本發(fā)明涉及多晶硅片加工，具體為一種多晶硅片磁力磨削設(shè)備及方法。

背景技術(shù)：

1、硅片主要分為多晶硅片和單晶硅片兩種類型，其中，多晶硅片是硅片的一種，多晶硅片是由高純度的多晶硅材料經(jīng)過切割、拋光和清洗等工藝加工而成的薄片，廣泛應(yīng)用于太陽能電池板和集成電路等領(lǐng)域，在太陽能電池板的制造中，它通過光電轉(zhuǎn)換將太陽光轉(zhuǎn)化為電能，是太陽能光伏產(chǎn)業(yè)中的重要材料，在集成電路的制造中，多晶硅片作為半導(dǎo)體器件的核心材料之一，用于傳導(dǎo)和控制電流，是ic芯片的主要材料之一。

2、而磁力研磨機是一種采用磁場力，拖動磨槽內(nèi)不銹鋼針等磨料快速轉(zhuǎn)動，對工件進行去除毛刺，拋光，洗凈等處理的設(shè)備。磁力研磨機是在傳統(tǒng)研磨機的不足與缺陷上進行的改革創(chuàng)新，其強勁平穩(wěn)的磁感效應(yīng)，可對工件進行全方位的充分研磨，實現(xiàn)除銹，去死角和毛刺、除氧化薄膜和燒結(jié)痕跡等目的。采用磁場力量傳導(dǎo)至不銹鋼磨針使工件作高頻率旋轉(zhuǎn)運動，在形狀復(fù)雜、多或夾縫、螺紋等工件的研磨拋光處理中，效果更加顯著，具有快速高效、不傷工件，不影響工件精度的特點。適用的工件材質(zhì)也很廣泛，金屬類如金、銅、銀、鎂、鋁、鋅、鐵、不銹鋼等，非金屬類如：硬質(zhì)塑料等，其還可使工件釋放部分內(nèi)應(yīng)力，以提高機械性能和表面質(zhì)量。

3、現(xiàn)有技術(shù)中，對多晶硅片的研磨以慢慢從傳統(tǒng)的硅片研磨機“將被磨、拋材料放于研磨盤上，工件與研磨盤作相對運轉(zhuǎn)摩擦，來達到研磨拋光”的方式向外拓展，而在磁力研磨機研磨的過程后，多晶硅片由于體積較大，工作人員能夠較為輕松的取出，但磁針摻雜在研磨液中，需要工人進行打撈，進行清洗，從而空出研磨桶以備下一次的磁力研磨，并且將磁針清理起來，當(dāng)上述的整個打撈操作較為困難，同時，研磨桶自身的內(nèi)壁也較為粗糙，磁針容易貼合卡在研磨桶的內(nèi)壁，清理起來，比較困難，整體的工作效率也仍有提升空間。

4、為此，我們研發(fā)出了新的一種多晶硅片磁力磨削設(shè)備及方法。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、（一）解決的技術(shù)問題

2、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種多晶硅片磁力磨削設(shè)備及方法，解決了現(xiàn)有技術(shù)中磁力研磨機研磨的過程后，多晶硅片由于體積較大，工作人員能夠較為輕松的取出，但磁針摻雜在研磨液中，需要工人進行打撈，進行清洗，從而空出研磨桶以備下一次的磁力研磨，并且將磁針清理起來，當(dāng)上述的整個打撈操作較為困難，同時，研磨桶自身的內(nèi)壁也較為粗糙，磁針容易貼合卡在研磨桶的內(nèi)壁，清理起來，比較困難，整體的工作效率也仍有提升空間的問題。

3、（二）技術(shù)方案

4、為實現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn)：一種多晶硅片磁力磨削設(shè)備及方法，包括支撐平臺和研磨機箱，所述研磨機箱的上表面固定連接有放置平臺，所述放置平臺的上表面開設(shè)有研磨槽，所述研磨槽的上表面抵接有研磨桶，所述研磨桶的內(nèi)壁底部固定連接有支撐圓盤，所述研磨桶的外表面兩側(cè)對稱固定連通有連接管，兩個所述連接管的一端均固定連通有收納盒，兩個所述收納盒遠(yuǎn)離研磨桶的外表面一側(cè)均固定安裝有電磁繼電器；

