一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種刷子，尤其是涉及一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子。
【背景技術(shù)】
[0002] 硅片進行有蠟拋光后，需用用刷子對拋光墊進行刷洗，以防止拋光液在拋光墊上 長時間滯留而形成結(jié)晶，而結(jié)晶會對硅片產(chǎn)生損傷，降低拋光質(zhì)量。另外，對拋光墊進行 刷洗有助于其表面結(jié)構(gòu)的回復(fù)，延長了拋光墊的使用壽命，也保證了硅片拋光效果的一致 性。現(xiàn)有的刷子是設(shè)備自帶的一小型刷子，每次拋光完成后會自動對拋光墊進行刷洗，但其 不能徹底清除拋光墊表面空隙中殘余的拋光液和細(xì)微的結(jié)晶，不利于拋光墊表面結(jié)構(gòu)的回 復(fù)。另外，由于自帶刷子尺寸較小，刷洗過程中使得拋光墊受力不均，這會對拋光墊的表面 狀態(tài)產(chǎn)生一定影響。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、提高拋光質(zhì)量的有蠟拋光的拋光墊專用刷 子。
[0004] 本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子，包括圓盤狀的刷體，所述 刷體的頂面帶有若干凸起或凹陷，所述刷體的底面分布有刷毛，所述刷毛呈環(huán)形分布。
[0005] 優(yōu)選地，所述刷體的材質(zhì)為聚氯乙烯，所述刷毛的材質(zhì)為尼龍。
[0006] 優(yōu)選地，所述刷體的直徑為48cm，厚度為3cm，所述刷毛的長度為I. 5cm。
[0007] 本發(fā)明具有的優(yōu)點和積極效果是：
[0008] 由于采用上述技術(shù)方案，保持了拋光墊的潔凈，保持了拋光速率和拋光質(zhì)量，也提 高了拋光墊的使用壽命。由此可見，本方案的使用提高了產(chǎn)品的合格率和生產(chǎn)效率，同時減 低了能耗，節(jié)約了成本，提高了效益。
【附圖說明】
[0009] 圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010] 圖2是本發(fā)明的仰視圖；
[0011] 圖3是本發(fā)明的俯視圖。
【具體實施方式】
[0012] 下面結(jié)合附圖及【具體實施方式】對本發(fā)明作進一步說明。
[0013] 如圖1至圖3所示，本發(fā)明包括圓盤狀的刷體1，所述刷體1的頂面帶有若干凹陷， 所述刷體1的底面分布有刷毛2,所述刷毛2呈環(huán)形分布。
[0014] 所述刷體1的材質(zhì)為聚氯乙烯，所述刷毛2的材質(zhì)為尼龍。
[0015] 所述刷體1的直徑為48cm，厚度為3cm，所述刷毛2的長度為I. 5cm。
[0016] 使用時，將本發(fā)明放置在待清潔的拋光墊上，將機械臂與本發(fā)明的頂面相連接(可 以通過吸附的方式連接)，帶動本發(fā)明以一定的運動軌跡運動，對旋轉(zhuǎn)的拋光墊進行清洗。 本發(fā)明對拋光墊上的拋光液和結(jié)晶清潔得更為徹底，而且有助于拋光墊表面絨孔結(jié)構(gòu)的回 復(fù)，有助于延長拋光墊的使用壽命和拋光質(zhì)量的提高。
[0017] 實驗一：選擇200片相同的6寸娃片進行試驗，晶向〈111>，拉晶方式：FZ，摻雜兀 素：P，厚度：630632iim。下表為使用本發(fā)明前后檢測項的數(shù)值。
【主權(quán)項】
1. 一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子，其特征在于：包括圓盤狀的刷體（1)，所述刷體 (1)的頂面帶有若干凸起或凹陷，所述刷體（1)的底面分布有刷毛（2)，所述刷毛（2)呈環(huán)形 分布。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的有蠟拋光的拋光墊專用刷子，其特征在于：所述刷體（1)的材 質(zhì)為聚氯乙烯，所述刷毛（2)的材質(zhì)為尼龍。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的有蠟拋光的拋光墊專用刷子，其特征在于：所述刷體（1) 的直徑為48cm，厚度為3cm，所述刷毛（2)的長度為I. 5cm。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子，包括圓盤狀的刷體，所述刷體的頂面帶有若干凸起或凹陷，所述刷體的底面分布有刷毛，所述刷毛呈環(huán)形分布，所述刷體的材質(zhì)為聚氯乙烯，所述刷毛的材質(zhì)為尼龍。本發(fā)明的有益效果是：由于采用上述技術(shù)方案，保持了拋光墊的潔凈，保持了拋光速率和拋光質(zhì)量，也提高了拋光墊的使用壽命。由此可見，本方案的使用提高了產(chǎn)品的合格率和生產(chǎn)效率，同時減低了能耗，節(jié)約了成本，提高了效益。
【IPC分類】B24B53-017
【公開號】CN104690648
【申請?zhí)枴緾N201310661231
【發(fā)明人】張宇, 王力, 石明, 曲濤, 李翔
【申請人】天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司
【公開日】2015年6月10日
【申請日】2013年12月5日