本實用新型屬于表面處理技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種靶材噴砂裝置。

背景技術(shù)：

荷能粒子（例如氬粒子）轟擊固體表面，引起表面各種粒子，如原子、分子或團束從該固體表面逸出的現(xiàn)象稱濺射工藝，其中被轟擊的固體稱為靶材。目前，濺射工藝常應用在薄膜沉積生產(chǎn)領(lǐng)域，例如，在TFT-LCD面板制作過程中，其中一道工序使在玻璃基板上沉積一層鉬薄膜，則需要使用鉬靶材對玻璃基板進行濺射。

在濺射工藝中，靶材組件作為陰極，首先應具有優(yōu)良的導電性，同時為了排放高荷能態(tài)離子高速轟擊靶材表面產(chǎn)生的熱量，靶材組件也要具有優(yōu)良的導熱性，因此，靶材13需要采用焊合材料銦固定連接背板14（如圖1所示），以避免濺射靶在工作中的脫落、開裂等問題。為了保證靶材和背板的焊合率，需要靶材背面（非濺射面）進行粗化處理，以便更好附著焊合材料銦，但在焊接工藝中，靶材和背板四周邊緣容易溢出焊接材料銦，需要對焊接材料進行清除，同時還需要增大清除區(qū)域和靶材四周的粗糙度，在濺射工藝中使粗化后的此區(qū)域更夠更好的粘住沉積到此的靶材材料，減小其溢出的概率。靶材背面和四周的粗化以及焊接材料銦的清除都需要噴砂處理來完成，所述的噴砂處理就是利用高速的砂流的沖擊作用來清理和粗化固體表面；目前噴砂過程處理主要是人工操作，人工操作具有粉塵污染，工作量大等不足。

申請?zhí)?01420814979.1公開一種用于靶材基體粗糙度制造的噴砂裝置，該噴砂裝置包括噴槍及儲沙罐，儲沙罐具有噴砂出口，而噴槍位于靶材基體噴涂箱體內(nèi)并固定在滑塊上，而滑塊與靶材基體噴涂箱體內(nèi)壁上端的滑軌配合，形成噴槍的滑動噴涂結(jié)構(gòu)，噴槍與噴砂出口之間通過噴砂管連通。該結(jié)構(gòu)的不足之處在于：噴槍為一只，無法實現(xiàn)對靶材的全面噴砂，所以需要增加滑動結(jié)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)進行配合使用，但是由于砂粒在下落過程中會進入旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)內(nèi)造成機械磨損，導致該結(jié)構(gòu)的故障率較高。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實用新型的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種靶材噴砂裝置，使靶材位于一封閉空間內(nèi)，能夠一次對靶材噴砂完成，噴完后砂粒自動分離，防止污染空氣。

為達到上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

靶材噴砂裝置，包括殼體、設(shè)置在殼體內(nèi)的輥道、鉸接在殼體上端的密封蓋和固定連接在殼體下端的回收罐，所述回收罐下端連通設(shè)置回收管，所述回收管下端連通設(shè)置吸塵器，所述殼體四周貫穿設(shè)置多個噴砂管，所述噴砂管伸出殼體的一端連接有送風機構(gòu)和儲砂罐。

