本發(fā)明涉及蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種掩膜組件及其組裝方法。

背景技術(shù)：

目前，OLED(Organic Light Emitting Diode，有機(jī)發(fā)光二極管)顯示裝置由于具有自發(fā)光、反應(yīng)快、亮度高、輕薄等諸多優(yōu)點(diǎn)，而得到越來越廣泛的應(yīng)用。

其中，OLED在制作時(shí)常采用蒸鍍工藝、噴墨打印工藝等方式，而在制作小尺寸有機(jī)電致發(fā)光二極管顯示面板(OLED Panel)的過程中，蒸鍍工藝中所使用的蒸鍍掩膜板(Mask)起到尤其重要的作用。傳統(tǒng)的蒸鍍掩膜板分為開口掩膜板(Open Mask)和精細(xì)金屬掩膜板(Fine Metal Mask，簡稱FMM)，包含有開口掩膜板的掩膜組件制作時(shí)技術(shù)難度較低，而包含有FMM的掩膜組件制作時(shí)技術(shù)難度極大。包含有FMM的掩膜組件通常由框架(Frame)、支撐條(Howling)以及FMM等組成。

然而，傳統(tǒng)的支撐條由于厚度較大，因而支撐條在張網(wǎng)時(shí)需要較大的張網(wǎng)力，而較大的張網(wǎng)力容易使支撐條變形，例如使支撐條彎曲(Howling Bending)，這樣便很難保證支撐條具有良好的直線度，從而影響了支撐條的張網(wǎng)精度(支撐條在框架上的實(shí)際位置與預(yù)設(shè)位置的差距)，而張網(wǎng)精度的降低會(huì)導(dǎo)致支撐條的遮擋精度(支撐條的實(shí)際遮擋區(qū)域與預(yù)設(shè)遮擋區(qū)域差距)降低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的實(shí)施例提供一種掩膜組件及其組裝方法，相對(duì)現(xiàn)有技術(shù)，可提高第一支撐條的張網(wǎng)精度和遮擋精度。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案：

一方面，提供一種掩膜組件，包括：框架，所述框架具有中空區(qū)域；掩膜板，所述掩膜板跨設(shè)于所述框架的中空區(qū)域，且所述掩膜板的相對(duì)兩端固定在所述框架上；第一支撐條，用于支撐所述掩膜板；所述第一支撐條包括層疊設(shè)置的第一子支撐條和第二子支撐條，所述第一子支撐條和所述第二子支撐條跨設(shè)于所述框架的中空區(qū)域，且所述第一子支撐條的相對(duì)兩端和所述第二子支撐條的相對(duì)兩端均固定在所述框架上；其中，所述第一子支撐條在所述第二子支撐條上的正投影位于所述第二子支撐條內(nèi)；所述第二子支撐條的厚度小于所述第一子支撐條的厚度。

優(yōu)選的，所述掩膜組件包括至少兩個(gè)第一支撐條；所述第一支撐條之間相互平行。

優(yōu)選的，所述掩膜組件還包括：固定在所述框架上的輔助件，所述輔助件具有標(biāo)記圖案。

進(jìn)一步優(yōu)選的，所述輔助件包括兩個(gè)輔助條，兩個(gè)所述輔助條分別設(shè)置在所述框架的相對(duì)兩邊，每個(gè)所述輔助條背離所述框架的一側(cè)的兩端設(shè)置有孔洞。

優(yōu)選的，所述第一子支撐條的寬度比所述第二子支撐條的寬度小300μm-500μm。

優(yōu)選的，所述掩膜板為精細(xì)金屬掩膜板，所述精細(xì)金屬掩膜板包括多個(gè)相互平行的掩膜條。

進(jìn)一步優(yōu)選的，所述第一支撐條與所述掩膜條相互垂直。

優(yōu)選的，所述掩膜組件還包括第二支撐條；所述第二支撐條跨設(shè)于所述框架的中空區(qū)域，且所述第二支撐條的相對(duì)兩端固定在所述框架上；其中，所述第二支撐條與所述第一支撐條交叉設(shè)置。

進(jìn)一步優(yōu)選的，所述第二支撐條包括疊層設(shè)置的第三子支撐條和第四子支撐條；其中，所述第三子支撐條在所述第四子支撐條上的正投影位于所述第四子支撐條內(nèi)；所述第四子支撐條的厚度小于所述第三子支撐條的厚度。

優(yōu)選的，所述掩膜板為精細(xì)金屬掩膜板，所述精細(xì)金屬掩膜板包括多個(gè)相互平行的掩膜條，所述掩膜條與所述第二支撐條平行，所述第二支撐條設(shè)置在相鄰所述掩膜條之間的間隙位置處。

另一方面，提供一種掩膜組件的組裝方法，包括：將第一子支撐條跨設(shè)于框架的中空區(qū)域，并將所述第一子支撐條的相對(duì)兩端固定在所述框架上；將第二子支撐條設(shè)置在所述第一子支撐條上方，并將所述第二子支撐條的相對(duì)兩端固定在所述框架上，所述第一子支撐條在所述第二子支撐條上的正投影位于所述第二子支撐條內(nèi)，所述第二子支撐條的厚度小于所述第一子支撐條的厚度；其中，所述第一子支撐條和所述第二子支撐條構(gòu)成第一支撐條；將掩膜板跨設(shè)于所述框架的中空區(qū)域，并將所述掩膜板的相對(duì)兩端固定在所述框架上。

優(yōu)選的，在將第一子支撐條的相對(duì)兩端固定在框架上之后，將第二子支撐條的相對(duì)兩端固定在所述框架上之前，所述組裝方法還包括：將兩個(gè)輔助條分別設(shè)置在所述框架的相對(duì)兩邊，所述輔助條背離所述框架的一側(cè)的兩端設(shè)置有孔洞；將所述第二子支撐條的相對(duì)兩端固定在所述框架上，具體包括：根據(jù)所述孔洞確定所述第二子支撐條在所述框架上的固定位置，并固定所述第二子支撐條的相對(duì)兩端；將所述掩膜板的相對(duì)兩端固定在所述框架上，具體包括：根據(jù)所述孔洞確定所述掩膜板在所述框架上的固定位置，并固定所述掩膜板的相對(duì)兩端。

優(yōu)選的，在將第一子支撐條的相對(duì)兩端固定在框架上之前，所述組裝方法還包括：將第二支撐條跨設(shè)于所述框架的中空區(qū)域，并將所述第二支撐條的相對(duì)兩端固定在所述框架上。

進(jìn)一步優(yōu)選的，在將第一子支撐條的相對(duì)兩端固定在框架上之前，所述組裝方法具體還包括：將第三子支撐條跨設(shè)于所述框架的中空區(qū)域，并將所述第三子支撐條的相對(duì)兩端固定在框架上；將第四子支撐條設(shè)置在所述第三子支撐條上方，并將所述第四子支撐條的相對(duì)兩端固定在所述框架上，所述第三子支撐條在所述第四子支撐條上的正投影位于所述第四子支撐條內(nèi)，所述第四子支撐條的厚度小于所述第三支撐條的厚度；其中，所述第三子支撐條和所述第四子支撐條構(gòu)成第二支撐條。

本發(fā)明實(shí)施例提供一種掩膜組件及其組裝方法，掩膜組件中的第一支撐條為雙層，第一支撐條包括層疊設(shè)置的第一子支撐條和第二子支撐條，由于第一子支撐條的厚度大于第二子支撐條的厚度，因而第一子支撐條與現(xiàn)有技術(shù)中支撐條的作用相同，可以用于起支撐掩膜板的作用。在此基礎(chǔ)上，由于第二子支撐條的厚度小于第一子支撐條的厚度，因而第二子支撐條在張網(wǎng)時(shí)所需的張網(wǎng)力較小，這樣便可以避免第二子支撐條變形，因而第二子支撐條具有較高的張網(wǎng)精度和遮擋精度。此外，第一子支撐條在第二子支撐條上的正投影位于第二子支撐條內(nèi)，由于第二子支撐條具有較高的遮擋精度和張網(wǎng)精度，因而第一支撐條具有較高的張網(wǎng)精度和遮擋精度，因此相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明實(shí)施例提高了第一支撐條的張網(wǎng)精度和遮擋精度。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種掩膜組件的結(jié)構(gòu)示意圖一；

圖2(a)為圖1中AA′向剖視示意圖；

圖2(b)為圖1中BB′向剖視示意圖；

圖3(a)為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種掩膜組件的結(jié)構(gòu)示意圖二；

圖3(b)為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種掩膜組件的結(jié)構(gòu)示意圖三；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種掩膜組件的結(jié)構(gòu)示意圖四；

圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種掩膜組件的結(jié)構(gòu)示意圖五；

圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種掩膜組件的結(jié)構(gòu)示意圖六；

圖7為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種掩膜組件的組裝方法的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種在框架上固定第一子支撐條的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種在框架上固定第一子支撐條和第二子支撐條的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖10為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種在框架上固定輔助條的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖11本發(fā)明實(shí)施例提供的一種在框架上固定第二支撐條的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖12本發(fā)明實(shí)施例提供的一種在框架上固定第三子支撐條和第四子支撐條的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記：

