技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種KDP晶體水溶解微納加工系統(tǒng)及加工方法，所述的系統(tǒng)包括拋光液性能連續(xù)實(shí)時調(diào)控裝置、拋光裝置和夾持裝置，所述的夾持裝置將KDP晶體工件壓在夾持裝置上，所述的拋光液性能連續(xù)實(shí)時調(diào)控裝置位于拋光裝置的一側(cè)，向拋光裝置提供拋光液。本發(fā)明利用材料本身所具備的水溶解特性這一客觀自然規(guī)律，創(chuàng)造性的采用一系列具備不同溫度和質(zhì)量百分比濃度的磷酸二氫鉀溶液實(shí)現(xiàn)KDP晶體的超光滑表面高效創(chuàng)成。本發(fā)明使用的磷酸二氫鉀溶液不含有任何類似于酒精的易揮發(fā)組分，顯著減小了拋光液各組分比例隨時間的變化，保證了拋光液性能的長期穩(wěn)定，進(jìn)而提高了水溶解微納加工材料去除及表面平坦化行為的穩(wěn)定性。

技術(shù)研發(fā)人員：高航;劉子源;郭東明
受保護(hù)的技術(shù)使用者：大連理工大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.23
技術(shù)公布日：2017.07.07