本發(fā)明涉及液晶面板制作領(lǐng)域，特別是涉及一種蒸鍍裝置。

背景技術(shù)：

在信息社會(huì)的當(dāng)代，作為可視信息傳輸媒介的顯示器的重要性在進(jìn)一步加強(qiáng)，為了在未來占據(jù)主導(dǎo)地位，顯示器正朝著更輕、更薄、更低能耗、更低成本以及更好圖像質(zhì)量的趨勢(shì)發(fā)展。

oled顯示技術(shù)較之當(dāng)前主流的液晶顯示技術(shù)，具有對(duì)比度高、色域廣、柔性、輕薄、節(jié)能等突出優(yōu)點(diǎn)。近年來oled顯示技術(shù)逐漸在智能手機(jī)和平板電腦等移動(dòng)設(shè)備、智能手表等柔性可穿戴設(shè)備、大尺寸曲面電視、白光照明等領(lǐng)域普及，發(fā)展勢(shì)頭強(qiáng)勁。

oled技術(shù)主要包括以真空蒸鍍技術(shù)為基礎(chǔ)的小分子oled技術(shù)和以溶液制程為基礎(chǔ)的高分子oled技術(shù)。蒸鍍機(jī)是當(dāng)前已量產(chǎn)的小分子oled器件生產(chǎn)的主要設(shè)備，其設(shè)備核心部分為蒸鍍裝置，分為點(diǎn)蒸發(fā)源、線蒸發(fā)源、面蒸發(fā)源等。線蒸發(fā)源為當(dāng)前重要的oled量產(chǎn)技術(shù)，主要分為一體式線蒸發(fā)源和輸送式線蒸發(fā)源。

當(dāng)蒸發(fā)源處于閑置模式時(shí)，蒸發(fā)源各個(gè)部分的溫度需保持與正常鍍膜時(shí)相當(dāng)?shù)哪Ｊ剑沟谜舭l(fā)氣體仍然繼續(xù)導(dǎo)向外界，導(dǎo)致材料損耗較大，材料利用率下降。

因此，現(xiàn)有技術(shù)存在缺陷，急需改進(jìn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種改進(jìn)的蒸鍍裝置。

為解決上述問題，本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下：

本發(fā)明提供一種蒸鍍裝置，包括：

蒸發(fā)部、傳輸管道以及蒸鍍部；蒸發(fā)部用于對(duì)蒸鍍材料進(jìn)行加熱蒸發(fā)，以在其蒸發(fā)腔內(nèi)形成蒸發(fā)氣體；傳輸管道用于將該蒸發(fā)腔中形成的蒸發(fā)氣體傳輸?shù)秸翦儾康恼翦兦?；蒸鍍部用于將其蒸鍍腔?nèi)收容的蒸發(fā)氣體蒸鍍到基板上；

該傳輸管道包括第一管道、第二管道以及第三管道；

第一管道的一端與蒸發(fā)部的蒸發(fā)腔連通，第一管道上設(shè)置有第一溫控組件，以用于保持第一管道內(nèi)的溫度恒定；

第二管道的一端與蒸鍍部的蒸鍍腔連通，第二管道上設(shè)置有第二溫控組件，用于保持第二管道內(nèi)的溫度恒定；

第三管道用于將第一管道的另一端以及第二管道的另一端連通；第三管道上設(shè)置有蒸汽壓控制組件，該蒸汽壓控制組件用于在由蒸鍍切換為閑置時(shí)控制第三管道內(nèi)蒸發(fā)氣體的蒸汽壓降低，由閑置切換為蒸鍍時(shí)控制第三管道內(nèi)蒸發(fā)氣體的蒸汽壓升高。

在一些實(shí)施例中，所述蒸汽壓控制組件包括控制器、制冷件以及制熱件，所述控制器與所述制冷件及制熱件電連接；

由蒸鍍切換為閑置時(shí)，控制器控制該制冷件降低第三管道內(nèi)的溫度，以將第三管道內(nèi)蒸發(fā)氣體的蒸汽壓由當(dāng)前的第一蒸汽壓值降低至第二蒸汽壓值；由閑置切換為蒸鍍時(shí)，控制器控制該制熱件升高第三管道內(nèi)的溫度，以將第三管道內(nèi)的蒸發(fā)氣體的蒸汽壓由第二蒸汽壓值升高至第一蒸汽壓值。

在一些實(shí)施例中，所述制熱件包覆在第三管道的外壁上，所述制冷件包覆所述制熱件。

在一些實(shí)施例中，所述制冷件與所述制熱件之間設(shè)置有保溫層。

在一些實(shí)施例中，所述制熱件為纏繞第三管道的電熱絲。

在一些實(shí)施例中，所述制冷件為包括外套管及制冷劑；所述外套管套設(shè)在所述保溫層外，所述外套管的內(nèi)壁與所述保溫層的外壁形成間隙，以容納制冷劑。

