技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及離子滲氮裝置，尤其涉及一種實(shí)現(xiàn)工件氮化均溫的離子滲氮裝置，其包括爐體、爐底盤、多功能活性屏、上傳動(dòng)系統(tǒng)、下傳動(dòng)系統(tǒng)、進(jìn)氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)，其特征在于，爐體為圓筒形，爐底盤為圓盤形，爐體放置于爐底盤正上方形成爐腔；多功能活性屏垂直懸掛于爐腔內(nèi)，上傳動(dòng)系統(tǒng)固定于爐體頂部，上傳動(dòng)系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)多功能活性屏順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)；下傳動(dòng)系統(tǒng)固定于爐底盤，下傳動(dòng)系統(tǒng)帶動(dòng)工件逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)；進(jìn)氣系統(tǒng)由上傳動(dòng)系統(tǒng)的進(jìn)氣部分和多功能活性屏的進(jìn)氣部分組成；抽氣系統(tǒng)由主抽氣管和分抽氣管組成。本發(fā)明設(shè)計(jì)的離子滲氮裝置有效提升進(jìn)氣與抽氣的均勻性、提高氣體的分解率、穩(wěn)定陰陽(yáng)極之間的距離，從而實(shí)現(xiàn)工件氮化溫度的均一性，保證滲氮層厚度及性能的一致性。本發(fā)明涉及的裝置也適合材料表面的物理氣相沉積及化學(xué)氣相沉積。

技術(shù)研發(fā)人員：王劍;黃帥;周榆力
受保護(hù)的技術(shù)使用者：西華大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.15
技術(shù)公布日：2017.09.19