5、通過上述技術(shù)方案，電磁繼電器是利用輸入信號（電壓、電流）在電磁鐵鐵芯中產(chǎn)生電磁力，吸引銜鐵的一種電氣設(shè)備，只要在線圈兩端加上一定的電壓，線圈中就會流過一定的電流，從而產(chǎn)生電磁效應(yīng)，應(yīng)用在本技術(shù)中，電磁繼電器同樣能夠?qū)δハ鞫嗑Ч杵拇裴樳M行吸引。

6、兩個所述收納盒的頂部均鉸接有密封板，且兩個所述收納盒的內(nèi)側(cè)均放置有篩框，兩個所述篩框靠近連接管的一側(cè)均開設(shè)有連通口，且兩個所述篩框的內(nèi)側(cè)均安裝有與連通口相配合的封堵組件。

7、優(yōu)選的，所述研磨桶的外表面底部套設(shè)有環(huán)形圓管，所述環(huán)形圓管的上表面對稱固定連通有導(dǎo)管，兩個所述導(dǎo)管的一端均與收納盒的底部固定連通，且所述導(dǎo)管的靠近收納盒的一端固定安裝有單向閥。

8、通過上述技術(shù)方案，單向閥的主要作用是防止流體反向流動或倒流，確保流體只能朝一個方向流動，能夠保護系統(tǒng)、控制流量、提高安全性，相應(yīng)地，在使用過程中，需要定期檢查和維護，確保其正常工作，避免因堵塞或損壞導(dǎo)致的系統(tǒng)故障。

9、優(yōu)選的，所述研磨機箱的上表面一端固定安裝有氣泵，所述氣泵的送氣管固定連通有輸氣管，所述輸氣管的一端與環(huán)形圓管的外表面一側(cè)固定連通。

10、通過上述技術(shù)方案，氣泵能夠?qū)⑼獠康目諝饨?jīng)由送氣管輸送到輸氣管內(nèi)部，進而通過輸氣管進入到環(huán)形圓管的內(nèi)部并最終從導(dǎo)管通入到收納盒的內(nèi)部，隨后經(jīng)由收納盒一側(cè)的連接管進入到研磨桶的內(nèi)底部，所輸入的氣體能夠推動磁針的滾動，便于研磨桶內(nèi)部的磁針對多晶硅片進行磨削操作。

11、優(yōu)選的，所述封堵組件包括固定連接在篩框內(nèi)側(cè)的鉸接軸，所述鉸接軸的外表面對稱套設(shè)轉(zhuǎn)動連接有連桿，兩個所述連桿的一端均固定連接有安裝板，兩個所述連桿的另一端均固定連接有半圓形篩板，所述半圓形篩板的直徑大于連通口的直徑。

12、通過上述技術(shù)方案，當(dāng)兩個半圓形篩板并攏時，即可將連通口封堵住，使得篩框和半圓形篩板相對于磁針構(gòu)成了一個四周封閉式結(jié)構(gòu)，從而方便利用篩框?qū)⒋裴樔〕?，同時，半圓形篩板和篩框的孔徑均小于磁針的直徑，當(dāng)磁針經(jīng)由連接管進入到收納盒內(nèi)部的篩框內(nèi)，不會向外泄漏。

13、優(yōu)選的，所述封堵組件還包括分別固定連接在兩個所述安裝板相對一側(cè)底部的鉸接座以及套設(shè)固定連接在鉸接軸外表面的支撐桿，兩個所述鉸接座的一端均鉸接有斜桿，兩個所述斜桿外表面中部共同滑動連接有滑桿，所述支撐桿的外表面中部滑動連接有第二滑塊，且所述滑桿貫穿固定連接在第二滑塊的底部，所述第二滑塊的上表面轉(zhuǎn)動連接有螺桿，所述螺桿的一端與支撐桿的頂部貫穿螺紋連接，且所述螺桿的頂部固定連接有旋柄；

14、兩個所述安裝板相對一側(cè)的頂部均滑動連接有第一滑塊，兩個所述第一滑塊的一端分別與相應(yīng)的斜桿的一端相鉸接，且兩個所述斜桿呈x形結(jié)構(gòu)；

