專利名稱：一種用于磨削和刨削基片的組合機床的制作方法
背景技術(shù)：
本發(fā)明涉及一種用來磨削和刨削基片的機床，所述機床包括至少一個可轉(zhuǎn)動的磨削盤，所述基片置于磨削盤上被磨削；一個可移動的磨削頭，所述磨削頭在一個升高的位置和一個降低的位置之間移動，并且其上布置有一個用來支撐基片的支撐元件；一個可轉(zhuǎn)動的磨削臂，所述磨削臂可移動磨削頭而從載運臺上揀取將被磨削的基片，并且將磨削后的基片送到卸物臺上；至少一個用來驅(qū)動磨削盤及驅(qū)動轉(zhuǎn)動的磨削頭的支撐元件的機構(gòu)，所述機構(gòu)用來改變磨削臂及載運臺和卸物臺的運動；一個在磨削過程中用來控制上述機構(gòu)的控制器。
現(xiàn)有技術(shù)描述文獻EP-A774，323描述了一種上面提到的磨床，該磨床利用一種旋轉(zhuǎn)機構(gòu)將基片移動到具有預定數(shù)量的工作臺的磨削臺上。所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)位于工作區(qū)且在磨削臺之上。這樣，在磨削過程中就產(chǎn)生了污染基片的危險。在一給定的工作臺上進行保養(yǎng)或更換器具時，整個生產(chǎn)過程不得不停止運行。這種旋轉(zhuǎn)機構(gòu)是不可伸縮的。
文獻JP63，207，559描述了一種用來磨削基片的組合機床，所述基片放置在盒子中并通過一個載運單元從中取出，所述載運單元通過一個傳送單元將所述基片輸送到兩個磨削單元上。在磨削之后，將基片固定到一個清洗單元的臺面上，在基片清潔之后，它就被儲存到卸物單元的盒子中。
文獻US-A-4，6380，893描述了一種用來磨削半導體基片的機床，這種機床具有一種通用的非組合式結(jié)構(gòu)且配置有轉(zhuǎn)動磨削臂，所述轉(zhuǎn)動磨削臂在載運臺、清潔臺、第一磨削臺、第二磨削臺和卸載臺之間進行角運動。
發(fā)明目的本發(fā)明的第一個目的為提供一種組合式磨床，所述的磨床可較容易地安全進入工作區(qū)。
本發(fā)明的第二個目的為提供一種結(jié)構(gòu)可變化的多工作臺磨床，所述磨床盡可能利用最大數(shù)量的標準元件。
根據(jù)本發(fā)明的磨床的特征在于，該磨床包括至少一個呈平行六面體箱體形式的基本單元，所述平行六面體箱體具有一個第一載運和卸載表面，一個用來進入位于中間隔室中的工作區(qū)相對平行的第二表面，第三和第四表面，所述第三和第四表面包括與所述的第一和第二表面相垂直延伸的固體橫壁；分別由一根載運臂和卸載臂支撐的載運臺和卸物臺，載運臂和卸載臂的運行是相互獨立的，載運臺和卸物臺均接近于第一表面所在的一側(cè)；一個位于箱體的中部隔室下面的底部隔室中的機構(gòu)，而基本單元的控制器位于上面的隔室中，所述機構(gòu)接近于第二表面所在的一側(cè)。
根據(jù)本發(fā)明的一個特征，所述磨削臂和卸載臂可轉(zhuǎn)動地裝配在第一垂直軸的周圍?；締卧ㄒ粋€可轉(zhuǎn)動的調(diào)節(jié)頭，所述調(diào)節(jié)頭由一根調(diào)節(jié)臂支撐，調(diào)節(jié)臂可轉(zhuǎn)動地裝配有載運臂上，載運臂圍繞與所述的第一軸平行的第二垂直軸。
根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例，在兩根垂直軸之間及在磨削盤和箱體的第一表面之間布置有一個清潔臺，從而在進行基片的處理時就確定了磨削頭的一個清潔位置、載運臺和卸物臺及磨削頭的同心位置。所述機構(gòu)包括一個位于底部隔室中的齒輪馬達，所述齒輪馬達耦合到一根在第一軸方向上延伸的轉(zhuǎn)動軸上，所述轉(zhuǎn)動軸驅(qū)動一個滑輪和一個位于磨削臂中的皮帶驅(qū)動傳動裝置而使磨削頭進行轉(zhuǎn)動。所述轉(zhuǎn)動軸在一根管狀柱中伸展，管狀柱牢固地結(jié)合到磨削臂上并結(jié)合到一根操作桿上，所述操作桿由一個第一動力油缸控制而使磨削臂在清潔臺和磨削盤之間進行轉(zhuǎn)動。卸載臂牢固地結(jié)合到一個軸套上，所述軸套同軸地安裝在具有管狀殼的柱子周圍，所述管狀殼插在兩個軸套和管狀柱之間，所述的兩個軸承布置在軸套和管狀殼之間，而使卸載臂相對于磨削臂進行轉(zhuǎn)動。由第二動力油缸控制的一根操作桿牢固地結(jié)合到軸套上而使卸載臂進行角運動。
本發(fā)明利用了一種相似的機構(gòu)來驅(qū)動調(diào)節(jié)臂和載運臂。
根據(jù)使用者的要求而定型的整個機床可具有不同的結(jié)構(gòu)
利用手工加載的單個磨削組件；配備有一個載運組件和一個卸載組件的單個磨削組件，所述的單個磨削組件可在一個完整的平板盒中以自動的模式進行工作；兩個或多個并置的磨削組件，在每個組件之間布置有平板盒移動裝置，所述磨削組件在構(gòu)成設(shè)備組件的不同的工作臺上執(zhí)行一系列的磨削工藝。所述設(shè)備組件可裝配將基片從盒子中取出及將基片卸載入盒子中的載運組件和卸載組件，這樣就構(gòu)成了一個自動系統(tǒng)；兩個或多個并置的具有載運系統(tǒng)的磨削組件，通過自動裝置將磨削組件連接到一個集于中心的載運/卸載/傳送組件上。這種結(jié)構(gòu)可使部件在不同的磨削組件之間采取任何類型的路線。每個磨削組件根據(jù)給定的基本工藝過程而定型，機床控制系統(tǒng)根據(jù)由使用者確定的連續(xù)的磨削(和測量，如果需要的話)步驟來組織由平板盒體所采取的路線。對于幾種不同的磨削組件可采用相同的基本磨削步驟來優(yōu)化機床的總體生產(chǎn)率。
所構(gòu)造的磨削組件在磨削區(qū)內(nèi)無任何的機械部件，從而減小了污染的危險。
附圖簡要描述通過下面對本發(fā)明實施例的描述，本發(fā)明的其他優(yōu)點和特點將會變得更加明確，所給出的本發(fā)明的實施例為非限制性的例子，用下面的附圖來顯示。


圖1所示為根據(jù)本發(fā)明的磨床的基本單元的平面示意圖；圖2所示為根據(jù)圖1中的箭頭所做的視圖；圖3所示為圖1中的具有單個的載運及卸載組件的基本單元的示意圖；圖4所示為圖3中所示的結(jié)構(gòu)的另一個選擇實施例；圖5所示為沿著圖1中的5-5線所做的放大剖視圖；圖6和圖7顯示了具有兩個基本單元和一個傳送組件的設(shè)備組件，其中的傳送組件分別進行滑動和轉(zhuǎn)動；圖8所示為一個具有由自動裝置控制的四個線性排列單元的多工作臺設(shè)備組件；圖9所示為圖8中所示的設(shè)備組件的另一個可選擇的實施例；圖10所示為沿圖8中的箭頭10所做的視圖。
優(yōu)選實施例描述在圖1和圖2中，用來磨削和刨削基片的機床的基本單元10包括一個平行六面體箱體12，所述平行六面體箱體12具有第一載運和卸載表面14；一個與所述第一表面相對且平行的第二表面16，所述第二表面用來進入工作區(qū)和控制區(qū)；由與所述第一和第二表面14、16垂直且不可達到的固體壁形成的第三和第四表面18、20。
箱體12的內(nèi)部分成三個疊加的隔室22、24、26，箱體12包括有一個底部隔室22、一個中間工作隔室24和一個頂部隔室26，底部隔室22中裝有驅(qū)動機構(gòu)28、30，頂部隔室26中包含有一個用來控制和監(jiān)視基本單元10的運行循環(huán)的控制器34。
從第二表面16通過一個門36是很容易進入工作隔室24的。工作室24中包括一個可轉(zhuǎn)動的磨削盤38，所述磨削盤38的上表面上布置有一層薄的織物用來接收磨蝕液體。織物是聚氨脂基的，但是任何的其他材料均可用來吸收磨蝕液體。上面提到的磨削盤38為圓形的，結(jié)構(gòu)中布置了一個具有支撐元件42的磨削頭40，所述支撐元件42用來將一個基片放置到磨削盤38上。磨削頭40由磨削臂44支撐，磨削臂44以預定的角度偏移量轉(zhuǎn)動裝配在第一垂直軸46上?；卧?2通過一個皮帶驅(qū)動傳動裝置43的作用而進行轉(zhuǎn)動，所述皮帶驅(qū)動傳動裝置43整體地布置在臂44中，在下面的內(nèi)容中，參考圖5將對其進行進一步的詳細描述。
可驅(qū)動磨削頭40在一個升高的位置和一個降低的位置之間的箭頭F1所示的方向上進行垂直的移動。在升高的位置處，所述基片不與所述的磨削盤38相接觸(圖2所示的情況)。
磨削頭40向降低的位置的運動是通過氣壓或液壓控制(圖中未顯示)的方式來達到的，所述的氣壓或液壓裝置是由底部隔室22中的能量儲存裝置32來操縱的。在所述的降低的位置，基片抵壓在磨削盤38上，根據(jù)控制器34中記錄的參數(shù)進行磨削?；ㄟ^載運臺48輸送到磨削頭40上，載運臺48支撐在一個可移動的載運臂50上，載運臂50可轉(zhuǎn)動地安裝在第二垂直軸52上，第二垂直軸52與第一軸46相平行且通過一個清潔臺54而與之相分離。載運臂50可占用載運臺48的載運位置A和清潔臺54的傳送位置B。
磨削臂44也可轉(zhuǎn)動到清潔臺54的位置B，揀取由載運臂50輸送的基片并在磨削過程結(jié)束時將被磨削的基片放回。被磨削的基片就移動到由卸載臂58支撐的卸物臺56上，卸載臂58鉸接在第一垂直軸46上，第一垂直軸46位于卸物臺56的卸載位置C和清潔臺54的傳送位置B之間。
在一次或多次的磨削循環(huán)之后，通過一個轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)頭60對磨削盤38上的薄織物進行更新，轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)頭60由一根可移動的調(diào)節(jié)臂62支承，所述調(diào)節(jié)臂62可轉(zhuǎn)動地裝配在位于靜止位置D和工作位置E之間的第二垂直軸52上。靜止位置D在圖1中顯示出，調(diào)節(jié)頭60位于磨削表面的輔助外側(cè)。通過調(diào)節(jié)臂62的逆時針轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動到工作位置E，然后將調(diào)節(jié)頭降低到磨削盤38上。通過調(diào)節(jié)頭60的轉(zhuǎn)動就可將磨削微粒除去而將其移到一個空箱(圖中未顯示)中去。
在磨削盤38上通過附加在磨削頭40或箱體邊緣的導管噴射磨蝕液體，導管連接到底部隔室22中的一個接收器上。由控制器34控制的電磁閥和泵控制著噴射到磨削盤38上的磨蝕液體的流動的開始或停止。
所述基片是由如圓柱形半導體板、特別是由硅基的圓柱形半導體板形成的。很明顯，本發(fā)明可應(yīng)用到其他任何的機械一化工磨削領(lǐng)域。
磨削基本單元10的運行如下操縱者打開第一表面14所在的一側(cè)上的門而將一個樣品放置到載運臺48上。關(guān)閉所述的門將載運臺48上的樣品鎖定，然后轉(zhuǎn)動磨削臂44而將磨削頭40轉(zhuǎn)動到清潔臺54上的位置B。載運臂50圍繞軸52轉(zhuǎn)動到清潔臺54而將載運臺48定位在磨削頭40之下。在樣品從載運臺48上解鎖之后，磨削頭40被自動驅(qū)動到降低位置以抓取樣品。磨削頭40重新回到升高的位置，磨削臂44隨后回復到磨削盤38上的工作位置。在噴射磨蝕液體之后就開始對樣品進行磨削。載運臂50將載運臺48重新定位在位置A以載運下一個樣品。
在第一個樣品的磨削循環(huán)的后期，當磨削盤38上的沖洗完成時，磨削頭40移動到升高的位置，磨削臂44隨后移動到清潔臺54上的位置B。在磨削頭被驅(qū)動而移動到降低的位置后，由磨削頭40和被磨削的樣品形成的組件就被噴水進行清洗。然后，磨削頭40回復到升高的位置，卸載臂58將卸物臺56移動到磨削頭40下面的位置B。樣品就被放置并鎖定在卸物臺56上，卸載臂58將卸物臺56重新定位在位置C。
