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組合式之大鉆石單晶化學(xué)機(jī)械研磨修整器的制造方法與流程

文檔序號(hào):12626241閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種組合式之大鉆石單晶化學(xué)機(jī)械研磨修整器的制造方法,其特征在于,包含以下步驟:

提供一大基板,該大基板具有復(fù)數(shù)個(gè)容置槽,該容置槽內(nèi)設(shè)置有一海棉以及一滲入該海棉的樹脂材料;

將復(fù)數(shù)個(gè)研磨單元分別設(shè)置于該容置槽中,該研磨單元分別包括一小基板以及一固定于該小基板上的大鉆石研磨顆粒,其中,該大鉆石研磨顆粒具有一不小于300微米的粒徑;

以一剛性模板抵壓該大鉆石研磨顆粒;以及

硬化該樹脂材料,使該樹脂材料黏著該研磨單元而將該研磨單元固定于該大基板上。

2.如權(quán)利要求1所述的組合式之大鉆石單晶化學(xué)機(jī)械研磨修整器的制造方法,其特征在于,該大鉆石研磨顆粒的粒徑不小于500微米。

3.如權(quán)利要求2所述的組合式之大鉆石單晶化學(xué)機(jī)械研磨修整器的制造方法,其特征在于,該大鉆石研磨顆粒的粒徑介于500微米至800微米之間。

4.如權(quán)利要求1所述的組合式之大鉆石單晶化學(xué)機(jī)械研磨修整器的制造方法,其特征在于,該樹脂材料為環(huán)氧樹脂或酚醛樹脂。

5.如權(quán)利要求1所述的組合式之大鉆石單晶化學(xué)機(jī)械研磨修整器的制造方法,其特征在于,該研磨單元覆蓋該大基板之面積占該大基板一表面總面積的40%以下。

6.如權(quán)利要求1所述的組合式之大鉆石單晶化學(xué)機(jī)械研磨修整器的制造方法,其特征在于,該研磨單元根據(jù)一圖案排列于該大基板上,該圖案擇自于單圈、雙圈、多圈、放射狀、螺旋狀及其組合所組成之群組。

7.如權(quán)利要求1所述的組合式之大鉆石單晶化學(xué)機(jī)械研磨修整器的制造方法,其特征在于,透過該海棉之一壓縮性調(diào)整該研磨單元之大鉆石研磨顆粒的高度而使得最高的該研磨單元中的大鉆石研磨顆粒的尖點(diǎn)與次高的該研磨單元中的大鉆石研磨顆粒的尖點(diǎn)的高度差小于20微米。

8.如權(quán)利要求1所述的組合式之大鉆石單晶化學(xué)機(jī)械研磨修整器的制造方法,其特征在于,透過該海棉之一壓縮性調(diào)整該研磨單元之大鉆石研磨顆粒的高度而使得單一研磨單元中的大鉆石研磨顆粒的第一高的尖點(diǎn)與第十高的尖點(diǎn)之高度差小于20微米。

9.如權(quán)利要求1所述的組合式之大鉆石單晶化學(xué)機(jī)械研磨修整器的制造方法,其特征在于,透過該海棉之一壓縮性調(diào)整該研磨單元之大鉆石研磨顆粒的高度而使得單一研磨單元中的大鉆石研磨顆粒的第一高的尖點(diǎn)與第一百高的尖點(diǎn)之高度差小于40微米。

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