15、通過上述技術(shù)方案，第一滑塊使得斜桿的一端能夠和安裝板構(gòu)成滑動式結(jié)構(gòu)，從而改變斜桿的一端相對于安裝板所處的位置，而兩個斜桿所形成的x行結(jié)構(gòu)即類似于剪叉式結(jié)構(gòu)，剪叉式機械結(jié)構(gòu)使其在張開和并攏時具有較高的穩(wěn)定性以及同步性，能夠更為對稱地驅(qū)動連通口兩側(cè)的連桿以及半圓形篩板呈對稱式的旋轉(zhuǎn)。

16、優(yōu)選的，兩個所述安裝板的外表面頂部均開設(shè)有與第一滑塊相匹配的第一滑槽，兩個所述斜桿的外表面中部均開設(shè)有與滑桿相匹配的第二滑槽，單個所述支撐桿的外表面頂部開設(shè)有與第二滑塊相匹配的第三滑槽。

17、優(yōu)選的，所述研磨機箱的內(nèi)部呈中空結(jié)構(gòu)，且所述研磨機箱的內(nèi)壁固定連接有隔板，所述隔板的上表面固定安裝有伺服電機，所述伺服電機的輸出軸固定連接有與研磨槽相配合的永磁圓盤。

18、優(yōu)選的，所述研磨機箱的外表面一側(cè)對稱鉸接有門板，兩個所述門板的外表面一側(cè)均固定連接有把手。

19、優(yōu)選的，所述支撐平臺的上表面固定連接有支撐座，所述支撐座的外表面一側(cè)固定安裝有控制面板，所述控制面板與伺服電機、氣泵和電磁繼電器均電性連接。

20、一種多晶硅片磁力磨削設(shè)備的磁力磨削方法，包括以下具體步驟：

21、步驟一、將整體設(shè)備連接在有可靠接地的標(biāo)準(zhǔn)電源中，并且將研磨桶安置在研磨槽內(nèi)部中間的位置，將磁針投入到研磨桶中，隨后將多晶硅片放置在支撐圓盤的表面；

22、步驟二、將水倒入研磨桶，其量以蓋過工件為佳，同時通過控制面板設(shè)定研磨時間并開機，對多晶硅片進行研磨，設(shè)定時間結(jié)束后將多晶硅片翻面，再次進行研磨后取出；

23、步驟三、當(dāng)需要從研磨桶內(nèi)部取出磁針時，首先再次啟動伺服電機，逐漸降低永磁圓盤的磁力，并同時增大電磁繼電器的磁力，使得磁針在旋轉(zhuǎn)滾動的過程中經(jīng)由連接管逐漸收集到篩框的內(nèi)部；

24、步驟四、打開密封板，向上擰動旋柄使得兩個連桿繞著鉸接軸轉(zhuǎn)動，從而利用半圓形篩板將連通口封堵，隨后即可向上提出篩框?qū)⒋裴樔〕鲞M行回收清洗以備再利用。

25、（三）有益效果

26、本發(fā)明提供了一種多晶硅片磁力磨削設(shè)備及方法，具備以下有益效果：

27、1、該多晶硅片磁力磨削設(shè)備及方法，通過設(shè)計收納盒、電磁繼電器、篩框和封堵組件，在需要對磁針進行打撈時，可以再次啟動永磁圓盤和伺服電機，并且逐漸降低永磁圓盤的磁力，并同時增大電磁繼電器的磁力，使得磁針在旋轉(zhuǎn)滾動的過程中經(jīng)由連接管逐漸收集到篩框的內(nèi)部，通過取出篩框即可將磁針取出，從而高效地實現(xiàn)了對磁針的收集，無需工作人員進行打撈，能夠減少后期工人清理的煩惱，同時提升清理研磨桶以至于整個多晶硅片磨削操作的效率，清理結(jié)束后能夠快速進行下一次的磨削。

28、2、該多晶硅片磁力磨削設(shè)備及方法，通過設(shè)計氣泵、環(huán)形圓管、導(dǎo)管和單向閥，氣泵能夠?qū)⑼獠康目諝饨?jīng)由環(huán)形圓管、導(dǎo)管、收納盒和連接管最終通入研磨桶的內(nèi)部，所輸入的氣體能夠推動磁針的滾動，使其在旋轉(zhuǎn)時滾動地更為無序，便于對多晶硅片進行磨削操作，研磨的更加充分。