磨削頭40再次向下移動至降低的位置而在清潔臺54處進行清潔，然后回復到升高的位置，在載運臂50轉(zhuǎn)動到位置B之后，磨削頭40準備抓取放置在載運臺48上的第二個樣品。該過程的靜止位置與前面的描述相同。在磨削過程中或在磨削頭40處于清潔臺54時，通過調(diào)節(jié)頭60的轉(zhuǎn)動可對磨削盤38上的薄織物進行清潔。調(diào)節(jié)臂62只必須移動到位置E才除去磨削盤38上的磨削微粒。
輔助組件可添加到參考圖1和圖2所描述的手工加載的基本單元10上，使基片或樣品的工作循環(huán)以自動的模式進行?？膳c基本單元10相關(guān)聯(lián)的不同組件如下單獨的自動控制的載運組件；單獨的自動控制的卸載組件；一個內(nèi)工作臺傳送組件；一個具有集中基片流控制器的整體形成的載運/卸載系統(tǒng)。
在圖3中，單獨的載運組件64與面向載運臺48的基本單元10的第一表面14并列布置。
組件64包括一個載運盒體66，所述載運盒體66包括多個布置在單個凹槽中的將被磨削的樣品。處理系統(tǒng)68裝配在固定支撐架69上，將樣品從盒體66中取出，并將它們單獨地輸送到載運臺48上。在磨削臺發(fā)出的需要樣品的信號后，控制器34啟動載運組件64開始動作。樣品垂直布置而與基本單元10的表面14平行。
載運組件64的運行過程包括以下連續(xù)的步驟處理系統(tǒng)68向著將被磨削的樣品移動，所述將被磨削的樣品位于載運盒體66中的預定的凹槽中；取出樣品并將其定位，從而使將被磨削的表面朝下；通過與表面14相垂直的運動而將樣品傳送到載運臺48；將樣品布置在載運臺48上；撤回處理系統(tǒng)68并安置下一個將被磨削的樣品。
一個單獨的卸物組件70布置在載運組件64的一側(cè)，所述卸物組件70面向卸物臺56。卸物組件70與載運組件64相同，它也包括一個用來接收磨削后的樣品的接收盒體72和一個可使盒體浸沒的盒體支撐件74。處理系統(tǒng)76與載運組件64中的處理系統(tǒng)68相同，也是用來從卸物臺56上將樣品取下、且將它們垂直地放置到接收盒體72中的預定的凹槽中，所述凹槽與表面14平行。
卸物組件70的運行過程包括下面連續(xù)的步驟處理系統(tǒng)76向著卸物臺56移動；將放置在卸物臺56上的已磨削的樣品取下；將樣品傳送到接收盒體72中，并將樣品放置到所述盒體中的凹槽中；處理系統(tǒng)76向輔助位置運動；在圖4所示的另一個實施例中，樣品不是垂直布置而是水平地布置在載運組件64和卸物組件70的相應(yīng)的盒體66和72中。圖4中描述的實施例的運行過程與圖3中所示的結(jié)構(gòu)的運行過程相同。
在圖5中，驅(qū)動機構(gòu)28包括一個布置在底部隔室22中的齒輪馬達，所述齒輪馬達機械地耦合到一根沿垂直軸46延伸的轉(zhuǎn)動軸78上，所述垂直軸46布置在一根牢固地結(jié)合到磨削臂44上的管狀柱80中。軸承82、84裝配在軸78和管狀柱80之間，轉(zhuǎn)動軸78的帶有溝槽的頂端85安裝到一個滑輪86上，所述滑輪86與磨削頭40的傳動皮帶43相關(guān)聯(lián)。皮帶43在磨削臂44的內(nèi)部與垂直軸46相垂直延伸。在由于操縱桿88受第一動力油缸(圖中未顯示)的控制而產(chǎn)生運動的情況下而使磨削臂44轉(zhuǎn)動時，管狀柱80就圍繞軸78進行轉(zhuǎn)動。卸載臂58牢固地結(jié)合到軸套90上，軸套90同軸地裝配在管狀柱80周圍，管狀殼92插在二者之間。軸套90和管狀殼92之間的軸承94、96可允許卸載臂58相對于磨削臂44進行轉(zhuǎn)動。卸載臂58的角運動是通過牢固地附加到軸套90上的操作桿98來執(zhí)行的，卸載臂58可通過第二動力油缸(圖中未顯示)的作用而作角運動。磨削臂44的高度調(diào)整是通過具有系桿102的調(diào)節(jié)裝置100來進行的。
具有調(diào)節(jié)臂62和載運臂50的垂直軸52的驅(qū)動機構(gòu)30與圖5中所描述的類型相同。
