水平連續(xù)式磁控濺射鍍膜機(jī)在線面板恒溫加熱裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種水平連續(xù)式磁控濺射鍍膜機(jī)在線面板恒溫加熱裝置，具體涉及一種在水平式真空濺鍍鍍膜時(shí)，待鍍面板在進(jìn)入真空腔的每一個(gè)腔室時(shí)，都能給待鍍面板加熱，保證面板恒溫，并實(shí)時(shí)檢測(cè)溫度并控制加熱的裝置，屬于機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]抗反射導(dǎo)電膜是一種具有良好透明導(dǎo)電性能的金屬化合物，具有禁帶寬、可見光譜區(qū)光透射率高和電阻率低等特性，廣泛地應(yīng)用于平板顯示器件、太陽能電池、特殊功能窗口涂層及其他光電器件領(lǐng)域，是目前IXD、PDP, OLED、觸摸屏等各類平板顯示器件唯一的透明導(dǎo)電電極材料。作為平板顯示器件的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，其隨著平板顯示器件的不斷更新和升級(jí)而具有更加廣闊的市場(chǎng)空間。
[0003]近年來，行業(yè)內(nèi)普遍證實(shí):隨著基底溫度的升高，表面電阻迅速降低，可見光透過率和紅外反射率都有明顯提高，高的基底溫度改善了膜的結(jié)晶，減少了晶界，使膜的迀移率和Sn4 +載流子密度有所提高，從而降低了表面電阻，同時(shí)載流子密度的提高減少了黑色I(xiàn)nO的生成，提高了可見光透過率。
[0004]因此，抗反射導(dǎo)電膜行業(yè)內(nèi)對(duì)面板鍍膜有了更高的品質(zhì)要求。除在原有影響品質(zhì)因素之外，真空腔室內(nèi)對(duì)面板鍍前加熱是解決問題的關(guān)鍵。為了更好的滿足此工藝，立式磁控鍍膜機(jī)采用玻璃加熱采用紅外線加熱，設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單，滿足工藝的需要，但自身存在一些問題，導(dǎo)致其鍍抗反射導(dǎo)電膜品質(zhì)低，產(chǎn)能少。許多公司采用水平式連續(xù)式磁控鍍膜機(jī)可以更好克服上述問題，但在抗反射導(dǎo)電膜前在面板上均勻加熱就出現(xiàn)了瓶頸。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]目的:為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本發(fā)明提供一種水平連續(xù)式磁控濺射鍍膜機(jī)在線面板恒溫加熱裝置，在真空環(huán)境下給被鍍材料基底進(jìn)行均勻加熱，能夠降低導(dǎo)電膜的方阻和提高可見光透過率。
[0006]技術(shù)方案:為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為:
一種水平連續(xù)式磁控濺射鍍膜機(jī)在線面板恒溫加熱裝置，其特征在于:包括真空腔室、工作平臺(tái)、傳輸導(dǎo)軌、傳輸基板、銅傳導(dǎo)板和銅盤電極；工作平臺(tái)設(shè)置在真空腔室內(nèi)部，工作平臺(tái)上平行設(shè)置有一對(duì)傳輸導(dǎo)軌，傳輸導(dǎo)軌滑動(dòng)連接水平設(shè)置有用于傳輸待鍍面板的傳輸基板；傳輸基板上水平設(shè)置有銅傳導(dǎo)板，銅傳導(dǎo)板裝有內(nèi)嵌式熱電偶測(cè)溫棒和PTC恒溫低壓加熱元件，且PTC恒溫低壓加熱元件的電源引線和熱電偶測(cè)溫棒引線分別與傳輸基板上的銅盤電極對(duì)應(yīng)連接；
真空腔室底部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)式導(dǎo)電輪電極，旋轉(zhuǎn)式導(dǎo)電輪電極包括兩組:其中一組為電源電極，另一組為測(cè)溫電極；
當(dāng)傳輸基板到達(dá)一真空腔室工作時(shí)，傳輸基板的銅盤電極與旋轉(zhuǎn)式導(dǎo)電輪電極對(duì)應(yīng)接觸進(jìn)行電連接，從而進(jìn)行待鍍面板實(shí)時(shí)溫度檢測(cè)和加熱的控制。
[0007]所述的水平連續(xù)式磁控濺射鍍膜機(jī)在線面板恒溫加熱裝置，其特征在于:真空腔室側(cè)壁預(yù)留的KF40 口處設(shè)置有KF40法蘭系列真空電極，KF40法蘭系列真空電極通過導(dǎo)線與旋轉(zhuǎn)式導(dǎo)電輪電極相連。
[0008]所述的水平連續(xù)式磁控濺射鍍膜機(jī)在線面板恒溫加熱裝置，其特征在于:所述銅傳導(dǎo)板與待鍍面板的接合面上開設(shè)有排氣槽和排氣孔。
