本實(shí)用新型涉及磁控濺射真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種平面靶材固定壓緊裝置。

背景技術(shù)：

近年來(lái)，隨著科學(xué)的發(fā)展，技術(shù)的進(jìn)步，表面科學(xué)和納米薄膜變的越來(lái)越受重視，大到航空航天，小到手機(jī)手表，越來(lái)越多的薄膜技術(shù)被應(yīng)用，而獲取薄膜的技術(shù)也在不斷的發(fā)展和進(jìn)步，現(xiàn)如今，磁控濺射技術(shù)已經(jīng)被廣泛應(yīng)用，為了獲得各種性能的薄膜，這種技術(shù)日新月異。這種技術(shù)的關(guān)鍵在于可以通過(guò)不同種的電源，在基材上進(jìn)行各種各樣材料的鍍膜，獲得各種不同材料的納米級(jí)的薄膜，所以靶材是這項(xiàng)技術(shù)的重中之重。

對(duì)于鍍膜生產(chǎn)企業(yè)來(lái)說(shuō)，時(shí)間是生產(chǎn)最重要的一項(xiàng)因素，而靶材的更換和維護(hù)嚴(yán)重的影響了生產(chǎn)效率，所以提高靶材的更換和維護(hù)速度是很關(guān)鍵的一個(gè)環(huán)節(jié)。

常規(guī)平面靶材需要壓緊板對(duì)靶材進(jìn)行固定，防止靶材移動(dòng)造成不良后果，然而這種壓板一般都是通過(guò)螺栓固定，拆卸靶材時(shí)需將把壓板的螺栓全部擰下，把壓緊板全部卸下后才能取出靶材。之后安裝靶材時(shí)還需要將所有壓板安裝好，擰好所有螺栓才能完成靶材的更換。通常這種壓緊板需要將靶材牢牢固定住，所以螺絲的數(shù)量較多，造成任務(wù)量大，更換靶材非常浪費(fèi)時(shí)間，嚴(yán)重影響了生產(chǎn)進(jìn)度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種平面靶材固定壓緊裝置，以快速對(duì)靶材進(jìn)行安裝壓緊和拆卸，節(jié)約時(shí)間，降低成本。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種平面靶材固定壓緊裝置，該平面靶材固定壓緊裝置包括：壓緊裝置主體，至少一彈簧氣脹壓緊組件，至少一安裝維護(hù)部件及設(shè)置在所述壓緊裝置主體內(nèi)的壓縮空氣氣路；

所述壓緊裝置主體上設(shè)置有用于安裝所述彈簧氣脹壓緊組件的安裝槽，以及壓縮空氣氣嘴；所述壓縮空氣氣嘴安裝在與所述壓縮空氣氣路連接的氣嘴孔上，所述壓縮空氣氣路通過(guò)一氣管與所述安裝槽聯(lián)通；

所述彈簧氣脹壓緊組件包括壓緊板及彈簧，所述彈簧一端固定在所述壓緊板的底座上，所述壓緊板在壓縮空氣或者彈簧的推動(dòng)下沿所述安裝槽移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)平面靶材的安裝及壓緊；

所述安裝維護(hù)部件固定在所述壓緊裝置主體上，位于所述安裝槽的開(kāi)口處，與所述彈簧的另一端接觸。

一實(shí)施例中，所述彈簧氣脹壓緊組件還包括：唇形密封圈，套設(shè)在所述壓緊板底座的凹槽中。

一實(shí)施例中，所述壓縮空氣氣嘴的個(gè)數(shù)為2，分別設(shè)置在所述壓緊裝置主體側(cè)面的上部。

一實(shí)施例中，所述安裝維護(hù)部件具有一用于對(duì)所述壓緊板進(jìn)行導(dǎo)向的限位部。

一實(shí)施例中，所述壓緊板的底座上設(shè)有一臺(tái)階部，所述安裝槽的開(kāi)口處設(shè)有凸起部，所述凸起部與所述臺(tái)階部配合，對(duì)所述壓緊板進(jìn)行限位。