在一些實(shí)施例中，所述外套管設(shè)置有供制冷劑流入的流入口，以及供制冷劑流出的流出口。

在一些實(shí)施例中，所述外套管內(nèi)設(shè)置有流量閥，以用于控制所述外套管內(nèi)制冷劑的流量。

在一些實(shí)施例中，第一管道、第二管道以及第三管道為同軸設(shè)置，且均呈圓管狀；其中，第三管道的通道小于第一管道以及第二管道的通道。

在一些實(shí)施例中，所述蒸鍍部具有一壁體，所述壁體上設(shè)置有與蒸鍍腔連通的噴射口，以用于將蒸鍍腔內(nèi)的蒸發(fā)氣體噴射到基板上。

相較于現(xiàn)有的蒸鍍裝置，本發(fā)明的蒸鍍裝置包括蒸發(fā)部、傳輸管道以及蒸鍍部；蒸發(fā)部用于對(duì)蒸鍍材料進(jìn)行加熱蒸發(fā)，以在其蒸發(fā)腔內(nèi)形成蒸發(fā)氣體；傳輸管道用于將該蒸發(fā)腔中形成的蒸發(fā)氣體傳輸?shù)秸翦儾康恼翦兦?；蒸鍍部用于將其蒸鍍腔?nèi)收容的蒸發(fā)氣體蒸鍍到基板上；該傳輸管道包括第一管道、第二管道以及第三管道；第一管道的一端與蒸發(fā)部的蒸發(fā)腔連通，第一管道上設(shè)置有第一溫控組件，以用于保持第一管道內(nèi)的溫度恒定；第二管道的一端與蒸鍍部的蒸鍍腔連通，第二管道上設(shè)置有第二溫控組件，用于保持第二管道內(nèi)的溫度恒定；第三管道用于將第一管道的另一端以及第二管道的另一端連通；第三管道上設(shè)置有蒸汽壓控制組件，該蒸汽壓控制組件用于在由蒸鍍切換為閑置時(shí)控制第三管道內(nèi)蒸發(fā)氣體的蒸汽壓降低，由閑置切換為蒸鍍時(shí)控制第三管道內(nèi)蒸發(fā)氣體的蒸汽壓升高。該方案在傳輸管道上設(shè)置蒸汽壓控制組件，在由蒸鍍切換為閑置時(shí)控制第三管道內(nèi)蒸發(fā)氣體的蒸汽壓降低，以減緩蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速率，使得在閑置時(shí)蒸發(fā)材料的蒸發(fā)量減少，從而降低蒸發(fā)材料的損耗，提升材料利用率。

附圖說明

圖1為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中蒸鍍裝置的第一種立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中蒸鍍裝置的第二種立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為圖2所示蒸鍍裝置沿線p1-p1的一種剖面圖。

圖4為圖2所示蒸鍍裝置的局部立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為圖4所示局部立體結(jié)構(gòu)沿線p2-p2的一種剖面圖。

圖6為圖4所示局部立體結(jié)構(gòu)沿線p2-p2的另一種剖面圖。

圖7為圖4所示局部立體結(jié)構(gòu)沿線p2-p2的又一種剖面圖。

具體實(shí)施方式

以下各實(shí)施例的說明是參考附加的圖式，用以例示本發(fā)明可用以實(shí)施的特定實(shí)施例。本發(fā)明所提到的方向用語，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「內(nèi)」、「外」、「?jìng)?cè)面」等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本發(fā)明，而非用以限制本發(fā)明。

在圖中，結(jié)構(gòu)相似的模塊是以相同標(biāo)號(hào)表示。

此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本發(fā)明的描述中，除非另有說明，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上。另外，術(shù)語“包括”及其任何變形，意圖在于覆蓋不排他的包含。

參閱圖1，圖1為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中蒸鍍裝置的第一種立體結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，本優(yōu)選實(shí)施例的蒸鍍裝置，包括蒸發(fā)部10、傳輸管道20以及蒸鍍部30。

在本發(fā)明實(shí)施例中，蒸發(fā)部10、傳輸管道20、蒸鍍部30以及噴射口40依次連通。蒸發(fā)部10用于對(duì)蒸鍍材料進(jìn)行加熱蒸發(fā)，以在其蒸發(fā)腔11內(nèi)形成蒸發(fā)氣體。傳輸管道20用于將該蒸發(fā)腔11中形成的蒸發(fā)氣體傳輸?shù)秸翦儾?0的蒸鍍腔31內(nèi)。蒸鍍部30用于將其蒸鍍腔31內(nèi)收容的蒸發(fā)氣體蒸鍍到基板上。

