專利名稱：偏心進(jìn)氣化學(xué)氣相沉積爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及化學(xué)氣相沉積技術(shù)，特別提供了一種偏心進(jìn)氣的化學(xué)氣相沉積爐。
目前使用的化學(xué)氣相沉積爐不論是中頻感應(yīng)爐還是碳管爐都是雙同心園中心進(jìn)氣，混合分散法，基體(模具)在爐內(nèi)中心部位吊掛(或直立于旋轉(zhuǎn)臺(tái)上)，手動(dòng)或自動(dòng)旋轉(zhuǎn)。此法，使坩堝在園周或水平方向上的厚度均勻性有良好的改善，但是在高度方向上壁厚相差仍然很大。同時(shí)，由于碳管爐加熱方式是單相電源220伏所以在很多場合下使用起來很不方便。因?yàn)橛扇嚯娋W(wǎng)中拉出單相畢然對電網(wǎng)的平衡起破壞作用，否則要另加變壓器這又使電器設(shè)施增加，設(shè)備投資加大。
本實(shí)用新型的目的是提供一種偏心進(jìn)氣化學(xué)氣相沉積爐，用其所沉積出的PBN坩鍋壁厚更加均勻且使用更加方便。
本實(shí)用新型提供了一種偏心進(jìn)氣化學(xué)氣相沉積爐，由爐體1，進(jìn)氣口2，芯模3，發(fā)熱體4，出氣口5等部分組成，出氣口5設(shè)置于爐體頂部中心位置或底部中心位置，其特征在于進(jìn)氣口2設(shè)置于與出氣口5相對的偏心位置。發(fā)熱體4為三相電連接。進(jìn)氣口為同心圓，也可以為徑向狹縫狀，也可為多通道。本實(shí)用新型如熱方式采用三相電，非中心進(jìn)氣，基體在爐內(nèi)，連續(xù)旋轉(zhuǎn)。采用三相電源的好處是接線方便，有利于電網(wǎng)的平衡，爐內(nèi)溫度也比較穩(wěn)定。采用非中心處進(jìn)氣比較明顯地改進(jìn)了大坩鍋底部中心部位沉積層偏厚，坩堝上壁周邊過薄的缺點(diǎn)。用此設(shè)計(jì)及工藝可以制造出直徑較大，高度較長壁厚較均勻的坩堝。可以大大改善原坩堝底部太厚，而坩堝開口端端壁過薄的缺陷，提高了坩堝質(zhì)量，及坩鍋使用壽命。
以下結(jié)合附圖通過實(shí)施例詳述本實(shí)用新型。
附


圖1底部偏心進(jìn)氣化學(xué)氣相沉積碳管爐。
附圖2頂部偏心進(jìn)氣化學(xué)氣相沉積碳管爐。
附圖3頂部偏心進(jìn)氣化學(xué)氣相沉積感應(yīng)爐。
實(shí)施例1如
圖1所述結(jié)構(gòu)，底部偏心進(jìn)氣，在制備直徑φ186mm大直徑坩堝時(shí)首先將模具放置在高溫均熱帶的范圍內(nèi)，溫度1800℃，爐內(nèi)壓力保持在1mmHg，通入BCl3和NH3的混合氣，保溫一段時(shí)間，特在石墨模具表面上形成0.8～1.2mm厚的PBN薄層后，即可停電冷卻至室溫，將PBN薄層由模具上取下即獲得PBN大坩堝。
實(shí)施例2如圖2所示，采用頂部偏心進(jìn)氣的碳管爐，將由三高石墨制成的模具，吊掛或直立于碳管爐加熱區(qū)內(nèi)，溫度1900℃，爐壓2mmHg，通入下列氣體，N26立升/分，NH30.8立升/分，BCl30.55立升/分，經(jīng)過16小時(shí)在石墨芯模上形成0.8～1mm厚的PBN薄層，出爐后由芯模上將PBN脫下，即獲得φ186mm的PBN大坩堝。
實(shí)施例3如圖3所示，發(fā)熱源為感應(yīng)線圈，將由石墨制成的模具(芯模)置于爐中，溫度加熱到1850℃，通入N27立升/分，NH31.2立升/分，BCl30.8立升/分爐內(nèi)壓力保持在2mmHg，保溫20小時(shí)，在芯模上形成0.8～1.2mm厚的PBN薄層，隨爐冷卻至室溫，即可出爐，經(jīng)脫模，獲得φ186mm的PBN大坩堝。
權(quán)利要求1.一種偏心進(jìn)氣化學(xué)氣相沉積爐，由爐體(1)，進(jìn)氣口(2)，芯模(3)，發(fā)熱體(4)，出氣口(5)等部分組成，出氣口(5)設(shè)置于爐體(1)頂部中心位置或底部中心位置，其特征在于進(jìn)氣口(2)設(shè)置于與出氣口(5)相對的偏心位置。
2.按權(quán)利要求1所述化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于發(fā)熱體(4)為三相電連接。
3.按權(quán)利要求1或2所述化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于進(jìn)氣口(2)為狹縫狀。
專利摘要一種偏心進(jìn)氣化學(xué)氣相沉積爐，由爐體，進(jìn)氣口，芯模，發(fā)熱體，出氣口等部分組成，出氣口設(shè)置于爐體頂部中心位置或底部中心位置，其特征在于進(jìn)氣口設(shè)置于與出氣口相對的偏心位置。本實(shí)用新型可以沉積出大尺寸且壁厚更加均勻的PBN坩堝。
文檔編號C23C16/00GK2257823SQ96225269
公開日1997年7月16日 申請日期1996年1月29日 優(yōu)先權(quán)日1996年1月29日
發(fā)明者趙林 申請人:趙林