進一步的，所述殼體為長方體結(jié)構(gòu)或圓形結(jié)構(gòu)，所述回收罐為錐形結(jié)構(gòu)。

進一步的，所述送風機構(gòu)為空氣壓縮機，所述送風機構(gòu)、噴砂管和儲砂罐之間通過多通管相連通，所述儲砂罐位于所述噴砂管的上方。

進一步的，所述噴砂管為柱狀結(jié)構(gòu)且其內(nèi)壁設(shè)置內(nèi)螺紋。

進一步的，所述噴砂管伸入所述殼體內(nèi)的一端設(shè)置收緊口。

進一步的，所述收緊口為錐形或扇形。

本實用新型的有益效果是：

1.本實用新型包括殼體、設(shè)置在殼體內(nèi)的輥道、鉸接在殼體上端的密封蓋和固定連接在殼體下端的回收罐，回收罐下端連通設(shè)置回收管，回收管下端連通設(shè)置吸塵器，殼體四周貫穿設(shè)置多個噴砂管，噴砂管伸出殼體的一端連接有送風機構(gòu)和儲砂罐。本實用新型在使用時，把焊接后的靶材和背板放在輥道上，蓋上密封蓋進行密封后，開啟四周的噴砂管，砂粒隨著壓縮空氣從噴砂管噴出，對靶材和背板的四周邊緣位置進行噴砂處理，砂粒落入回收罐中，進而通過吸塵器抽走，待四周邊緣位置粗化完成后，關(guān)閉噴砂管即可。本結(jié)構(gòu)在殼體內(nèi)僅設(shè)置輥道，從殼體四周對靶材進行噴砂，有效避免殼體內(nèi)機構(gòu)的機械磨損，具有結(jié)構(gòu)簡單、使用壽命長的優(yōu)點。

2.殼體為長方體結(jié)構(gòu)或圓形結(jié)構(gòu)，回收罐為錐形結(jié)構(gòu)，本結(jié)構(gòu)設(shè)計不僅有利于對標準件進行噴砂，而且有利于砂?？焖倩渲粱厥展迌?nèi)，提高噴砂效率。

3.送風機構(gòu)為空氣壓縮機，送風機構(gòu)、噴砂管和儲砂罐之間通過三通管相連通，儲砂罐位于噴砂管的上方。

4.噴砂管為柱狀結(jié)構(gòu)且其內(nèi)壁設(shè)置內(nèi)螺紋，本結(jié)構(gòu)設(shè)計可使砂粒在空氣的帶動下產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)前進，增加砂粒噴出的強度，進而提高噴砂效率。

5.噴砂管伸入殼體內(nèi)的一端設(shè)置收緊口，收緊口可以為錐形或者扇形且與噴砂管之間為可拆卸式連接，本結(jié)構(gòu)設(shè)計可以提高砂粒的噴出速度提高噴砂效率，而且通過可拆卸式連接便于快速更換收緊口。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中靶材和背板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型實施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型實施例一噴砂管的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型實施例一輥道的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實用新型實施例二噴砂管的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步描述。

實施例一

如圖2至圖4所示，本實用新型包括殼體1、水平固定連接在殼體1內(nèi)的輥道2、鉸接在殼體1上端的密封蓋3和固定連接在殼體1下端的回收罐4，殼體1為長方體結(jié)構(gòu)，回收罐4為錐形結(jié)構(gòu)且其下端連通安裝兩個回收管5，回收管5下端連通安裝吸塵器6，殼體1四周貫穿安裝多個噴砂管7，噴砂管7為柱狀結(jié)構(gòu)且其內(nèi)壁設(shè)置內(nèi)螺紋8，每個噴砂管7均設(shè)置閥門9（圖中只示出左右兩側(cè)的閥門），噴砂管7伸入殼體1內(nèi)的一端螺紋連接收緊口12，收緊口12為錐形，噴砂管7伸出殼體1的一端連接有送風機構(gòu)10和儲砂罐11（圖中只示出右側(cè)的送風機構(gòu)和儲砂罐），送風機構(gòu)10為空氣壓縮機，送風機構(gòu)10、噴砂管7和儲砂罐11之間通過多通管相連通，即在風和砂?；旌虾蟮妮敵鑫恢猛ㄟ^多個軟管15連接在噴砂管7上使高速砂粒在單獨的軟管內(nèi)前進，儲砂罐11位于多個噴砂管7的上方。需指出的是，送風機構(gòu)10和儲砂罐可以配套使用四個，對四個不同端面的噴砂管7進行單獨供砂。

實施例二

本實施例與實施例一的結(jié)構(gòu)基本相同，不同的是：如圖5所示，噴砂管7伸入殼體1內(nèi)的一端螺紋連接收緊口12，收緊口12為扇形，本結(jié)構(gòu)設(shè)計可以提高砂粒的噴出速度提高噴砂效率，而且通過可拆卸式連接便于快速更換收緊口12。

最后說明的是，以上實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案而非限制，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對本實用新型的技術(shù)方案所做的其他修改或者等同替換，只要不脫離本實用新型技術(shù)方案的精神和范圍，均應涵蓋在本實用新型的權(quán)利要求范圍當中。