一實(shí)施例中，所述壓縮空氣氣嘴尾部設(shè)有螺紋，與所述氣嘴孔螺紋連接。

一實(shí)施例中，所述平面靶材固定壓緊裝置固定在靶材底座上，當(dāng)平面靶材安裝完成后，所述彈簧氣脹壓緊組件的壓緊板抵壓在平面靶材上。

一實(shí)施例中，當(dāng)通過(guò)所述壓縮空氣氣嘴鼓入壓縮空氣時(shí)，壓縮空氣首先進(jìn)入所述壓縮空氣氣路，然后通過(guò)氣管進(jìn)入所述安裝槽，克服所述彈簧推力，推動(dòng)所述壓緊板沿所述安裝槽移動(dòng)，進(jìn)入所述平面靶材的安裝或更換狀態(tài)。

一實(shí)施例中，當(dāng)所述平面靶材的安裝或更換后，通過(guò)按壓所述壓縮空氣氣嘴排出所述壓縮空氣，所述壓緊板受所述彈簧推力作用沿安裝槽移動(dòng)，使得所述壓緊板壓緊所述平面靶材。

本實(shí)用新型實(shí)施例的平面靶材固定壓緊裝置，利用彈簧和氣脹的方式壓緊代替常規(guī)的螺絲壓緊板壓緊，不僅減少拆卸壓緊板帶來(lái)的工作量，而且極大的節(jié)約了工作時(shí)間。另外，該平面靶材固定壓緊裝置工作時(shí)減小了內(nèi)外的壓強(qiáng)差，大大增加了使用壽命。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的平面靶材固定壓緊裝置的剖視圖一；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的平面靶材固定壓緊裝置的上視圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例的平面靶材固定壓緊裝置壓緊平面靶材示意圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例的平面靶材固定壓緊裝置的主視圖；

圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例的平面靶材固定壓緊裝置的剖視圖二；

圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例的平面靶材固定壓緊裝置的壓縮空氣氣路的透視圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的平面靶材固定壓緊裝置的剖視圖一。圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的平面靶材固定壓緊裝置的上視圖。如圖1及圖2所示，該平面靶材固定壓緊裝置1包括：壓緊裝置主體11，至少一彈簧氣脹壓緊組件3，至少一安裝維護(hù)部件4及設(shè)置在壓緊裝置主體11內(nèi)的壓縮空氣氣路2。

壓緊裝置主體11上經(jīng)過(guò)機(jī)械加工，內(nèi)部設(shè)置有用于安裝彈簧氣脹壓緊組件3的安裝槽6，還設(shè)置有壓縮空氣氣嘴5以及用于固定與其連接的各個(gè)部件的螺栓孔。壓縮空氣氣嘴5安裝在與所述壓縮空氣氣路連接的氣嘴孔9上，壓縮空氣氣路2通過(guò)一氣管21與安裝槽6聯(lián)通。

一實(shí)施例中，壓縮空氣氣嘴5的個(gè)數(shù)為2，分別設(shè)置在壓緊裝置主體11側(cè)面的上部，如圖2及圖6所示。壓縮空氣氣嘴5發(fā)尾部可以設(shè)有螺紋，與之對(duì)應(yīng)的，可以在氣嘴孔9的內(nèi)表面設(shè)有螺紋，壓縮空氣氣嘴5與氣嘴孔9螺紋連接。

彈簧氣脹壓緊組件3包括壓緊板31及彈簧33，彈簧一端固定在壓緊板31的底座34上，壓緊板31可在壓縮空氣或者彈簧的推動(dòng)下沿安裝槽移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)平面靶材的安裝及壓緊。