10-框架；20-掩膜板；201-掩膜條；30-第一支撐條；301-第一子支撐條；302-第二子支撐條；40-輔助件；401-標(biāo)記圖案(孔洞)；402-輔助條；50-第二支撐條；501-第三子支撐條；502-第四子支撐條。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

現(xiàn)有技術(shù)中常利用掩膜組件在待蒸鍍基板上形成圖案，為了確保待蒸鍍基板上有效區(qū)域(當(dāng)待蒸鍍基板為顯示基板時(shí)，有效區(qū)域例如可以是顯示區(qū)域)形成的圖案準(zhǔn)確、均勻，因而一般還會(huì)在有效區(qū)域的周圍也形成圖案，該部分圖案所在的區(qū)域稱為Dummy(虛擬)區(qū)域。為了能夠在待蒸鍍基板的有效區(qū)域和Dummy區(qū)域均形成圖案，因而掩膜組件的掩膜板的有效區(qū)域(與待蒸鍍基板的有效區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域)和Dummy區(qū)域(與待蒸鍍基板的Dummy區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域)均設(shè)置有圖案。而掩膜組件在制作過程中，需要支撐條對(duì)掩膜板進(jìn)行支撐，以防止掩膜板下垂后，利用該掩膜組件形成的圖案不精確。支撐條對(duì)掩膜板支撐時(shí)，會(huì)與掩膜板有重疊區(qū)域，可對(duì)掩膜板進(jìn)行遮擋?，F(xiàn)有技術(shù)中，為了避免支撐條影響Dummy區(qū)域，因而支撐條與掩膜板的相對(duì)設(shè)置位置以及支撐條在掩膜板上的遮擋區(qū)域都是預(yù)先設(shè)置的，這樣在制作掩膜組件時(shí)，可以根據(jù)預(yù)先設(shè)置的位置固定掩膜板和支撐條。然而，由于傳統(tǒng)的支撐條厚度較大，在張網(wǎng)時(shí)易發(fā)生變形，因而會(huì)影響支撐條的張網(wǎng)精度和遮擋精度。

基于此，本發(fā)明實(shí)施例提供一種掩膜組件，如圖1-圖6所示，包括:框架10，框架10具有中空區(qū)域；掩膜板20，掩膜板20跨設(shè)于框架10的中空區(qū)域，且掩膜板20的相對(duì)兩端固定在框架10上；第一支撐條30，用于支撐掩膜板20；第一支撐條30包括層疊設(shè)置的第一子支撐條301和第二子支撐條302，第一子支撐條301和第二子支撐條302跨設(shè)于框架10的中空區(qū)域，且第一子支撐條301的相對(duì)兩端和第二子支撐條302的相對(duì)兩端均固定在框架10上；其中，如圖2(a)和圖2(b)所示(附圖2(a)和附圖2(b)分別是圖1中AA′向和BB′向的剖視示意圖)，第一子支撐條301在第二子支撐條302上的正投影位于第二子支撐條302內(nèi)；第二子支撐條302的厚度小于第一子支撐條301的厚度。

需要說明的是，第一，對(duì)于框架10中空區(qū)域的形狀不進(jìn)行限定，例如可以是矩形，也可以是圓形，中空區(qū)域的形狀可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)置。

第二，對(duì)于掩膜板20的類型不進(jìn)行限定，掩膜板20可以是如圖3(b)所示為精細(xì)金屬掩膜板，也可以是如圖3(a)所示為開口掩膜板。當(dāng)掩膜板20為精細(xì)金屬掩膜板時(shí)，精細(xì)金屬掩膜板可以包括多個(gè)掩膜條201。

第三，第一子支撐條301在第二子支撐條302上的正投影位于第二子支撐條302內(nèi)，但對(duì)于第一子支撐條301的寬度與第二子支撐條302的寬度的差值不進(jìn)行限定，應(yīng)以第一子支撐條301能夠支撐掩膜板20，且第一子支撐條301在張網(wǎng)固定到框架10上的過程，即使第一子支撐條301變形，變形后的第一子支撐條301在第二子支撐條302上的正投影也應(yīng)在第二子支撐條302內(nèi)。

本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，支撐條的厚度越小，支撐條在張網(wǎng)時(shí)所需要使用的張網(wǎng)力越小，而張網(wǎng)力越小，支撐條越不容易變形。本發(fā)明實(shí)施例中，由于第二子支撐條302的厚度小于第一子支撐條301的厚度，因而相對(duì)于第一子支撐條301，第二子支撐條302不易變形。為了防止第二子支撐條302變形，本發(fā)明實(shí)施例優(yōu)選，在第二子支撐條302能夠起到遮擋的條件下，第二子支撐條302的厚度應(yīng)盡可能地薄。

