專利名稱:電介質(zhì)/合金/電介質(zhì)型透明導(dǎo)電膜的制作方法
本發(fā)明按“Thin Solid Films”雜志1982年第89卷287～293頁(yè)發(fā)表的那一類“ZnS/Ag/ZnS型透明導(dǎo)電膜”發(fā)展而來(lái)的。
采用銀合金主要目的，是為了提高該類型膜堆的透射率、機(jī)械強(qiáng)度和化學(xué)穩(wěn)定性。
以往利用電介質(zhì)/金屬/電介質(zhì)型透明導(dǎo)電膜，這種類型的透明導(dǎo)電膜，具有生產(chǎn)周期短、成本低、鍍制方便，可以在低于100℃的基底上鍍膜，可以鍍?cè)诓Ａ?、有機(jī)玻璃、聚酯和塑料上。使得這種類型的透明導(dǎo)電膜，在與光電子學(xué)有關(guān)的所有領(lǐng)域中都有應(yīng)用，另外，在航空、航海、輕工和建筑等許多領(lǐng)域也都有應(yīng)用。近年來(lái)先后采用了各種金屬做中間層進(jìn)行研究，比如銀、金、銅、鋁……最后確認(rèn)銀是最好的材料，目前廣泛使用銀做中間層。本發(fā)明人經(jīng)反復(fù)研究，證實(shí)銀的化學(xué)穩(wěn)定性很差，很易氧化和硫化，并且機(jī)械強(qiáng)度較差。通過(guò)采用了銀合金做中間層，使性能得到改善，在同樣的電阻值情況下，用銀合金做中間層，最大透射率為92%，用銀做中間層，最大透射率為87%;并且抗氧化、硫化能力也得到提高，機(jī)械強(qiáng)度也有提高。其提高的主要原因是，由于用銀做中間層，就銀本身來(lái)說(shuō)導(dǎo)電性非常好，但是由于銀化學(xué)穩(wěn)定性非常差，很容易氧化和硫化，所以當(dāng)鍍完銀膜層以后，很快就形成一層氧化銀和硫化銀，由于這層氧化銀和硫化銀并不導(dǎo)電，使得透光性下降，電阻增大。當(dāng)采用銀合金做中間層時(shí)，雖然銀合金的導(dǎo)電性不如銀好，但是，由于銀合金的抗氧化、硫化能力大大優(yōu)于銀，使得形成的氧化層和硫化層大大下降，因此，使得在同樣的電阻值情況下，透光性增大。指標(biāo)超過(guò)“Thin Solid Eilms”雜志1982年第89卷287～293頁(yè)發(fā)表的ZnS/Ag/ZnS膜堆。
在鍍制ZnS/Ag/ZnS膜堆時(shí)，用銀合金代替銀即可實(shí)現(xiàn)。
可采用下列合金之一銀-鎘(1～10%鎘)銀-銦(1～20%銦)銀-銅(0.5～30%銅)其中銀-銅(1～10%銅)鍍制的效果最佳。
權(quán)利要求
1.本發(fā)明為一種電介質(zhì)/金屬/電介質(zhì)型透明導(dǎo)電膜；其特征在于用合金做該金屬中間層。
2.根據(jù)權(quán)項(xiàng)1的透明導(dǎo)電膜，其特征是做為金屬中間層的合金。采用的是銀合金。
3.根據(jù)權(quán)項(xiàng)1或2的透明導(dǎo)電膜，其特征是做為金屬中間層的銀合金為銀-鎘(1～10%鎘)銀-銦(1～10%銦)銀-銅(0.5～30%銅)
專利摘要
“電介質(zhì)/合金/電介質(zhì)型透明導(dǎo)電膜”，適用于玻璃、有機(jī)玻璃、聚酯、塑料等材料的表面真空鍍膜。該導(dǎo)電膜采用合金做為中間層，可以改善膜堆的光電特性，提高機(jī)械強(qiáng)度及化學(xué)穩(wěn)定性，降低成本，重復(fù)性好。此型膜堆可應(yīng)用到相應(yīng)于該領(lǐng)域采用的其它類型的透明導(dǎo)電膜上。
文檔編號(hào)G02B5/20GK85104006SQ85104006
公開(kāi)日1986年1月10日 申請(qǐng)日期1985年5月20日
發(fā)明者李壽山, 羅希文 申請(qǐng)人:長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械學(xué)院導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan