本發(fā)明涉及發(fā)光面板加工，具體為一種發(fā)光面板元器件加工用晶圓拋光機(jī)。
背景技術(shù)：
1、發(fā)光面板是一種能夠發(fā)出光線(xiàn)的面板，其生產(chǎn)方法取決于所使用的材料和技術(shù)，每種發(fā)光面板都有其特定的生產(chǎn)工藝和材料要求，以滿(mǎn)足不同的應(yīng)用需求和性能標(biāo)準(zhǔn)，現(xiàn)有技術(shù)中的發(fā)光面板的發(fā)光原理可為：基于有機(jī)半導(dǎo)體材料和發(fā)光材料在電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)下，通過(guò)載流子注入和復(fù)合導(dǎo)致發(fā)光，有機(jī)半導(dǎo)體制作的基本材料之一為晶圓。目前，直拉法(cz)是制備硅單晶的一種重要方法，通過(guò)碳素材料組成的熱場(chǎng)對(duì)放入坩堝的高純硅料進(jìn)行加熱使之熔化，之后通過(guò)將籽晶浸入熔體當(dāng)中并經(jīng)過(guò)一系列(引晶、放肩、等徑、收尾、冷卻)工藝過(guò)程，最終獲得單晶棒，單晶棒再經(jīng)過(guò)研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，為了保障晶圓在后期制備芯片時(shí)的穩(wěn)定性和可利用性，通常都會(huì)將晶圓進(jìn)行拋光，使其達(dá)到規(guī)定的光滑度。
2、在相關(guān)技術(shù)中，晶圓拋光機(jī)使用時(shí)通常需要把待拋光晶圓放在拋光機(jī)的工作臺(tái)上，晶圓與工作臺(tái)負(fù)壓連接后，再利用拋光輪對(duì)晶圓進(jìn)行拋光，在此過(guò)程中，晶圓與真空吸盤(pán)處于緊密貼合的狀態(tài)，不易取下拋光后的晶圓；拋光過(guò)程中需要對(duì)晶圓進(jìn)行降溫，常用的降溫方法為冷卻液降溫和風(fēng)冷降溫，采用冷卻液對(duì)晶圓進(jìn)行降溫時(shí)，晶圓取下后，殘留在工作臺(tái)上的冷卻液易進(jìn)入到真空吸盤(pán)等真空負(fù)壓設(shè)備內(nèi)，影響拋光機(jī)的使用；同時(shí)廢液中的晶圓顆粒會(huì)附著在工作臺(tái)上，影響冷卻液的流動(dòng)，因此工作臺(tái)需要定期清理，現(xiàn)有的拋光機(jī)通常不具備清理工作臺(tái)的功能，需要另備工具進(jìn)行清理，較為麻煩，且設(shè)置在工作臺(tái)上的真空吸盤(pán)等真空負(fù)壓設(shè)備會(huì)影響工作臺(tái)的清理，基于此，本申請(qǐng)?zhí)岢鲆环N發(fā)光面板元器件加工用晶圓拋光機(jī)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明提供了一種發(fā)光面板元器件加工用晶圓拋光機(jī)，解決了上述背景技術(shù)中提出的不易取下晶圓，晶圓取下后，殘留在工作臺(tái)上的冷卻液易進(jìn)入到真空吸盤(pán)等真空負(fù)壓設(shè)備內(nèi)；拋光機(jī)不具備清理工作臺(tái)的功能，設(shè)置在工作臺(tái)上的真空吸盤(pán)等真空負(fù)壓設(shè)備會(huì)影響工作臺(tái)的清理的問(wèn)題。
2、本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種發(fā)光面板元器件加工用晶圓拋光機(jī)，包括拋光室，所述拋光室內(nèi)腔的頂部設(shè)有拋光結(jié)構(gòu)，所述拋光室內(nèi)腔的一側(cè)設(shè)有冷卻液噴管，所述拋光室內(nèi)腔的底部固定連接有密封殼體，所述密封殼體頂部的中部設(shè)有貫穿孔，所述密封殼體的內(nèi)腔內(nèi)通過(guò)升降旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)連接有工作臺(tái)，所述工作臺(tái)的頂端通過(guò)貫穿孔延伸至密封殼體的外部，所述工作臺(tái)內(nèi)腔的頂部通過(guò)電動(dòng)伸縮桿一連接有真空吸盤(pán)組一，所述工作臺(tái)內(nèi)腔的底端通過(guò)電動(dòng)伸縮桿二連接有真空吸盤(pán)組二，所述工作臺(tái)內(nèi)腔的中部通過(guò)電動(dòng)伸縮桿三連接有升降板，所述升降板的頂部和底部均固定有密封柱，所述真空吸盤(pán)組一和真空吸盤(pán)組二兩者均均包括真空吸盤(pán)，真空吸盤(pán)上設(shè)有與密封柱適配的真空吸孔；