在此基礎(chǔ)上，對(duì)于第一支撐條30的個(gè)數(shù)應(yīng)根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)置，第一支撐條30的個(gè)數(shù)越多，掩膜板20的下垂量越小，此處設(shè)置的第一支撐條30應(yīng)不影響掩膜組件的正常蒸鍍。

第四，掩膜板20和第一支撐條30可以通過焊接的方式固定在框架10上。

本發(fā)明實(shí)施例提供一種掩膜組件，掩膜組件中的第一支撐條30為雙層，第一支撐條30包括層疊設(shè)置的第一子支撐條301和第二子支撐條302，由于第一子支撐條301的厚度大于第二子支撐條302的厚度，因而第一子支撐條301與現(xiàn)有技術(shù)中支撐條的作用相同，可以用于起支撐掩膜板20的作用。在此基礎(chǔ)上，第一支撐條30還包括第二子支撐條302，由于第二子支撐條302的厚度小于第一子支撐條301的厚度，因而第二子支撐條302在張網(wǎng)時(shí)所需的張網(wǎng)力較小，這樣便可以避免第二子支撐條302變形，因而第二子支撐條302具有較高的張網(wǎng)精度和遮擋精度。此外，第一子支撐條301在第二子支撐條302上的正投影位于第二子支撐條302內(nèi)，由于第二子支撐條302具有較高的遮擋精度和張網(wǎng)精度，因而第一支撐條30具有較高的張網(wǎng)精度和遮擋精度，因此相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明實(shí)施例提高了第一支撐條30的張網(wǎng)精度和遮擋精度。

由于第一支撐條30的個(gè)數(shù)越多，掩膜板20的下垂量越少，因而本發(fā)明實(shí)施例優(yōu)選的，如圖1以及圖3(a)-圖6所示，掩膜組件包括至少兩個(gè)第一支撐條30；第一支撐條30之間相互平行。

其中，掩膜組件可以包括兩個(gè)第一支撐條30，也可以包括三個(gè)或三個(gè)以上第一支撐條30。

本發(fā)明實(shí)施例的掩膜組件包括至少兩個(gè)第一支撐條30，因而相對(duì)于僅設(shè)置一個(gè)第一支撐條30，本發(fā)明實(shí)施例利用多個(gè)第一支撐條30對(duì)掩膜板20進(jìn)行支撐，因此可以有效防止掩膜板20下垂。

由于第一支撐條30和掩膜板20在框架10上都有預(yù)設(shè)位置，為了確保掩膜組件在制作過程中，第一支撐條30和掩膜板20都能準(zhǔn)確地固定到其對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)位置，因而本發(fā)明實(shí)施例優(yōu)選的，如圖3(a)-圖6所示，掩膜組件還包括：固定在框架10上的輔助件40，輔助件40具有標(biāo)記圖案401(Align)。

其中，對(duì)于輔助件40和輔助件40上標(biāo)記圖案401的形狀、設(shè)置位置以及標(biāo)記圖案401的個(gè)數(shù)均不進(jìn)行限定，以能將第一支撐條30和掩膜板20準(zhǔn)確地固定到其對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)位置為準(zhǔn)。

本發(fā)明實(shí)施例，由于掩膜組件還包括輔助件40，輔助件40上設(shè)置有標(biāo)記圖案401，因而掩膜板20以及第二子支撐條302均可以根據(jù)該標(biāo)記圖案401建立的坐標(biāo)系進(jìn)行張網(wǎng)，確定掩膜板20以及第二子支撐條302在框架10上的固定位置，并將掩膜板20和第二子支撐條302固定在框架10上。在此基礎(chǔ)上，由于掩膜板20和第二子支撐條302是根據(jù)同一標(biāo)記圖案確定掩膜板20和第二子支撐條302在框架10上的固定位置并固定的，因而可以提高第二子支撐條302和掩膜板20的匹配精度，進(jìn)而可以最大程度地保證第二子支撐條302的遮擋精度。

進(jìn)一步優(yōu)選的，如圖3(a)-圖6所示，輔助件40包括兩個(gè)輔助條402，兩個(gè)輔助條402分別設(shè)置在框架10的相對(duì)兩邊，每個(gè)輔助條402背離框架10的一側(cè)的兩端設(shè)置有孔洞(Align hole)401。

