技術編號：3393241
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種用于半導體片、晶片、硅片等小型圓片加工研磨設備的輔助設備，具體指一種真空吸盤式多孔碼片機。現(xiàn)有的半導體片、晶片、硅片等小型圓片的加工，一般采用研磨設備，在研磨加工時一般沒有輔助設備，其加工過程中的碼片工作均采用人工碼片，造成加工過程工效低、時間長、勞動強度大、無法從事大批量生產(chǎn)，如在四道研磨機上加工晶體片，每次需人工將900片直徑為8毫米左右、厚度不足1毫米的晶片碼在游星輪上的片孔內，其碼片時間占整個加工時間的三分之二。本實用新型的目的就...
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