本實用新型屬于金屬加工領域，尤其涉及一種用于修復靶材表面缺陷的圓盤打磨裝置。

背景技術：

濺射靶材作為薄膜源材料廣泛應于用電子信息、存儲記錄以及顯示器等相關產(chǎn)業(yè)中，靶材表面質量直接影響著薄膜性能。靶材表面質量差(如粗糙度過大、劃傷、凸起等)，濺射時“打火”，薄膜內(nèi)particle增多，芯片短路；靶材表面質量不合格，濺射薄膜均勻性差，薄膜失效。靶材加工方法直接決定表面質量，目前常用加工方法包括：車床、刨床、銑床、磨床、布輪拋光等。通常，靶材加工方式為車削加工，車削后表面光潔度滿足濺射靶材產(chǎn)品要求，然而在加工銅、鋁、銀等易氧化的軟性金屬及合金時，在完成精密機加工后，在清洗包裝過程中，易出現(xiàn)氧化、磕碰、劃傷等微小缺陷。傳統(tǒng)修復方式一般采用手工打磨，或者對靶材重新裝夾進行返工，手工打磨后表面粗糙度偏大，均勻性差，表面光澤不一致，無法滿足使用要求，而重新裝夾后返修則存在二次劃傷及氧化的風險。

技術實現(xiàn)要素：

針對上述問題，本實用新型提出一種用于修復靶材表面缺陷的圓盤打磨裝置。包括臺面1、圓形卡盤2、軌道3、打磨桿4、滑塊5以及軌道蓋板10，所述打磨桿4包括手柄6、彈簧7、打磨頭8以及卡箍9，所述圓形卡盤2與軌道3固定在臺面1上，軌道3投影通過圓形卡盤2圓心，打磨桿4穿過滑塊5中心圓孔后將滑塊5嵌入軌道3中并通過軌道蓋板10固定，打磨頭8采用卡箍9固定在打磨桿4首端，手柄6固定在打磨桿4的末端，彈簧7位于滑塊5與手柄6之間，打磨桿4通過軌道3往復移動。

所述圓形卡盤2為三爪卡盤，可進行軸向旋轉，能夠實現(xiàn)靶材的同心裝夾。

所述滑塊5為方形，中間開有圓孔。

所述打磨頭8可更換，可采用由砂紙、拉絲布、毛呢、棉布、絲綢任一材料所制成的打磨介質。

本實用新型的有益效果在于：

(1)本實用新型通過軌道設計可使打磨桿在徑向固定，靶材經(jīng)卡盤固定后實現(xiàn)自動定心，可隨卡盤進行同心旋轉，通過對打磨桿施加壓力，使打磨頭在靶材表面沿圓弧運動，實現(xiàn)局部打磨，打磨痕跡與修復前的車刀紋保持一致；

(2)打磨頭可根據(jù)需要固定砂紙、拉絲布、絲綢等不同材質及粗糙度的打磨介質，確保打磨后痕跡與修復前機加工痕跡吻合，可保證打磨后的靶材表面質量。

附圖說明

附圖1為圓盤打磨裝置的結構圖；

附圖2為打磨桿的結構圖；

附圖標記：1-臺面；2-圓形卡盤；3-軌道；4-打磨桿；5-滑塊；6-手柄；7-彈簧；8-打磨頭；9-卡箍；10-軌道蓋板；

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型進行詳細說明。

附圖1為圓盤打磨裝置的結構圖，如圖1所示，該裝置由臺面1、圓形卡盤2、軌道3、打磨桿4、滑塊5以及軌道蓋板10組成。圓形卡盤2與軌道3固定在臺面1上，圓形卡盤2可進行軸向旋轉，軌道3投影通過圓形卡盤2圓心，滑塊5為方形，且中間開有圓孔，打磨桿4穿過滑塊5中心圓孔后將滑塊5嵌入軌道3中并通過軌道蓋板10固定。附圖2為打磨桿的結構圖，如圖2所示，所述打磨桿4由手柄6、彈簧7、打磨頭8以及卡箍9組成。打磨頭8采用卡箍9固定在打磨桿4首端，手柄6固定在打磨桿4的末端，彈簧7位于滑塊5與手柄6之間，打磨桿4通過軌道3往復移動。

本實用新型的具體操作步驟如下所述：根據(jù)待加工靶材表面及加工狀態(tài)選擇適宜的打磨介質，在本實施例中選用拉絲布，利用卡箍9將拉絲布固定在打磨桿4首端，然后將待加工靶材安裝在圓形卡盤2上，穩(wěn)定安裝后靶材可隨圓形卡盤2進行軸向旋轉，移動打磨桿4，使打磨頭8位于缺陷正上方，同時握住手柄6，并下壓至打磨頭8與待加工靶材12接觸，在缺陷位置往復轉動圓形卡盤2，同時對手柄6施加壓力，直至表面缺陷打磨修復完成，松開手柄6，彈簧7釋放帶動打磨桿4及打磨頭8離開靶材表面，松開圓形卡盤2，取下工件，完成表面修復，在無外力的狀態(tài)下，將手柄6抬起，使打磨頭8升高，遠離臺面1。

此實施例僅為本實用新型較佳的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護范圍應該以權利要求的保護范圍為準。