其中，輔助條402背離框架10的一側(cè)的兩端設(shè)置有空洞401，該空洞401相當(dāng)于標(biāo)記圖案。

此處，對(duì)于第一支撐條30與輔助條402的設(shè)置位置關(guān)系不進(jìn)行限定，輔助條402可以和第一支撐條30垂直，輔助條402也可以和第一支撐條30平行。本發(fā)明實(shí)施例優(yōu)選，第一支撐條30與輔助條402垂直。

本發(fā)明實(shí)施例，輔助件40包括兩個(gè)輔助條402，每個(gè)輔助條402背離框架10的一側(cè)的兩端設(shè)置有孔洞401，相當(dāng)于輔助件40上設(shè)置有四個(gè)標(biāo)記圖案，因而在將掩膜板20和第二子支撐條302固定在框架10上時(shí)，可以根據(jù)這四個(gè)標(biāo)記圖案建立坐標(biāo)系，以便于更精確地確定掩膜板20在框架10上的固定位置以及第二子支撐條302在框架10上的固定位置。

當(dāng)?shù)谝蛔又螚l301的寬度與第二子支撐條302的寬度的差值太小時(shí)，若第一子支撐301在張網(wǎng)過程中變形較大，則第一子支撐條301在第二子支撐條302上的正投影可能會(huì)超出第二子支撐條302的邊界，這樣便會(huì)影響第一支撐條30的遮擋精度；當(dāng)?shù)谝蛔又螚l301的寬度與第二子支撐條302的寬度的差值太大時(shí)，或者，第一子支撐條301的寬度很小，這樣會(huì)影響第一子支撐條301對(duì)掩膜板20的支撐效果，或者，第二子支撐條302的寬度很大，這樣可能會(huì)遮擋掩膜板20的Dummy區(qū)域，導(dǎo)致掩膜板Dummy區(qū)域減小。

基于此，本發(fā)明實(shí)施例優(yōu)選的，第一子支撐條301的寬度比第二子支撐302條的寬度小300μm-500μm。

優(yōu)選的，如圖3(b)所示，掩膜板20為精細(xì)金屬掩膜板，精細(xì)金屬掩膜板包括多個(gè)相互平行的掩膜條(FMM Sheet)201。

其中，對(duì)于掩膜板20中包括的掩膜條201的個(gè)數(shù)不進(jìn)行限定，可以根據(jù)需要進(jìn)行相應(yīng)設(shè)置。本發(fā)明說明書附圖3(b)中以設(shè)置四個(gè)掩膜條為例進(jìn)行示意。

此外，對(duì)于掩膜條201和第一支撐條30的位置關(guān)系不進(jìn)行限定，掩膜條201可以和第一支撐條30平行設(shè)置，也可以和第一支撐條30交叉設(shè)置。由于掩膜條201的長度遠(yuǎn)大于其寬度，因而當(dāng)?shù)谝恢螚l30與掩膜條201交叉設(shè)置時(shí)，可以更好地對(duì)掩膜條201進(jìn)行支撐，因而本發(fā)明實(shí)施例優(yōu)選第一支撐條30與掩膜條201交叉設(shè)置。進(jìn)一步優(yōu)選的，如圖3(b)所示，第一支撐條30與掩膜條201相互垂直。

優(yōu)選的，如圖4-圖6所示，掩膜組件還包括第二支撐條50(Cover)；第二支撐條50跨設(shè)于框架10的中空區(qū)域，且第二支撐條50的相對(duì)兩端固定在框架10上；其中，第二支撐條50與第一支撐條30交叉設(shè)置。

其中，對(duì)于掩膜組件中設(shè)置的第二支撐條50的個(gè)數(shù)不進(jìn)行限定，可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)置，可以設(shè)置一個(gè)，也可以設(shè)置兩個(gè)或兩個(gè)以上第二支撐條50。當(dāng)掩膜組件包括兩個(gè)或兩個(gè)以上第二支撐條50時(shí)，優(yōu)選第二支撐條50之間相互平行。

此處，第一支撐條30和第二支撐條50共同對(duì)掩膜板20進(jìn)行支撐，防止掩膜板20下垂。第一支撐條30和第二支撐條50至少應(yīng)確保掩膜板20的下垂量在200μm以內(nèi)。在此基礎(chǔ)上，本發(fā)明實(shí)施優(yōu)選第二支撐條50與第一支撐條30相互垂直。

本發(fā)明實(shí)施例，由于第一支撐條30和第二支撐條50交叉設(shè)置，共同對(duì)掩膜板20進(jìn)行支撐，因而可以進(jìn)一步更有效地對(duì)掩膜板20進(jìn)行支撐，防止掩膜板20下垂。