參考圖6，內(nèi)工作臺傳送組件104與兩個基本單元10和10A相結(jié)合運行，所述的兩個基本單元10和10A以其各自的表面18和20而相鄰接。載運組件64與基本單元10相關(guān)聯(lián)，卸物組件70與相鄰的基本單元10A相關(guān)聯(lián)。傳送組件104插入到兩個組件64和70之間，使兩個步驟在一個步驟中進行且磨削作用相同。傳送組件104包括一個滑動件105，通過所述滑動件105的移動而從基本單元10的卸物臺56上取下樣品，并將其放置到基本單元10A的載運臺48上。
圖7顯示了傳送組件106的另一種樣式，在該例子中利用了一個在兩個極限位置之間轉(zhuǎn)動臂108，所述的兩個極限位置垂直地位于基本單元10和10A的相應(yīng)的卸物臺56和載運臺48之上。
圖8顯示了一種多工作臺的組件，所述的設(shè)備組件由四個基本單元10、10A、10B、10C組成，四個基本單元成線性布置且與一個自動裝置110結(jié)合運行，自動裝置110沿著不同的單元10、10A、10B、10C的線性布置的表面14進行移動。自動裝置110在所述的基本單元和放置在基本單元10前面的集中載運/卸載組件112之間進行銜接。載運/卸載組件112可與兩個載運盒和兩個卸載盒一起工作。這樣，通過接觸保護(access protections)就可卸載及載運已磨削過的一套盒子的基片，同時磨削下一套盒子中的基片。這樣就避免必須等待直至機床完全空時才進行下一階段生產(chǎn)的情況，從而提高了生產(chǎn)率。
樣品在噴水的濕的通道14中輸送以保護樣品。由于每個基本單元10、10A、10B、10C的載運元件和卸載元件是整體形成的，所以每個基本單元均是獨立的。各個基本單元相對于傳送單元110的獨立性，意味著各個基本單元用來磨削的次數(shù)的最大化，從而提高了生產(chǎn)率。
由監(jiān)視系統(tǒng)(圖中未顯示)設(shè)置的控制裝置可實現(xiàn)機床靈活的結(jié)構(gòu)。在每個工作臺上布置的全部的自由度均賦予了設(shè)定的磨削運行，這樣也對在每個樣品上的運行過程進行了限定。在生產(chǎn)過程中，在一個磨削工作臺不能應(yīng)用的情況下，該結(jié)構(gòu)可自動地重新構(gòu)造。在這種情況下，機床的管理部件就組織樣品流進入新的位置而接著進行下一步的生產(chǎn)。
在為進行維護的目的而使順序混亂的情況下，通過每個工作臺的機械構(gòu)造均可容易地進入基本單元的內(nèi)部而不會對操作人造成危險。特別地，可改變磨削盤38或磨削頭40或調(diào)節(jié)頭60，而生產(chǎn)仍在機床的靜止位置上連續(xù)。這樣就提高了安裝的總體生產(chǎn)率。
圖9顯示了多工作臺設(shè)備組件的一個可選擇的實施例，在該實施例中兩個基本單元10B、10C與另外兩個基本單元10、10A面對布置，而傳送自動裝置110布置在中間。
可清楚認識到根據(jù)樣品數(shù)目的不同及要求的磨削過程的不同可采用不同數(shù)目的基本單元。
圖10顯示了圖8中的多工作臺設(shè)備組件的后視圖。在進行磨削的中間隔室中，基本單元10、10A、10B、10C不存在任何機構(gòu)，這樣就防止了污染的任何危險。所有這些機械和整個氣動系統(tǒng)均整體地布置在基本單元的底部隔室22中。所有的處理表面16可使更換器具和更換磨削盤38的易損耗的薄織物變得容易。
權(quán)利要求