在一些實(shí)施例中，該蒸發(fā)部10的蒸發(fā)腔11內(nèi)可設(shè)有用于容納蒸鍍材料的坩堝，坩堝內(nèi)可放置加熱絲，以對(duì)蒸鍍材料進(jìn)行加熱蒸發(fā)形成蒸發(fā)氣體。一般地，該蒸發(fā)材料呈結(jié)晶態(tài)。

具體地，蒸鍍部30具有一壁體32，該壁體32上設(shè)置有與蒸鍍腔31連通的噴射口40，以用于將蒸鍍腔內(nèi)31的蒸發(fā)氣體噴射到基板上。如圖1所示，該噴射口40可以為一個(gè)個(gè)呈圓管狀的通芯管。實(shí)際應(yīng)用中，該噴射口40還可以為一條沿壁體32設(shè)置的狹縫。

本實(shí)施例中，該傳輸管道20包括依次連通的第一管道21、第三管道23、以及第二管道22。如圖1到圖3所示，第一管道21、第二管道22以及第三管道23可為同軸設(shè)置，且均呈圓管狀。其中，第三管道23的通道小于第一管道21以及第二管道22的通道。實(shí)際應(yīng)用中，第三管道23的通道可設(shè)計(jì)為熱容較小的狹長(zhǎng)區(qū)域。

參考圖2、圖3，具體地，第一管道21的一端與蒸發(fā)部10的蒸發(fā)腔11連通，第一管道21上設(shè)置有第一溫控組件60，以用于保持第一管道21內(nèi)的溫度恒定。第二管道22的一端與蒸鍍部30的蒸鍍腔31連通，第二管道22上設(shè)置有第二溫控組件70，用于保持第二管道內(nèi)的溫度恒定。

其中，第一溫控組件60、第二溫控組件70可以包括加熱、冷卻裝置、溫度監(jiān)控裝置等，通過溫度控制系統(tǒng)精確控制各部分溫度。實(shí)際應(yīng)用中，蒸發(fā)部10以及蒸鍍部30上也可設(shè)置有獨(dú)立的加熱、冷卻裝置、溫度監(jiān)控裝置。

第三管道23用于將第一管道21的另一端以及第二管道22的另一端連通。第三管道23上設(shè)置有蒸汽壓控制組件50，該蒸汽壓控制組件50用于在由蒸鍍切換為閑置時(shí)，控制第三管道23內(nèi)蒸發(fā)氣體的蒸汽壓降低；由閑置切換為蒸鍍時(shí)，控制第三管道23內(nèi)蒸發(fā)氣體的蒸汽壓升高。

其中，蒸汽壓控制組件50的設(shè)置方式可以多種。比如，如圖3所示，蒸汽壓控制組件50可包覆第三管道23的外壁面設(shè)置。

參考圖4和圖5，在一些實(shí)施方式中，蒸汽壓控制組件50可包括控制器、制冷件51以及制熱件52。其中，控制器與制冷件51及制熱件52電連接?？刂破骺筛鶕?jù)實(shí)際情況設(shè)置在相應(yīng)位置。

具體地，由蒸鍍切換為閑置時(shí)，控制器控制該制冷件51降低第三管道23內(nèi)的溫度，以將第三管道23內(nèi)蒸發(fā)氣體的蒸汽壓由當(dāng)前的第一蒸汽壓值降低至第二蒸汽壓值。由閑置切換為蒸鍍時(shí)，控制器控制該制熱件52升高第三管道23內(nèi)的溫度，以將第三管道內(nèi)的蒸發(fā)氣體的蒸汽壓由第二蒸汽壓值升高至第一蒸汽壓值。

繼續(xù)參考圖4和圖5，在一些實(shí)施方式中，制熱件52包覆在第三管道23的外壁上，制冷件51包覆該制熱件52。其中，該制熱件52可為纏繞第三管道23的電熱絲。

參考圖6，在一些實(shí)施方式中，制冷件51與制熱件52之間可設(shè)置有保溫層53。

參考圖7，在一些實(shí)施例中，制冷件51可包括外套管511及制冷劑512。外套管511套設(shè)在保溫層53外，外套管511的內(nèi)壁與保溫層53的外壁形成間隙，以容納制冷劑。實(shí)際應(yīng)用中，制冷劑512可以為水、氟利昂等物質(zhì)。

繼續(xù)參考圖7，外套管511可設(shè)置有供制冷劑512流入的流入口5111，以及供制冷劑流出的流出口5112。如圖7所示，該外套管511內(nèi)設(shè)置有流量閥5113，以用于控制外套管511內(nèi)制冷劑的流量。

具體應(yīng)用時(shí)，當(dāng)蒸發(fā)源裝置由蒸鍍切換為閑置后，在蒸汽壓控制區(qū)(即第三管道23內(nèi))實(shí)施蒸汽壓控制：

