專利名稱：真空吸盤式多孔碼片機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于半導(dǎo)體片、晶片、硅片等小型圓片加工研磨設(shè)備的輔助設(shè)備，具體指一種真空吸盤式多孔碼片機(jī)。
現(xiàn)有的半導(dǎo)體片、晶片、硅片等小型圓片的加工，一般采用研磨設(shè)備，在研磨加工時(shí)一般沒有輔助設(shè)備，其加工過程中的碼片工作均采用人工碼片，造成加工過程工效低、時(shí)間長(zhǎng)、勞動(dòng)強(qiáng)度大、無(wú)法從事大批量生產(chǎn)，如在四道研磨機(jī)上加工晶體片，每次需人工將900片直徑為8毫米左右、厚度不足1毫米的晶片碼在游星輪上的片孔內(nèi)，其碼片時(shí)間占整個(gè)加工時(shí)間的三分之二。
本實(shí)用新型的目的就在于提供一種使用方便、碼片效率高、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、能較大程度地減輕勞動(dòng)強(qiáng)度，縮短加工時(shí)間的研磨設(shè)備的輔助裝置——真空吸盤式多孔碼片機(jī)，從而有效地解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足。
本實(shí)用新型的目的是通過以下方式來(lái)實(shí)現(xiàn)的一種由供片裝置及吸片盤組成的真空吸盤式多孔碼片機(jī)，其特征在于供片裝置主要由機(jī)殼、供片輪、定位齒條、片管、頂桿、活塞桿，活塞套，真空泵、電動(dòng)機(jī)及電器盒組成，其中供片輪上設(shè)有若干根片管，片管排布與相應(yīng)的研磨設(shè)備的游星輪的片孔排布相對(duì)應(yīng)，每根片管內(nèi)均裝置有彈簧以及頂桿，頂桿固定在與活塞桿連為一體的頂盤上，頂盤周邊上還設(shè)有三根均布的定位桿，活塞桿與固定在機(jī)殼隔板上的活塞套相配合，在供片輪的面板周圍設(shè)置有定位齒條，在供片裝置內(nèi)還裝置有電器盒及由電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)的真空泵，并通過抽氣管與吸片盤相連，吸片盤主要由手柄、面板、吸盤、密封套及真空管組成，其中吸盤內(nèi)設(shè)有真空室，該室通過真空管與供片裝置上的抽氣管相連接，表面均布有若干吸片孔的面板通過螺絲固定在吸盤上，真空管與手柄之間相對(duì)固定，該管在與吸盤相連接處配置有帶軸承的密封套。
采用本實(shí)用新型的真空吸盤式多孔碼片機(jī)，由于采用了與研磨設(shè)備游星輪相應(yīng)的供片裝置，并通過吸片盤來(lái)供片，從而有效地提供了一種使用方便、碼片效率高、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、能較大程度地減輕勞動(dòng)強(qiáng)度，縮短加工時(shí)間的研磨設(shè)備的輔助裝置，有效地解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足。


圖1是本實(shí)用新型的供片裝置實(shí)結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型的吸片盤結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型的供片輪結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實(shí)用新型的吸片盤面板結(jié)構(gòu)示意圖。
其中1—供片裝置，2—機(jī)殼，3—控制鈕，4—供片輪，5—定位齒條，6—片管，7—頂桿，8—頂盤，9—活塞桿，10—活塞套，11—真空泵，12—電動(dòng)機(jī)，13—電器盒，14—抽氣管，15—手柄，16—真空室，17—面板，18—吸盤，19—密封套，20—真空管，21—定位桿，22—彈簧，23—吸片孔。
以下結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
附圖提供了一種真空吸盤式多孔碼片機(jī)的實(shí)施例。如圖所示，本實(shí)用新型主要由供片裝置(1)及吸片盤組成，其供片裝置(1)主要由機(jī)殼(2)、供片輪(4)、定位齒條(5)、片管(6)、頂桿(7)、活塞桿(9)，活塞套(10)，真空泵(11)、電動(dòng)機(jī)(12)及電器盒(13)組成，其中供片輪(4)由上下兩部分組成，上部面板為4個(gè)或5個(gè)圓環(huán)，其外環(huán)上設(shè)有三根均布的定位管，其他環(huán)上均固定有若干根片管(6)，片管(6)排布與相應(yīng)的研磨設(shè)備的游星輪的片孔排布相對(duì)應(yīng)，每根片管內(nèi)均裝置有彈簧(22)以及頂桿(7)，頂桿(7)固定在其下部的與活塞桿(9)連為一體的頂盤(8)上，頂盤(8)周邊上還設(shè)有三根均布的與上述定位管相應(yīng)的定位桿(21)，以使頂盤及頂桿在固定的位置作上下移動(dòng)，達(dá)到送片的目的；活塞桿(9)與固定在機(jī)殼(2)隔板上的活塞套(10)相配合，以形成供片裝置(1)的動(dòng