專利名稱：真空鍍膜設(shè)備中的速抽式真空系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬真空獲得技術(shù)領(lǐng)域，是一種適合在真空鍍膜設(shè)備中應(yīng)用的速抽式真空獲得系統(tǒng)。
尚未見到在真空獲得系統(tǒng)中，采用實用新型的手段實現(xiàn)快速抽真空的資料與報導(dǎo)。
在常見的真空鍍膜設(shè)備中，通常采用機械泵、擴散泵、或機械泵羅茨泵、擴散泵等，多種組合形式，而擴散泵是目前真空鍍膜設(shè)備中獲得最后高真空手段的必須途徑。而擴散泵為正常工作必須將油加溫到一定溫度方能在預(yù)抽的真空下開始工作。常見擴散泵體下沒有加熱電爐以升高擴散泵內(nèi)油溫到工作溫度。這一加熱過程費時耗能，成為真空鍍膜設(shè)備使用中的一道障礙。在現(xiàn)有技術(shù)中，擴散泵的加熱是依靠泵體底座下掛裝一電熱絲式電爐來完成的。其電熱是依靠輻射傳熱到擴散泵體的底盤再經(jīng)傳導(dǎo)傳熱到擴散泵油，熱阻大升溫慢，費時耗能。又由于輻射傳熱與電熱絲的表面溫度的四次方成正比。這樣，暴露在空氣中的電熱絲因高溫氧化影響使用壽命，又成了擴散泵使用中的障礙。
本實用新型的目的是采用具有內(nèi)熱式加熱的擴散泵與前級泵、預(yù)抽泵等合理配置，組成速抽式真空系統(tǒng)，使得真空鍍膜設(shè)備首次使用所需加熱時間大大縮短，同時節(jié)省了加熱能源提高了生產(chǎn)率。
本實用新型采用帶散熱翼翅的電熱管，密封置入擴散泵油中的直接加熱方式，預(yù)熱擴散泵油，可將原長達(dá)1小時的擴散泵預(yù)熱時間，縮短到與前級泵抽低真空所需的時間相當(dāng)。這樣，當(dāng)前級泵將真空室的真空抽到規(guī)定值時，擴散泵的預(yù)熱已完成，可立即接續(xù)抽高真空。顯然這實際上已將擴散泵單獨預(yù)熱所需的時間縮短到零，可謂省時至極。


圖1畫出了本實用新型直熱式擴散泵的示意圖，在
圖1中，1是泵體、2是擋油帽、3是泵芯、4是前級擋板、5是嵌入式電熱器、6是泵入口、7是擴散泵油。
從
圖1中可見，直熱式擴散泵與普通擴散在結(jié)構(gòu)上不同點僅在于，擴散泵油加熱方式改為直接將電熱管嵌入在擴散泵內(nèi)，浸在擴散泵油中。如
圖1所示嵌入式電熱器5是密封嵌裝入擴散泵泵體1的底部，并浸在擴散泵油7里。擴散泵在真空系統(tǒng)中工作時，當(dāng)泵體1內(nèi)真空度由預(yù)抽泵抽至規(guī)定值時，即可接通嵌入式電熱器5的電源，此時，電熱功率直接加熱擴散泵油7，使之迅速升溫達(dá)到擴散泵工作的油溫。大大縮短了擴散泵預(yù)熱的時間。在實施中，嵌入式電熱器5由電熱管制成，為便于其熱量傳遞到擴散泵油7內(nèi)，在電熱管上設(shè)有散熱翼翅。即嵌入式電熱器5由帶散熱翼翅的電熱管制成，其安裝除滿足密封要求外，還應(yīng)使嵌入式電熱器5完全浸入擴散泵油7內(nèi)。
下面通過實施例進(jìn)一步說明實用新型的應(yīng)用，在圖2中畫出了真空鍍膜沒備中的速抽式真空系統(tǒng)，其中8是前級泵、9是羅茨泵、10是直熱式擴散泵、11是預(yù)抽泵、12是高真空閥、13是真空室。從圖2可看出這種真空系統(tǒng)的配置與眾不同之處僅在于采用了直熱式擴散泵10。以我公司生產(chǎn)的HX－2B型多功能鍍膜機為例，前級泵8選用2組X－70型機械泵并聯(lián)使用，羅茨泵9選用R－70型，預(yù)抽泵11選用X－15型，高真空閥11選用口 600mm氣動式，真空室13的體積是 1400×2000mm，直熱式擴散泵10是采用K－630型泵體，嵌入式電熱器5是選用三根帶散熱翼翅的外徑 14mm的電熱管制成，其加熱功率控制可采用調(diào)壓器或可控硅實現(xiàn)，其加熱總功率可在2－6KW選控。HX－2B型多功能鍍膜機的真空系統(tǒng)操作如下開啟前級泵8抽真空室13，同時開啟預(yù)抽泵11抽直熱式擴散泵10。待直熱擴散泵10真空度達(dá)幾Pa時(時間僅需2－4分鐘)，接通嵌入式電熱器5令其對擴散泵油7全功率加熱，擴散泵油7的溫度，可在10分鐘左右的時間升至200℃以上。擴散泵油7升溫期間羅茨泵9啟動與前級泵8一起提高真空室13的真空度，稍后直熱式擴散泵10即可開始對真空室13抽高真空?？梢姡捎弥睙崾綌U散泵10組成的真空系統(tǒng)，利用前級泵8和羅茨泵9將真空室13由大氣抽至幾Pa的這段時間來完成直熱式擴散泵10的預(yù)抽，加熱升溫是可行的。因此，可實現(xiàn)省略擴散泵的預(yù)熱時間，為鍍膜生產(chǎn)帶來方便。另外，這種嵌入式電熱器5，在擴散泵油7中，置于下部但不可能是最底部，因此，擴散泵油7中的污染雜質(zhì)均沉積在泵體1的最底層，不象普通擴散泵那樣，這些雜質(zhì)參與擴散泵油的沸騰蒸發(fā)，利用延長擴散泵油7的使用壽命。
本實用新型所述由直熱式擴散泵組成的速抽式真空系統(tǒng)，利用前級泵抽低真空的時間完成擴散泵油的升溫，構(gòu)思巧妙，達(dá)到既省時又節(jié)能的目的，為真空鍍膜設(shè)備的工藝生產(chǎn)提供了很大方便，有很好的應(yīng)用普及前景。
權(quán)利要求1.一種由前級泵和直熱式擴散泵組成的真空鍍膜設(shè)備中的速抽式真空系統(tǒng)，其特征在于直熱式擴散泵[10]是由帶散熱翼翅的電熱管組成的嵌入式電熱器[5]，直接加熱擴散泵油，并由調(diào)壓器或可控硅控制其加熱功率，實現(xiàn)真空系統(tǒng)的加速預(yù)熱的。
專利摘要真空鍍膜設(shè)備中的速抽式真空系統(tǒng)屬真空獲得技術(shù)領(lǐng)域，是一種速抽式真空系統(tǒng)。它采用具有嵌入式電熱器的直熱式擴散泵與前級泵組成的真空系統(tǒng)，可實現(xiàn)利用前級泵抽低真空的時間來完成直熱式擴散泵的預(yù)熱升溫，大大縮短于抽真空所需的時間，在鍍膜設(shè)備中有著很好的應(yīng)用前景。
文檔編號C23C14/56GK2206299SQ94214658
公開日1995年8月30日 申請日期1994年6月20日 優(yōu)先權(quán)日1994年6月20日
發(fā)明者于書吉, 王永光, 粟達(dá)人, 張厚先 申請人:北京科智達(dá)技術(shù)發(fā)展公司