專利名稱：立式噴霧化學(xué)沉積裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于立式噴霧化學(xué)沉積裝置的設(shè)計。
1983年劉雅言等人在應(yīng)用化學(xué)第一卷第一期中公開了一種用于制造透明導(dǎo)電薄膜的臥式噴涂實驗裝置，該裝置特點是利用普通管狀爐，加噴槍構(gòu)成，由于噴涂沉積的樣品受爐體內(nèi)徑限制不能噴涂大面積樣品，同時無法根據(jù)需要靈活掌握噴涂位置且不能直接觀察化學(xué)沉積反應(yīng)過程。
本實用新型的目的是設(shè)計一種大直徑，可直接觀察反應(yīng)過程且可靈活操作噴槍的立式噴霧化學(xué)沉積裝置。
本實用新型的實施方案結(jié)合附圖描述如下附


圖1為立式噴霧化學(xué)沉積裝置示意圖，圖中爐體(4)為一石英杯狀，在爐體(4)外面纏繞電熱絲(5)在電熱絲外面封上石棉泥(6)，石英杯在電爐(7)上，支架(8)帶有底座，支架上方垂直于支架有一長夾，噴槍(2)為一小于90°角的彎形玻璃管，其一端為噴槍頭另一端為溶液吸管，噴槍頭上有一毛細(xì)管與外管在噴口處形成同心圓，在毛細(xì)管與外管間中部有一彎管為氮氣入口(1)噴槍頭與毛細(xì)管外管根部封接在彎形玻璃管上，另一端溶液吸管封接與溶液瓶(3)連接的外磨口，溶液吸管一直插到液瓶(3)底部，溶液瓶內(nèi)磨口(9)與噴槍外磨口相匹配。
使用時將樣品片置于爐底，通入氮氣將爐體加熱到所需溫度，噴槍將溶液噴出霧狀，在一定溫度下熱分解進(jìn)行化學(xué)沉積于樣片上。
本實用新型設(shè)計的立式噴霧化學(xué)沉積裝置克服了受爐體限制不能噴涂大面積樣品的弊端，操作簡單，噴槍角度運用靈活，從而使膜質(zhì)量得到保證。
權(quán)利要求1.一種立式噴霧化學(xué)沉積裝置，其特征在于爐體(4)為一石英杯狀，在爐體(4)外面纏繞電熱絲(5)在電熱絲外面封上石棉泥(6)，石英杯在電爐(7)上，支架(8)帶有底座，支架上方垂直于支架有一長夾，噴槍(2)為一小于90°角的彎形玻璃管，其一端為噴槍頭另一端為溶液吸管，噴槍頭上有一毛細(xì)管與外管在噴口處形成同心圓，在毛細(xì)管與外管間中部有一彎管為氮氣入口(1)噴槍頭與毛細(xì)管外管根部封接在彎形玻璃管上，另一端溶液吸管封接與溶液瓶(3)連接的外磨口，溶液吸管一直插到液瓶(3)底部，溶液瓶內(nèi)磨口(9)與噴槍外磨口相匹配。
專利摘要本實用新型屬于立式噴霧化學(xué)沉積裝置設(shè)計。本實用新型設(shè)計一種大直徑可直接觀察反應(yīng)過程且可靈活操作噴槍的立式噴霧化學(xué)沉積裝置,將樣品片置于爐底,通過氮氣將爐體加熱到所需溫度,噴槍將溶液噴出霧狀,在一定溫度下熱分解進(jìn)行化學(xué)沉積于樣品上。本實用新型設(shè)計的立式噴霧化學(xué)沉積裝置克服了受爐體限制不能噴涂大面積樣品的弊端,操作簡單,噴槍角度運用靈活,從而使膜質(zhì)量得到保證。
文檔編號C23C16/00GK2285301SQ9625079
公開日1998年7月1日 申請日期1996年12月31日 優(yōu)先權(quán)日1996年12月31日
發(fā)明者劉雅言 申請人:中國科學(xué)院長春應(yīng)用化學(xué)研究所