)力源，在供片輪(4)的面板周圍設(shè)置有兩段定位齒條(5)，該齒條與吸片盤的齒圈相吻合，在供片裝置的機(jī)殼內(nèi)還裝置有電器盒(13)及由電動(dòng)機(jī)(12)帶動(dòng)的真空泵(11)，該泵通過抽氣管(14)與吸片盤相連；吸片盤主要由手柄(15)、面板(17)、吸盤(18)、密封套(19)及真空管(20)組成，其中吸盤(18)內(nèi)設(shè)有真空室(16)，該室通過真空管(20)與供片裝置上的抽氣管(14)相連接，表面均布有若干吸片孔(23)的面板(17)通過螺絲固定在吸盤(18)上，真空管(20)與手柄(15)之間相對(duì)固定，該管在與吸盤相連接處配置有帶軸承的密封套(19)，吸盤(18)可相對(duì)手柄(15)旋轉(zhuǎn)，吸盤邊緣設(shè)有與相應(yīng)的研磨設(shè)備相吻合的齒圈。
上述碼片機(jī)在使用時(shí)，通過真空泵使吸片盤中產(chǎn)生一定的真空吸力，將預(yù)先裝置在供片輪上各片管內(nèi)的待磨薄片吸附在吸盤面板上，然后將吸片盤移至研磨機(jī)的游星輪上，由于吸片盤上吸片孔的排布與游星輪上磨片孔排布相同，因而能一次將一個(gè)游星輪上的孔布滿(180片，每臺(tái)研磨機(jī)有五個(gè)游星輪)，從而大幅度的提高碼片速度，減輕勞動(dòng)強(qiáng)度，提高生產(chǎn)效率。
權(quán)利要求1.一種由供片裝置(1)以及吸片盤組成的真空吸盤式多孔碼片機(jī)，其特征在于供片裝置(1)主要由機(jī)殼(2)、供片輪(4)、定位齒條(5)、片管(6)、頂桿(7)、活塞桿(9)，活塞套(10)，真空泵(11)、電動(dòng)機(jī)(12)及電器盒(13)組成，其中供片輪(4)上設(shè)有若干根片管(6)，片管(6)排布與相應(yīng)的研磨設(shè)備的游星輪的片孔排布相對(duì)應(yīng)，每根片管內(nèi)均裝置有彈簧(22)以及頂桿(7)，頂桿(7)固定在與活塞桿(9)連為一體的頂盤(8)上，頂盤(8)周邊上還設(shè)有三根均布的定位桿(21)，活塞桿(9)與固定在機(jī)殼(2)隔板上的活塞套(10)配合，在供片輪(4)的面板周圍設(shè)置有定位齒條(5)，在供片裝置內(nèi)還裝置有電器盒(13)及由電動(dòng)機(jī)(12)帶動(dòng)的真空泵(11)，并且通過抽氣管(14)與吸片盤相連，該吸片盤主要是由手柄(15)、面板(17)、吸盤(18)、密封套(19)及真空管(20)組成，其吸盤內(nèi)設(shè)有真空室(16)，該室通過真空管(20)與供片裝置上的抽氣管(14)相連接，表面均布有若干吸片孔(23)的面板(17)通過螺絲固定在吸盤上，真空管(20)與手柄(15)之間相對(duì)固定，該管在與吸盤相連接處配置有帶軸承的密封套(19)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空吸盤式多孔碼片機(jī)，其特征在于供片輪(4)由上下兩部分組成，上部面板為4個(gè)或5個(gè)圓環(huán)，其外環(huán)上設(shè)有三根均布的定位管，其他環(huán)上均固定有若干根片管(6)，片管(6)排布與相應(yīng)的研磨設(shè)備的游星輪的片孔排布相對(duì)應(yīng)，每根片管內(nèi)均裝置有彈簧(22)以及頂桿(7)，頂桿(7)固定在其下部的與活塞桿(9)連為一體的頂盤(8)上，頂盤(8)周邊上還設(shè)有三根均布的與上述定位管相應(yīng)的定位桿(21)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空吸盤式多孔碼片機(jī)，其特征在于吸片盤主要由手柄(15)、面板(17)、吸盤(18)、密封套(19)及真空管(20)組成，其中吸盤(18)內(nèi)設(shè)有真空室(16)，該真空室通過真空管(20)與供片裝置上的抽氣管(14)相連接，表面均布有若干吸片孔(23)的面板(17)通過螺絲固定在吸盤(18)上，真空管與手柄(15)之間相對(duì)固定，該管在與吸盤相連接處配置有帶軸承的密封套(19)，吸盤(18)可相對(duì)手柄(15)旋轉(zhuǎn)，吸盤邊緣設(shè)有與相應(yīng)的研磨設(shè)備相吻合的齒圈。
專利摘要一種由供片裝置及吸片盤組成的真空吸盤式多孔碼片機(jī)，由機(jī)殼、供片輪、定位齒條、片管、頂桿、活塞桿，活塞套，真空泵、電動(dòng)機(jī)及電器盒組成，吸片盤主要由手柄、面板、吸盤、密封套及真空管組成。采用本實(shí)用新型，由于采用了與研磨設(shè)備游星輪相應(yīng)的供片裝置，并通過吸片盤來(lái)供片，從而有效地提供了一種使用方便、碼片效率高、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、能較大程度地減輕勞動(dòng)強(qiáng)度，縮短加工時(shí)間的研磨設(shè)備的輔助裝置。
文檔編號(hào)B24B37/34GK2218627SQ94238430
公開日1996年1月31日 申請(qǐng)日期1994年10月19日 優(yōu)先權(quán)日1994年10月19日
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