技術(shù)總結(jié)
一種基于多場(chǎng)耦合的鐵電材料減薄加工裝置，包括砂輪和基盤(pán)，所述砂輪與基盤(pán)之間為放置待加工鐵電材料的加工工位，所述砂輪與基盤(pán)分別與帶動(dòng)其旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述加工裝置還包括反向電場(chǎng)裝置、反向熱場(chǎng)裝置和化學(xué)場(chǎng)裝置，所述反向電場(chǎng)裝置形成的反向電場(chǎng)、所述反向熱場(chǎng)裝置形成的反向熱場(chǎng)和所述化學(xué)場(chǎng)裝置形成的化學(xué)場(chǎng)位于所述加工工位上。本實(shí)用新型提供一種提高加工效率的基于多場(chǎng)耦合的鐵電材料減薄加工裝置。

技術(shù)研發(fā)人員：杭偉;周立波;袁巨龍;趙軍;呂冰海;鄧乾發(fā)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江工業(yè)大學(xué)
文檔號(hào)碼：201621314487
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.02
技術(shù)公布日：2017.06.30