首先蒸汽壓控制組件50中，控制器控制該制熱件52降低制熱能力，同時(shí)控制制冷件51增加冷卻劑512的流量來增強(qiáng)制冷件51冷卻能力，以降低通過第三管道23的蒸發(fā)氣體的蒸汽壓。且確保第三管道23內(nèi)溫度保持在蒸發(fā)氣體無法沉積的溫度范圍內(nèi)，以控制蒸發(fā)材料的整體蒸發(fā)速率，從而降低蒸發(fā)部?jī)?nèi)的蒸鍍材料往蒸鍍部30輸送的速率。通過速率監(jiān)測(cè)裝置實(shí)時(shí)監(jiān)控材料蒸汽通過蒸汽壓控制區(qū)域后蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速率變化，并將蒸發(fā)速率降低到較低水平。比如，可以利用qcm(quartzcrystalmicrobalance，英晶體微天平)檢測(cè)蒸發(fā)材料質(zhì)量變化，從而計(jì)算出蒸發(fā)速率進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控。

該過程中，第一管道21、第二管道22以及蒸鍍部30保持恒定溫度的控制模式，蒸發(fā)部切換到恒定溫度的控制模式，第三管道23內(nèi)的溫度下降，以形成溫度梯度。比如，第三管道23內(nèi)的溫度最低，往第一管道21內(nèi)的溫度高于蒸發(fā)部10內(nèi)的溫度、第二管道22溫度不高于蒸鍍部30的溫度。其中，第一管道21、第二管道22內(nèi)的溫度相較蒸鍍時(shí)的溫度更高一些，以確保第三管道23內(nèi)的低溫不影響蒸鍍部30和蒸發(fā)部10內(nèi)的溫度。在此過程中，可通過pid(proportion-integral-derivative，比例微積分調(diào)節(jié))控制系統(tǒng)精確溫度控制。

另外，在閑置模式結(jié)束前，需要解除蒸汽壓控制模式，以實(shí)施蒸發(fā)源裝置恒定蒸發(fā)速率控制模式的恢復(fù)：

首先蒸汽壓控制組件50中，控制器控制該制熱件52提升制熱能力，同時(shí)控制終止制冷件51增加冷卻劑，以升高通過第三管道23的蒸發(fā)氣體的蒸汽壓。由于蒸汽壓上升需要一定時(shí)間，因此，在達(dá)到正常蒸汽壓值之前，控制蒸發(fā)部10中加熱裝置升高其蒸發(fā)腔11的溫度。通過pid控制系統(tǒng)精確控制各區(qū)域溫度，使蒸發(fā)速率快速恢復(fù)到原先的正常水準(zhǔn)后，可開始實(shí)施鍍膜。

由上可知，本發(fā)明實(shí)施例提供的蒸鍍裝置，包括蒸發(fā)部、傳輸管道以及蒸鍍部；蒸發(fā)部用于對(duì)蒸鍍材料進(jìn)行加熱蒸發(fā)，以在其蒸發(fā)腔內(nèi)形成蒸發(fā)氣體；傳輸管道用于將該蒸發(fā)腔中形成的蒸發(fā)氣體傳輸?shù)秸翦儾康恼翦兦?；蒸鍍部用于將其蒸鍍腔?nèi)收容的蒸發(fā)氣體蒸鍍到基板上；該傳輸管道包括第一管道、第二管道以及第三管道；第一管道的一端與蒸發(fā)部的蒸發(fā)腔連通，第一管道上設(shè)置有第一溫控組件，以用于保持第一管道內(nèi)的溫度恒定；第二管道的一端與蒸鍍部的蒸鍍腔連通，第二管道上設(shè)置有第二溫控組件，用于保持第二管道內(nèi)的溫度恒定；第三管道用于將第一管道的另一端以及第二管道的另一端連通；第三管道上設(shè)置有蒸汽壓控制組件，該蒸汽壓控制組件用于在由蒸鍍切換為閑置時(shí)控制第三管道內(nèi)蒸發(fā)氣體的蒸汽壓降低，由閑置切換為蒸鍍時(shí)控制第三管道內(nèi)蒸發(fā)氣體的蒸汽壓升高。該方案在傳輸管道上設(shè)置蒸汽壓控制組件，在由蒸鍍切換為閑置時(shí)控制第三管道內(nèi)蒸發(fā)氣體的蒸汽壓降低，以減緩蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速率，使得在閑置時(shí)蒸發(fā)材料的蒸發(fā)量減少，從而降低蒸發(fā)材料的損耗，提升材料利用率。

綜上所述，雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例揭露如上，但上述優(yōu)選實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求界定的范圍為準(zhǔn)。