[0009]作為優(yōu)選方案，所述的水平連續(xù)式磁控濺射鍍膜機(jī)在線面板恒溫加熱裝置，其特征在于:所述銅傳導(dǎo)板與傳輸基板連接處采用多個(gè)不銹鋼方塊支撐，使銅傳導(dǎo)板與傳輸基板之間留有間隙，保證傳輸基板從大氣狀態(tài)進(jìn)入到真空狀態(tài)不會(huì)溢氣影響鍍膜真空。
[0010]作為優(yōu)選方案，所述的水平連續(xù)式磁控濺射鍍膜機(jī)在線面板恒溫加熱裝置，其特征在于:所述在線面板恒溫加熱裝置還包括絕緣底座，旋轉(zhuǎn)式導(dǎo)電輪電極通過絕緣底座固定安裝在真空腔室底部。
[0011]作為優(yōu)選方案，所述的水平連續(xù)式磁控濺射鍍膜機(jī)在線面板恒溫加熱裝置，其特征在于:所述在線面板恒溫加熱裝置還包括鐵弗龍絕緣法蘭墊片，銅盤電極通過鐵弗龍絕緣法蘭墊片進(jìn)行絕緣固定安裝在傳輸基板上。
[0012]有益效果:本發(fā)明提供的水平連續(xù)式磁控濺射鍍膜機(jī)在線面板恒溫加熱裝置，在水平連續(xù)鍍膜機(jī)的每個(gè)工作腔室內(nèi)裝上一組電源電極和一組測(cè)溫電極，當(dāng)傳輸基板每到達(dá)一個(gè)工作腔室，與電源電極接觸開始加熱被鍍基材，同時(shí)檢測(cè)溫度的電極也接觸到對(duì)應(yīng)的測(cè)溫電極，傳輸溫度信號(hào)給外部的溫控系統(tǒng)，溫控系統(tǒng)根據(jù)溫度情況實(shí)時(shí)對(duì)加熱裝置進(jìn)行PID加熱控制，通過熱傳導(dǎo)的方式，腔體內(nèi)加熱傳輸板把熱量傳遞給待鍍面板。本發(fā)明克服了連續(xù)磁控濺射鍍膜在真空腔室內(nèi)對(duì)待鍍面板加熱難的問題，提高了被鍍顯示面板的透明導(dǎo)電膜，抗反射膜，高反射膜的鍍膜品質(zhì)。適合用于提高顯示面板透明導(dǎo)電膜，抗反射膜，高反射膜的鍍膜品質(zhì)。在水平式連續(xù)真空磁控鍍膜業(yè)內(nèi)，采用此加熱裝置，改造的成本最低，機(jī)械結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，方便安裝。具有以下優(yōu)點(diǎn):(1)在水平式連續(xù)真空磁控鍍膜業(yè)內(nèi)，采用此加熱裝置，改造的成本最低，機(jī)械結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，方便安裝。(2)銅的導(dǎo)熱性能好，加熱器傳導(dǎo)熱到被鍍玻璃基材上響應(yīng)速度快，在銅傳導(dǎo)板5與面板接合面上開有排氣孔，銅傳導(dǎo)板5與傳輸基板4連接處用六個(gè)不銹鋼方塊支撐，留有間隙；這樣可以保證傳輸基板在大氣狀態(tài)到真空狀態(tài)不存在溢氣現(xiàn)象，不會(huì)影響鍍膜真空。(3)傳輸基板4在鍍膜傳輸中，傳輸基板4的四個(gè)電極與腔體底座旋轉(zhuǎn)導(dǎo)電輪電極可靠接觸，使被鍍基材加熱和實(shí)時(shí)溫度檢測(cè)的成為現(xiàn)實(shí)，并在腔體不會(huì)產(chǎn)生磨擦粉塵。(4)本加熱裝置采用高電流低電壓的方式來進(jìn)行加熱，加熱溫度區(qū)間在30-230度，可根據(jù)被鍍基材需要進(jìn)行溫度設(shè)定。采用高電流低電壓的方式，電壓在安全電壓以下，運(yùn)行過程中安全可靠。
【附圖說明】
[0013]圖1和圖2是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3是圖1中B-B向剖面圖；
圖中:真空腔室1、工作平臺(tái)2、傳輸導(dǎo)軌3、傳輸基板4、銅傳導(dǎo)板5、銅盤電極6、旋轉(zhuǎn)式導(dǎo)電輪電極7、絕緣底座8、KF40法蘭系列真空電極9、導(dǎo)線10、鐵弗龍絕緣法蘭墊片11。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作更進(jìn)一步的說明。
[0015]如圖1所示，為一種水平連續(xù)式磁控濺射鍍膜機(jī)在線面板恒溫加熱裝置，包括真空腔室1、工作平臺(tái)2、傳輸導(dǎo)軌3、傳輸基板4、銅傳導(dǎo)板5和銅盤電極6，工作平臺(tái)2設(shè)置在真空腔室I內(nèi)部，所述工作平臺(tái)上平行設(shè)置有一對(duì)傳輸導(dǎo)軌3，所述傳輸導(dǎo)軌3滑動(dòng)連接水平設(shè)置有用于傳輸待鍍面板的傳輸基板4 ;傳輸基板4上水平設(shè)置有銅傳導(dǎo)板5，銅傳導(dǎo)板5裝有內(nèi)嵌式熱電偶測(cè)溫棒和PTC恒溫低壓加熱元件，且PTC恒溫低壓加熱元件的電源引線和熱電偶測(cè)