1.一種用于磨削和刨削基片的機床，所述機床包括至少一個轉(zhuǎn)動磨削盤(38)，基片置于所述磨削盤上而被磨削；一個可移動的磨削頭(40)，所述磨削頭(40)在一個升高的位置和一個降低的位置之間移動，并且其上布置有一個用來支撐基片的支撐部件(42)；一個可轉(zhuǎn)動的磨削臂(44)，所述磨削臂(44)可移動磨削頭(40)，以從載運臺(48)上揀取將要被磨削的基片，并且在基片被磨削后將其送入卸物臺(56)上；至少一個用來驅(qū)動磨削盤(38)及磨削頭(40)的支撐元件(42)的機構(gòu)(28，30)，所述機構(gòu)用于磨削臂(44)及載運臺(48)和卸物臺(56)的交替運動；一個在磨削過程中用來控制機構(gòu)(28，30)的控制器(34)；其特征在于該機床包括至少一個呈平行六面體箱體(12)形式的基本單元(10，10A，10B，10C)，平行六面體箱體(12)具有一個第一載運和卸載表面(14)，一個用來進入位于中間隔室(24)中的工作區(qū)的相對平行的第二表面(16)，以及第三和第四表面(18，20)，所述第三和第四表面(18，20)包括與所述的第一和第二表面(14，16)相垂直延伸的固體橫壁；載運臺(48)和卸物臺(56)分別由一根載運臂(50)和卸載臂(58)支撐，載運臂(50)和卸載臂(58)的運行是相互獨立的，所述載運臺(48)和卸物臺(56)均接近于第一表面(14)所在的一側(cè)；所述機構(gòu)(28，30)位于箱體(12)的中部隔室(24)下面的底部隔室(22)中，而基本單元(10)的控制器(34)位于上面的隔室(26)中，所述機構(gòu)(28，30)接近于第二表面(16)所在的一側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨削和刨削機床，其特征在于磨削臂(44)和卸載臂(58)可轉(zhuǎn)動地裝配在第一垂直軸(46)周圍。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磨削和刨削機床，其特征在于基本單元(10，10A，10B，10C)包括一個可轉(zhuǎn)動的調(diào)節(jié)頭(60)，調(diào)節(jié)頭(60)由調(diào)節(jié)臂(62)支撐，調(diào)節(jié)臂(62)和載運臂(50)可轉(zhuǎn)動地裝配在與所述的第一軸(46)平行的第二垂直軸(52)周圍。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磨削和刨削機床，其特征在于在兩根垂直軸(46，52)之間及在磨削盤(38)和箱體(12)的第一表面(14)之間布置有一個清潔臺(54)，從而在進行基片的處理時就確定了磨削頭(40)的一個清潔位置、載運臺(48)和卸物臺(56)及磨削頭(40)的同心位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磨削和刨削機床，其特征在于所述機構(gòu)(28)包括一個位于底部隔室(22)中的齒輪馬達，齒輪馬達耦合到一根在第一軸(46)方向上延伸的轉(zhuǎn)動軸(78)上，所述轉(zhuǎn)動軸(78)驅(qū)動一個滑輪(86)和一個位于磨削臂(44)中的皮帶驅(qū)動傳動裝置(43)，從而使磨削頭(40)進行轉(zhuǎn)動。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的磨削刨削機床，其特征在于所述轉(zhuǎn)動軸(78)在一根管狀柱(80)中伸展，管狀柱(80)牢固地結(jié)合到磨削臂(44)上并結(jié)合到一根操作桿(88)上，操作桿(88)由一個第一動力油缸控制，使磨削臂(44)在清潔臺(54)和磨削盤(38)之間進行轉(zhuǎn)動。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的磨削和刨削機床，其特征在于卸載臂(58)牢固地結(jié)合到一個軸套(90)上，軸套(90)同軸地安裝在具有管狀殼(92)的管狀柱(80)上，管狀殼(92)插在軸套(90)和管狀柱(80)之間，兩個軸承(94，96)布置在軸套(90)和管狀殼(92)之間，使卸載臂(58)相對于磨削臂(44)進行轉(zhuǎn)動。根據(jù)權(quán)利要求7所述的磨削和刨削機床，其特征在于由第二動力油缸控制的一根操作桿(98)牢固地結(jié)合到軸套(90)上，使卸載臂(58)進行角運動。