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一種在釩合金基底上制備Er2O3涂層的方法與流程

文檔序號:12699186閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種在釩合金基底上制備Er2O3涂層的方法,其特征在于具體步驟如下:

1)、釩合金基底的預(yù)處理

將一定厚度的釩合金板利用線切割的方式切割成所需大小,再分別用600-5000目砂紙打磨,并拋光成鏡面,用無水乙醇洗凈,然后吹干;

2)、溶膠配制

稱取一定質(zhì)量的Er(NO3)3·5H2O溶于無水乙醇中并加入體積分?jǐn)?shù)為3-5%的火棉膠,利用電磁攪拌制成濃度為0.4M-0.6M的溶膠,然后將溶膠密封保存;

3)、在釩合金基底上制備Er2O3涂層

將處理好的釩合金固定在旋涂機(jī)上,利用滴管滴加適量的溶膠于釩合金片上,先以低速旋涂,再以高速旋涂;將旋涂好的試樣放置于真空干燥箱內(nèi),分2步加熱真空干燥,然后爐冷;利用高溫管式爐將干燥后的試樣進(jìn)行熱處理,采用爐內(nèi)冷卻;

4)、重復(fù)步驟3)以達(dá)到需要的涂層厚度。

2.如權(quán)利要求1所述一種在釩合金基底上制備Er2O3涂層的方法,其特征在于步驟3)所述低速旋涂旋速為600-1000rpm,旋涂時(shí)間5-9s;高速旋涂旋速4000-6000rpm,旋涂時(shí)間20s-40s。

3.如權(quán)利要求1所述一種在釩合金基底上制備Er2O3涂層的方法,其特征在于步驟3)所述的2步真空干燥是:1)從室溫加熱至40-50℃時(shí)真空干燥30-50min,2)繼續(xù)升溫,在溫度達(dá)到70-85℃時(shí)再真空干燥30-50min。

4.如權(quán)利要求1所述一種在釩合金基底上制備Er2O3涂層的方法,其特征在于步驟3)所述的熱處理過程是在氬氣氣氛保護(hù)下進(jìn)行,氬氣流速為130-180sccm,熱處理溫度為550-650℃,保溫時(shí)間為40-75min,采用爐內(nèi)冷卻。

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