優(yōu)選的，如圖5和圖6所示，第二支撐條50包括疊層設(shè)置的第三子支撐條501和第四子支撐條502；其中，第三子支撐條501在第四子支撐條502上的正投影位于第四子支撐條502內(nèi)；第四子支撐條502的厚度小于第三子支撐條501的厚度。

其中，第三子支撐條501在第四子支撐條502上的正投影位于第四子支撐條502內(nèi)，但對(duì)于第三子支撐條501的寬度與第四子支撐條502的寬度的差值不進(jìn)行限定，應(yīng)以第三子支撐條501能夠支撐掩膜板20，且第三子支撐條501在張網(wǎng)固定到框架10上的過程，即使第三子支撐條501變形，變形后的第三子支撐條501在第四子支撐條502上的正投影也應(yīng)在第四子支撐條502內(nèi)為準(zhǔn)。

在此基礎(chǔ)上，由于第四子支撐條502的厚度小于第三子支撐條501的厚度，因而相對(duì)于第三子支撐條501，第四子支撐條502不易變形。為了防止第四子支撐條502變形，本發(fā)明實(shí)施例優(yōu)選，在第四子支撐條502能夠起到遮擋的條件下，第四子支撐條502的厚度應(yīng)盡可能地薄。

本發(fā)明實(shí)施例，第二支撐條50包括層疊設(shè)置的第三子支撐條501和第四子支撐條502，由于第三子支撐條501的厚度大于第四子支撐條502的厚度，因而第三子支撐條501與現(xiàn)有技術(shù)中支撐條的作用相同，可以用于起支撐掩膜板20的作用。在此基礎(chǔ)上，由于第四子支撐條502的厚度小于第三子支撐條501的厚度，因而第四子支撐條502在張網(wǎng)時(shí)所需的張網(wǎng)力較小，這樣便可以避免第四子支撐條502變形，因而第四子支撐條502具有較高的張網(wǎng)精度和遮擋精度。此外，第三子支撐條501在第四子支撐條502上的正投影位于第四子支撐條502內(nèi)，由于第四子支撐條502具有較高的遮擋精度和張網(wǎng)精度，因而第二支撐條50具有較高的張網(wǎng)精度和遮擋精度，因此相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明實(shí)施例提高了第二支撐條50的張網(wǎng)精度和遮擋精度。

進(jìn)一步優(yōu)選的，如圖6所示，掩膜板20為精細(xì)金屬掩膜板，精細(xì)金屬掩膜板包括多個(gè)相互平行的掩膜條201，掩膜條201與第二支撐條50平行，第二支撐條50設(shè)置在相鄰掩膜條201之間的間隙位置處。

其中，對(duì)于掩膜板20中包括的掩膜條201的個(gè)數(shù)不進(jìn)行限定，可以根據(jù)需要進(jìn)行相應(yīng)設(shè)置。本發(fā)明說明書附圖6中以掩膜板20包括四個(gè)掩膜條201為例進(jìn)行示意。此外，附圖6中每個(gè)掩膜條201的虛線所包圍的區(qū)域?yàn)橛行^(qū)域。

本發(fā)明實(shí)施例，第二支撐條50設(shè)置在相鄰掩膜條201之間的間隙位置處，這樣第二支撐條50便可以對(duì)相鄰掩膜條201之間的間隙進(jìn)行遮擋。

本發(fā)明實(shí)施例還提供一種掩膜組件的組裝方法，如圖7所示，包括：

S100、如圖8所示，將第一子支撐條301跨設(shè)于框架10的中空區(qū)域，并將第一子支撐條301的相對(duì)兩端固定在框架10上。

其中，對(duì)于第一子支撐條301的個(gè)數(shù)不進(jìn)行限定，可以根據(jù)需要進(jìn)行相應(yīng)設(shè)置。

在此基礎(chǔ)上，可以通過焊接的方式將第一子支撐條301固定在框架10上。

S101、如圖9所示，將第二子支撐條302設(shè)置在第一子支撐條301上方，并將第二子支撐條302的相對(duì)兩端固定在框架10上，第一子支撐條301在第二子支撐條302上的正投影位于第二子支撐條302內(nèi)，第二子支撐條302的厚度小于第一子支撐條301的厚度；其中，第一子支撐條301和第二子支撐條302構(gòu)成第一支撐條30。

需要說明的是，第二子支撐條302的個(gè)數(shù)與第一子支撐條301的個(gè)數(shù)相同，每個(gè)第一子支撐條301上都設(shè)置有一個(gè)第二子支撐條302。

