技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供成膜裝置及成膜方法。對(duì)工件的一部分進(jìn)行成膜的成膜裝置，具備：成膜容器，具有第一模具和第二模具，所述第一模具配置于工件的上方，具備從工件的成膜對(duì)象部分觀(guān)察向上方凹陷的第一凹陷部和配置于第一凹陷部的周?chē)牡谝黄矫娌?，所述第二模具與第一模具對(duì)向而配置于工件的下方，在與第一平面部對(duì)應(yīng)的部分具備第二平面部；第一密封部件，配置于第一平面部與工件之間，在使工件從第一平面部分離的狀態(tài)下與第一平面部及工件接觸；及第二密封部件，配置于第二平面部與工件之間，在使工件從第二平面部分離的狀態(tài)下與第二平面部及工件接觸。第二密封部件設(shè)置于工件的下表面。

技術(shù)研發(fā)人員：飯塚和孝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：豐田自動(dòng)車(chē)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.20
技術(shù)公布日：2017.10.31