3、所述升降旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)包括與密封殼體內(nèi)腔頂部通過(guò)電動(dòng)伸縮桿五連接的移動(dòng)架、與移動(dòng)架活動(dòng)連接的轉(zhuǎn)動(dòng)管和與移動(dòng)架固定連接的真空泵，所述真空泵的進(jìn)風(fēng)端通過(guò)管道與一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)管的內(nèi)腔連通，所述工作臺(tái)內(nèi)腔的中部固定連接有進(jìn)風(fēng)環(huán)，所述進(jìn)風(fēng)環(huán)的外圈活動(dòng)套接有轉(zhuǎn)環(huán)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)管與轉(zhuǎn)環(huán)固定連接，且所述轉(zhuǎn)動(dòng)管的內(nèi)腔與工作臺(tái)的內(nèi)腔通過(guò)進(jìn)風(fēng)環(huán)連通；
4、所述密封殼體的內(nèi)腔通過(guò)電動(dòng)伸縮桿四連接有清理結(jié)構(gòu)，所述清理結(jié)構(gòu)包括與電動(dòng)伸縮桿四連接的接廢盒、與接廢盒頂部固定連接的密封環(huán)、與接廢盒內(nèi)腔活動(dòng)連接的注液管和與注液管頂部固定連接的清潔刷，所述清潔刷的刷柄為中空結(jié)構(gòu)，所述刷柄內(nèi)腔的頂部均勻設(shè)有排液孔，所述注液管的底部連接有伸縮管一，所述伸縮管一的另一端延伸至拋光室的外部，所述接廢盒的底部為中空結(jié)構(gòu)，所述接廢盒底部?jī)?nèi)腔的頂部均勻設(shè)有進(jìn)液孔，所述接廢盒底部的一側(cè)固定連接有排廢管，所述排廢管的另一端延伸至拋光室的外部。
5、優(yōu)選的，所述拋光室包括支撐臺(tái)、與支撐臺(tái)頂部固定連接的密封框和設(shè)置在密封框一側(cè)的開(kāi)合門(mén)，所述支撐臺(tái)、密封框和開(kāi)合門(mén)三者形成拋光室。
6、優(yōu)選的，所述升降旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)還包括伺服電機(jī)一，另一轉(zhuǎn)動(dòng)管通過(guò)伺服電機(jī)一進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
7、優(yōu)選的，所述支撐臺(tái)頂部的中部設(shè)有與清理結(jié)構(gòu)適配的凹槽，所述支撐臺(tái)的一側(cè)固定連接有排氣管，所述排氣管的頂部位于密封殼體內(nèi)腔的頂端。
8、優(yōu)選的，所述工作臺(tái)頂端的外圈和底端的外圈均固定連接有齒環(huán)，所述密封殼體內(nèi)腔的頂部固定連接有伺服電機(jī)二，所述伺服電機(jī)二的輸出軸末端固定連接有齒輪，所述齒輪與齒環(huán)適合。
9、優(yōu)選的，所述接廢盒底部的內(nèi)腔固定連接有伺服電機(jī)三，所述注液管通過(guò)伺服電機(jī)三進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
10、優(yōu)選的，所述齒環(huán)的外徑小于密封環(huán)的內(nèi)徑。
11、優(yōu)選的，所述密封柱的外表面包裹有密封墊，所述升降板一側(cè)的密封柱把真空吸孔堵住時(shí)，所述升降板另一側(cè)的密封柱與遠(yuǎn)離升降板的真空吸孔分離。
12、與現(xiàn)有技術(shù)對(duì)比，本發(fā)明具備以下有益效果：
13、1、該發(fā)光面板元器件加工用晶圓拋光機(jī)，通過(guò)工作臺(tái)的設(shè)置，真空吸盤(pán)的高度可發(fā)生改變，避免晶圓在取放過(guò)程中，殘留在工作臺(tái)上的冷卻液進(jìn)入到真空吸盤(pán)內(nèi)，且晶圓與真空吸盤(pán)之間的距離可發(fā)生改變，解除晶圓與真空吸盤(pán)之間緊密貼合的狀態(tài)，便于晶圓的取下。