此處，第二子支撐條302的厚度小于第一子支撐條301的厚度，因而在張網(wǎng)過程中，第二子支撐條302受到的張網(wǎng)力小于第一子支撐條301受到的張網(wǎng)力，因而相對(duì)于第一子支撐條301，第二子支撐條302不易變形。

S102、如圖1所示，將掩膜板20跨設(shè)于框架10的中空區(qū)域，并將掩膜板20的相對(duì)兩端固定在框架10上。

其中，對(duì)于掩膜板20的類型不進(jìn)行限定，掩膜板20可以是精細(xì)金屬掩膜板，也可以是開口掩膜板。當(dāng)掩膜板20為精細(xì)金屬掩膜板時(shí)，精細(xì)金屬掩膜板可以包括多個(gè)掩膜條。掩膜條可以和第一支撐條30交叉，也可以和第一支撐條30平行，本發(fā)明實(shí)施例優(yōu)選第一支撐條30和掩膜條交叉，進(jìn)一步優(yōu)選的，第一支撐條30和掩膜條相互垂直。

本發(fā)明實(shí)施例提供一種掩膜組件的組裝方法，掩膜組件中的第一支撐條30為雙層，第一支撐條30包括層疊設(shè)置的第一子支撐條301和第二子支撐條302，由于第一子支撐條301的厚度大于第二子支撐條302的厚度，因而第一子支撐條301與現(xiàn)有技術(shù)中支撐條的作用相同，可以用于起支撐掩膜板20的作用。在此基礎(chǔ)上，第一支撐條30還包括第二子支撐條302，由于第二子支撐條302的厚度小于第一子支撐條301的厚度，因而第二子支撐條302在張網(wǎng)時(shí)所需的張網(wǎng)力較小，這樣便可以避免第二子支撐條302變形，因而第二子支撐條302具有較高的張網(wǎng)精度和遮擋精度。此外，第一子支撐條301在第二子支撐條302上的正投影位于第二子支撐條302內(nèi)，由于第二子支撐條302具有較高的遮擋精度和張網(wǎng)精度，因而第一支撐條30具有較高的張網(wǎng)精度和遮擋精度，因此相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明實(shí)施例提供的第一支撐條30提高了支撐條的張網(wǎng)精度和遮擋精度。

優(yōu)選的，在步驟S100之后，步驟S101之前，上述組裝方法還包括：

如圖10所示，將兩個(gè)輔助條402分別設(shè)置在框架10的相對(duì)兩邊，輔助條402背離框架10的一側(cè)的兩端設(shè)置有孔洞401；將第二子支撐條302的相對(duì)兩端固定在框架10上，具體包括：根據(jù)孔洞401確定第二子支撐條302在框架10上的固定位置，并固定第二子支撐條302的相對(duì)兩端；將掩膜板20的相對(duì)兩端固定在框架10上，具體包括：根據(jù)孔洞401確定掩膜板20在框架10上的固定位置，并固定掩膜板20的相對(duì)兩端。

其中，輔助條402上的孔洞401可以作為標(biāo)記圖案。在此基礎(chǔ)上，根據(jù)孔洞401確定第二子支撐條302在框架10上的固定位置，具體可以是先根據(jù)孔洞401建立坐標(biāo)系，再根據(jù)建立的坐標(biāo)系確定第二子支撐條302在框架10上的固定位置。同理，對(duì)于掩膜板20，也是先根據(jù)孔洞401建立坐標(biāo)系，再根據(jù)建立的坐標(biāo)系確定第二子支撐條302在框架10上的固定位置。由于第二子支撐條302和掩膜板20都是根據(jù)該孔洞401建立坐標(biāo)系，相當(dāng)于第二子支撐條302和掩膜板20在同一坐標(biāo)系下確定其在框架10上的固定位置。

此處，對(duì)于第一支撐條30與輔助條402的設(shè)置位置關(guān)系不進(jìn)行限定，輔助條402可以和第一支撐條30垂直，輔助條402也可以和第一支撐條30平行。本發(fā)明實(shí)施例優(yōu)選，第一支撐條30與輔助條402垂直。

需要說明的是，對(duì)于第一子支撐條301如何固定在框架10上不進(jìn)行限定，示例的，可以在框架10上形成孔洞，作為第一子支撐條301固定在框架10上的標(biāo)記圖案。