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中之一所述的磨削和刨削機床，其特征在于單獨的載運組件(64)與面向載運臺(48)的基本單元(10)的第一表面(14)并列布置，所述組件(64)具有一個載運盒體(66)，載運盒體(66)包含有多個水平或垂直布置的樣品。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中之一所述的磨削和刨削機床，其特征在于單獨的卸物組件(70)與面向卸物臺(56)的基本單元(10，10A)的第一表面(14)并列布置，所述卸物組件(70)具有一個用來接收磨削后的基片的接收盒體(72)，所述磨削后的基片可在盒體(72)中水平或垂直地放置。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中之一所述的磨削和刨削機床，其特征在于內(nèi)工作臺傳送組件(104，106)與兩個基本單元(10，10A)相結(jié)合操作，兩個基本單元(10，10A)以其各自的橫向表面(18，20)相鄰，在基片從基本單元(10)之一的卸物臺(56)傳送到另一個基本單元(10A)的載運臺(48)上之后，內(nèi)工作臺傳送組件和兩個基本單元一起在兩個步驟中進行磨削操作。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的磨削和刨削機床，其特征在于傳送組件(104)包括一個在兩個基本單元(10，10A)之間進行移動傳送的滑動件(105)。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的磨削和刨削機床，其特征在于傳送組件(106)包括一個可在基本單元(10)的卸物臺(56)和另一個基本單元(10A)的載運臺(48)之間轉(zhuǎn)動的臂(108)。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨削和刨削機床，其特征在于幾個基本單元(10，10A，10B，10C)均與一個載運/卸載組件(112)相關(guān)聯(lián)，且各個基本單元均與一個程序化的自動裝置(110)相協(xié)作運行，程序化的自動裝置(110)沿著不同基本單元的成直線的表面(14)移動，且處于一個噴水的濕的通道(114)中。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的磨削和刨削機床，其特征在于基本單元(10，10A，10B，10C)成線性布置。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的磨削和刨削機床，其特征在于基本單元(10，10A)與另外兩個基本單元(10B，10C)串聯(lián)布置，從而在其間確定了一個自動裝置(110)可穿過的中間通道。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種磨削機床,其包括至少一個呈平行六面體箱體(12)形式的基本單元(10),帶有第一載運和卸載表面(14);第二對置的平行表面(16)用于進入位于中間部分(24)的工作區(qū);以及第三和第四表面(18、20)。載運臺(48)和卸物臺(56)分別由載運臂(50)和卸載臂(58)支承,它們相互獨立操作,且接近第一表面(14)側(cè)。機構(gòu)(28、30)位于箱體(12)的中間部分(24)的下部分,而自動機安排在上部分,機構(gòu)和自動機安置在第二表面(16)側(cè)。
文檔編號B24B41/02GK1296434SQ9980463
公開日2001年5月23日 申請日期1999年3月30日 優(yōu)先權(quán)日1998年3月31日
發(fā)明者馬克·佩爾蒂埃, 盧西恩·格里塞爾 申請人:斯蒂格電子系統(tǒng)有限責任公司