14、2、該發(fā)光面板元器件加工用晶圓拋光機(jī)，通過(guò)清理結(jié)構(gòu)的設(shè)置，該晶圓拋光機(jī)在使用過(guò)程中，可實(shí)現(xiàn)對(duì)工作臺(tái)的清理，便于冷卻液沿著工作臺(tái)流動(dòng)，且工作臺(tái)在清理過(guò)程中可繼續(xù)使用，提高拋光機(jī)的工作效率。
1.一種發(fā)光面板元器件加工用晶圓拋光機(jī)，包括拋光室，其特征在于：所述拋光室內(nèi)腔的頂部設(shè)有拋光結(jié)構(gòu)（9），所述拋光室內(nèi)腔的一側(cè)設(shè)有冷卻液噴管（10），所述拋光室內(nèi)腔的底部固定連接有密封殼體（8），所述密封殼體（8）頂部的中部設(shè)有貫穿孔，所述密封殼體（8）的內(nèi)腔內(nèi)通過(guò)升降旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)連接有工作臺(tái)（11），所述工作臺(tái)（11）的頂端通過(guò)貫穿孔延伸至密封殼體（8）的外部，所述工作臺(tái)（11）內(nèi)腔的頂部通過(guò)電動(dòng)伸縮桿一（31）連接有真空吸盤(pán)組一（19），所述工作臺(tái)（11）內(nèi)腔的底端通過(guò)電動(dòng)伸縮桿二（26）連接有真空吸盤(pán)組二（25），所述工作臺(tái)（11）內(nèi)腔的中部通過(guò)電動(dòng)伸縮桿三（28）連接有升降板，所述升降板的頂部和底部均固定有密封柱（27），所述真空吸盤(pán)組一（19）和真空吸盤(pán)組二（25）兩者均包括真空吸盤(pán)，真空吸盤(pán)上設(shè)有與密封柱（27）適配的真空吸孔；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種發(fā)光面板元器件加工用晶圓拋光機(jī)，其特征在于：所述拋光室包括支撐臺(tái)（1）、與支撐臺(tái)（1）頂部固定連接的密封框（2）和設(shè)置在密封框（2）一側(cè)的開(kāi)合門(mén)（3），所述支撐臺(tái)（1）、密封框（2）和開(kāi)合門(mén)（3）三者形成拋光室。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種發(fā)光面板元器件加工用晶圓拋光機(jī)，其特征在于：所述升降旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)還包括伺服電機(jī)一（20），另一轉(zhuǎn)動(dòng)管（14）通過(guò)伺服電機(jī)一（20）進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種發(fā)光面板元器件加工用晶圓拋光機(jī)，其特征在于：所述支撐臺(tái)（1）頂部的中部設(shè)有與清理結(jié)構(gòu)適配的凹槽，所述支撐臺(tái)（1）的一側(cè)固定連接有排氣管（4），所述排氣管（4）的頂部位于密封殼體（8）內(nèi)腔的頂端。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種發(fā)光面板元器件加工用晶圓拋光機(jī)，其特征在于：所述工作臺(tái)（11）頂端的外圈和底端的外圈均固定連接有齒環(huán)（24），所述密封殼體（8）內(nèi)腔的頂部固定連接有伺服電機(jī)二（21），所述伺服電機(jī)二（21）的輸出軸末端固定連接有齒輪（15），所述齒輪（15）與齒環(huán)（24）適合。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種發(fā)光面板元器件加工用晶圓拋光機(jī)，其特征在于：所述接廢盒（17）底部的內(nèi)腔固定連接有伺服電機(jī)三（22），所述注液管通過(guò)伺服電機(jī)三（22）進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種發(fā)光面板元器件加工用晶圓拋光機(jī)，其特征在于：所述齒環(huán)（24）的外徑小于密封環(huán)（16）的內(nèi)徑。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種發(fā)光面板元器件加工用晶圓拋光機(jī)，其特征在于：所述密封柱（27）的外表面包裹有密封墊，所述升降板一側(cè)的密封柱（27）把真空吸孔堵住時(shí)，所述升降板另一側(cè)的密封柱（27）與遠(yuǎn)離升降板的真空吸孔分離。