本發(fā)明實(shí)施例，由于框架10的兩端設(shè)置有輔助條402，輔助條402上設(shè)置有孔洞401，孔洞401用于作為標(biāo)記圖案，因而掩膜板20以及第二子支撐條302均可以根據(jù)該孔洞401建立的坐標(biāo)系，確定掩膜板20以及第二子支撐條302在框架10上的固定位置，并將掩膜板20和第二子支撐條302固定在框架10上。在此基礎(chǔ)上，由于掩膜板20和第二子支撐條302是根據(jù)同一標(biāo)記圖案確定掩膜板20和第二子支撐條302在框架10上的固定位置并固定，因而可以提高第二子支撐條302和掩膜板20的匹配精度，進(jìn)而可以最大程度地保證第二子支撐條302的遮擋精度。

優(yōu)選的，在步驟S100之前，上述組裝方法還包括：如圖11所示，將第二支撐條50跨設(shè)于框架10的中空區(qū)域，并將第二支撐條50的相對(duì)兩端固定在框架10上。

其中，對(duì)于掩膜組件中設(shè)置的第二支撐條50的個(gè)數(shù)不進(jìn)行限定，可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)置，可以設(shè)置一個(gè)，也可以設(shè)置兩個(gè)或兩個(gè)以上第二支撐條50。當(dāng)掩膜組件包括兩個(gè)或兩個(gè)以上第二支撐條50時(shí)，優(yōu)選第二支撐條50之間相互平行。

在此基礎(chǔ)上，當(dāng)掩膜板20為精細(xì)金屬掩膜板，且精細(xì)金屬掩膜板包括多個(gè)掩膜條時(shí)，本發(fā)明實(shí)施例優(yōu)選，掩膜組件包括多個(gè)第二支撐條50，第二支撐條50與掩膜條平行，且每個(gè)第二支撐條50設(shè)置在相鄰掩膜條的間隙位置處。

此處，第二支撐條50與后續(xù)步驟S100中設(shè)置的第一子支撐條301可以相互平行，也可以相互交叉。由于第二支撐條50與第一子支撐條301相互交叉，對(duì)掩膜板20的支撐效果較好，因而本發(fā)明實(shí)施例優(yōu)選第二支撐條50與待形成的第一子支撐條301相互交叉。進(jìn)一步優(yōu)選的，第二支撐條50與第一子支撐條301相互垂直。

此外，第二支撐條50可以根據(jù)框架10上設(shè)置的孔洞建立坐標(biāo)系，并將第二支撐條50固定在框架10上。

本發(fā)明實(shí)施例，通過設(shè)置第二支撐條50，可用于支撐掩膜板20。

進(jìn)一步優(yōu)選的，在步驟S100之前，上述組裝方法具體還包括：如圖12所示，將第三子支撐條501跨設(shè)于框架10的中空區(qū)域，并將第三子支撐條501的相對(duì)兩端固定在框架10上；將第四子支撐條502設(shè)置在第三子支撐條501上方，并將第四子支撐條502的相對(duì)兩端固定在框架10上，第三子支撐條501在第四子支撐條502上的正投影位于第四子支撐條502內(nèi)，第四子支撐條502的厚度小于第三支撐條501的厚度；其中，第三子支撐條501和第四子支撐條502構(gòu)成第二支撐條50。

其中，第三子支撐條501的個(gè)數(shù)與第四子支撐條502的個(gè)數(shù)相同，每個(gè)第三子支撐條501上都設(shè)置有一個(gè)第四子支撐條502。

此處，第四子支撐條502的厚度小于第三支撐條501的厚度，因而在張網(wǎng)過程中，第四子支撐條502受到的張網(wǎng)力小于第三子支撐條501受到的張網(wǎng)力，因而相對(duì)于第三子支撐條501，第四子支撐條502不易變形。

本發(fā)明實(shí)施例，由于第三子支撐條501的厚度大于第四子支撐條502的厚度，因而第三子支撐條501與現(xiàn)有技術(shù)中支撐條的作用相同，可以用于起支撐掩膜板20的作用。在此基礎(chǔ)上，由于第四子支撐條502的厚度小于第三子支撐條501的厚度，因而第四子支撐條502在張網(wǎng)時(shí)所需的張網(wǎng)力較小，這樣便可以避免第四子支撐條502變形，因而第四子支撐條502具有較高的張網(wǎng)精度和遮擋精度。此外，第三子支撐條501在第四子支撐條502上的正投影位于第四子支撐條502內(nèi)，由于第四子支撐條502具有較高的遮擋精度和張網(wǎng)精度，因而第二支撐條50具有較高的張網(wǎng)精度和遮擋精度，因此相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明實(shí)施例提高了第二支撐條50的張網(wǎng)精度和遮擋精度。

以上所述，僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。