 并且，本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供一種涂覆設(shè)備，包括：所述加熱裝置；以及真空 腔室，其包圍所述加熱裝置的全部或一部分，涂覆對(duì)象物在真空狀態(tài)下通過，在所述加熱裝 置產(chǎn)生的涂覆蒸汽涂覆在涂覆對(duì)象物。
[0019] (三）有益效果
[0020] 根據(jù)本發(fā)明，將生成為涂覆蒸汽的涂覆物質(zhì)在初期以固相來供給，之后使固相相 變?yōu)橐合嗪蠊┙o至加熱部，從而能夠防止現(xiàn)有的由于直接供給液相涂覆物質(zhì)而引起的設(shè)備 侵蝕等破損。
[0021] 另外，本發(fā)明由于將液相涂覆物質(zhì)生成為涂覆蒸汽（沉積蒸汽），因此還能夠解決 現(xiàn)有的因供給固體鋼絲而導(dǎo)致的涂覆物質(zhì)的溫度下降等問題。
[0022] 因此，本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)加熱裝置的能量效率的最大化，因此，利用如上所述的加熱 裝置的涂覆設(shè)備能夠?qū)δ覆?、例如高速移?dòng)的鋼板進(jìn)行連續(xù)穩(wěn)定的涂覆的同時(shí)能夠提高涂 覆品質(zhì)。
【附圖說明】
[0023] 圖1是示出本發(fā)明的包括圖4中示出的本發(fā)明的加熱裝置的涂覆設(shè)備的整體結(jié)構(gòu) 的結(jié)構(gòu)圖。
[0024] 圖2是放大表不圖1的一部分的放大圖。
[0025] 圖3是示出本發(fā)明的加熱裝置的一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。
[0026] 圖4是示出本發(fā)明的加熱裝置的另一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。
[0027] 圖5是示出本發(fā)明的加熱裝置的又一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。
[0028] 圖6是示出本發(fā)明的加熱裝置的又一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。
[0029] 圖7是示出本發(fā)明的包括圖4中示出的本發(fā)明的加熱裝置的涂覆設(shè)備的另一個(gè)實(shí) 施例的整體結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。
[0030] 圖8是示出圖7的本發(fā)明的涂覆設(shè)備的變形例的整體結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0031] 下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行說明。然而，本發(fā)明的實(shí)施方式可變 形為其他各種實(shí)施方式，本發(fā)明的范圍并不限定于以下說明的實(shí)施方式。并且，本發(fā)明的實(shí) 施方式僅僅是為了給本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員清楚地說明本發(fā)明而提出的。為了更加清楚地 說明，可放大表示附圖中的組件的形狀以及大小等。
[0032] 首先，圖1和圖2中示出包括圖4中示出的本發(fā)明的加熱裝置1的一個(gè)實(shí)施例的 涂覆設(shè)備200,圖3至圖6中示出本發(fā)明的加熱裝置1的各種實(shí)施例，圖7和圖8中示出包 括圖4中示出的本發(fā)明的加熱裝置1的涂覆設(shè)備200的其他實(shí)施例和其變形例。
[0033] 因此，在以下的本實(shí)施例的說明中，基于圖1至圖6,說明一個(gè)實(shí)施例的涂覆設(shè)備 200和各個(gè)實(shí)施例的加熱裝置1，基于圖7和圖8,說明其他實(shí)施例的涂覆設(shè)備200和其變形 例。
[0034] 另一方面，對(duì)于本發(fā)明的涂覆設(shè)備200,在圖1和圖2中示出的涂覆設(shè)備200采用 使涂覆對(duì)象物，即鋼板210水平移動(dòng)的情況下進(jìn)行涂覆的方式，圖7和圖8的涂覆設(shè)備200 與上述設(shè)備不同，其采用使鋼板210垂直移動(dòng)的情況下進(jìn)行涂覆的方式，當(dāng)然，這些涂覆設(shè) 備也包括在后面詳細(xì)說明的圖3至圖6的本發(fā)明的加熱裝置1的各個(gè)實(shí)施例。
[0035] 接著，在下面說明的本實(shí)施例中，將涂覆對(duì)象物限定為（高速）移動(dòng)的鋼板210,涂 覆物質(zhì)為作為沉積并涂覆于鋼板的氣體的涂覆介質(zhì)，即涂覆蒸汽，在下面說明中，不是以涂 覆介質(zhì)，而是以涂覆物質(zhì)來進(jìn)行說明，尤其，將固體狀態(tài)的涂覆物質(zhì)以"固相涂覆物質(zhì)10"進(jìn) 行說明，將固相涂覆物質(zhì)被加熱而發(fā)生相變（熔化）的液體狀態(tài)的涂覆物質(zhì)以"液相涂覆物 質(zhì)12"進(jìn)行說明，將液相涂覆物質(zhì)12被加熱而產(chǎn)生的沉積蒸汽（氣體）以"涂覆蒸汽14" 進(jìn)行說明。
[0036] 另一方面，如圖1、圖2以及圖7、圖8所示，固相涂覆物質(zhì)10優(yōu)選為便于運(yùn)輸和供 給的具有規(guī)定大小的鋼錠（塊）形態(tài)，當(dāng)然，固相涂覆物質(zhì)的形態(tài)并不限定于此。
[0037] 接著，如圖1和圖2所示，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的涂覆設(shè)備200與鋼板以沉浸在涂 鍍?nèi)芤旱臓顟B(tài)通過時(shí)進(jìn)行涂鍍的方式不同，是一種干式涂