安裝維護(hù)部件4固定在壓緊裝置主體11上，位于安裝槽6的開(kāi)口處，與彈簧33的另一端接觸，以抵住彈簧33。安裝維護(hù)部件4可以通過(guò)螺栓41固定在壓緊裝置主體11上。

一實(shí)施例中，安裝維護(hù)部件4具有一用于對(duì)壓緊板31進(jìn)行導(dǎo)向的限位部42。

壓緊裝置主體11、壓縮空氣氣體管路2及彈簧氣脹壓緊組件3構(gòu)成了一個(gè)密封的氣脹腔室。一實(shí)施例中，為了提高密封性，彈簧氣脹壓緊組件上還可以設(shè)有唇形密封圈32，唇形密封圈32套設(shè)在壓緊板31的底座的凹槽36中。

壓緊板31的底座上設(shè)有一臺(tái)階部35，安裝槽6的開(kāi)口處設(shè)有凸起12，凸起部12與臺(tái)階部35配合，對(duì)壓緊板31進(jìn)行限位。

具體實(shí)施時(shí)，如圖3所示，平面靶材固定壓緊裝置1固定在靶材底座7上，彈簧氣脹壓緊組件的壓緊板抵壓在平面靶材上。圖3中，平面靶材固定壓緊裝置1的個(gè)數(shù)為2個(gè)，通過(guò)平面靶材固定壓緊裝置1，可以壓緊平面靶材8的兩端。

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例的平面靶材固定壓緊裝置的主視圖。如圖4所示，平面靶材固定壓緊裝置1可以通過(guò)螺栓6固定在靶材底座7上。

圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例的平面靶材固定壓緊裝置的剖視圖二，如圖1所示，平面靶材固定壓緊裝置1的狀態(tài)為壓緊狀態(tài)，如圖5所示，平面靶材固定壓緊裝置1的狀態(tài)為松開(kāi)狀態(tài)。圖1中，通過(guò)向安裝在壓縮空氣鼓入氣嘴孔9(如圖6)上的壓縮空氣氣嘴5鼓入壓縮空氣(可用壓縮空氣槍沖入氣體，按壓即可排出氣體)，壓縮空氣首先進(jìn)入壓縮空氣氣路2，然后通過(guò)與壓縮空氣氣路2連通的氣管21進(jìn)入安裝槽6中，密封的安裝槽6膨脹，克服彈簧33的推力，將壓緊板31沿著安裝槽6的路徑推開(kāi)，直至到達(dá)限位位置，平面靶材壓緊裝置1完全到達(dá)工作位置(即達(dá)到如圖5所示的狀態(tài))，此時(shí)彈簧處于壓縮狀態(tài)，這時(shí)可以進(jìn)行靶材更換工作。靶材安裝好之后，通過(guò)按壓壓縮空氣氣嘴5排出壓縮空氣，壓緊板31受彈簧33推力作用在安裝槽內(nèi)伸長(zhǎng)，彈簧33緊緊抵住壓緊板31，使得壓緊板31壓緊平面靶材8，平面靶材固定壓緊裝置1已經(jīng)將平面靶材8固定，如圖1所示。

本實(shí)用新型實(shí)施例的平面靶材固定壓緊裝置，利用彈簧和氣脹的方式壓緊代替常規(guī)的螺絲壓緊板壓緊，不僅減少拆卸壓緊板帶來(lái)的工作量，而且極大的節(jié)約了工作時(shí)間(可以使10分鐘到30分鐘甚至更多的工作時(shí)間縮短到幾秒鐘)。另外，該平面靶材固定壓緊裝置工作時(shí)減小了內(nèi)外的壓強(qiáng)差，大大增加了使用壽命。

本實(shí)用新型中應(yīng)用了具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本實(shí)用新型的方法及其核心思想；同時(shí)，對(duì)于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本實(shí)用新型的思想，在具體實(shí)施方式及應(yīng)用范圍上均會(huì)有改變之處，綜上所述，本說(shuō)明書(shū)內(nèi)容不應(yīng)理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。