技術特征：

技術總結
本發(fā)明公開了一種氣相沉積設備，包括腔體、第一電極、第二電極以及進氣管，所述腔體上開設有進氣口和排氣口，所述第一電極、所述第二電極設于所述腔體內(nèi)且分別接高頻交流電和接地，所述第一電極設于所述進氣口所在側(cè)，所述第二電極與所述第一電極平行且相對設置；所述第一電極包括朝向所述進氣口的第一開口和背向所述進氣口、與所述第一開口連通的第二開口，所述進氣管自所述進氣口引入并連接在所述第一開口。本發(fā)明的第一電極上具有連通進氣管的第一開口和噴出氣體的第二開口，通過將第一電極外接高頻交流電，即可將通入的氣體朝第一電極與第二電極的間隙噴出，不需要額外設計噴頭，減少了零部件數(shù)量，也減小了設備體積。

技術研發(fā)人員：劉鳳舉
受保護的技術使用者：武漢華星光電技術有限公司
技術研發(fā)日：2017.06.28
技術公布日：2017.10.20