技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種納米復(fù)合涂層及其制備技術(shù)，具體地說(shuō)是一種CrAlSiN納米復(fù)合涂層的制備工藝。采用高功率脈沖與直流脈沖共濺射技術(shù)在金屬或硬質(zhì)合金基體上制備CrAlSiN納米復(fù)合涂層。選用純金屬Cr、Al和Si（純度均為99.99?wt.%）作為靶材，其中，高功率脈沖選用Cr靶，直流脈沖濺射選用Al靶和Si靶。鍍膜前先通入Ar氣，采用?800?V偏壓，對(duì)基片進(jìn)行輝光清洗10~30?min。隨后開(kāi)啟三個(gè)靶材，對(duì)基體和靶材表面進(jìn)行轟擊清洗，并逐漸降低偏壓至?30~100V。關(guān)閉Al靶和Si靶，沉積純Cr過(guò)渡層10~40min。通入反應(yīng)氣體N2，并開(kāi)啟Al靶和Si靶，沉積CrAlSiN涂層120~360?min。本發(fā)明涉及的CrAlSiN納米復(fù)合涂層綜合性能好，制備工藝簡(jiǎn)單，成分可控，重復(fù)性好，容易工業(yè)化生產(chǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：范其香;王鐵鋼;吳正環(huán);王政權(quán);劉艷梅;張濤
受保護(hù)的技術(shù)使用者：天津職業(yè)技術(shù)師范大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.30
技術(shù)公布日：2017.09.05