本實用新型涉及爐管設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種進氣管安裝結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

爐管設(shè)備制程氣體進氣管（gas nozzle ）一般都采用石英制成，進氣端固定在法蘭（flange）上，并通過帶密封圈的螺紋接口與金屬氣管相連。

一般爐管設(shè)備所使用的進氣管都比較長，在安裝的時候很難保證其垂直度，而進氣管一旦稍有傾斜，就可能與晶舟發(fā)生摩擦，從而影響產(chǎn)品，這是本領(lǐng)域技術(shù)人員所不期望見到的。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對上述存在的問題，本實用新型公開一種進氣管安裝結(jié)構(gòu)，應(yīng)用于設(shè)置有金屬氣管的爐管設(shè)備中，所述安裝結(jié)構(gòu)包括：

管道夾具（Nozzle Jig），與所述金屬氣管連接；

進氣管，所述進氣管為直管，且所述進氣管可拆卸地固定在所述管道夾具上。

上述的進氣管安裝結(jié)構(gòu)，其中，所述管道夾具包括L型結(jié)構(gòu)管路，所述L型結(jié)構(gòu)管路的水平部分與所述金屬氣管連接，所述L型結(jié)構(gòu)管路的豎直部分的外圍設(shè)置有外殼，所述外殼上設(shè)置有定位凹槽。

上述的進氣管安裝結(jié)構(gòu)，其中，所述進氣管的下端設(shè)置有與所述定位凹槽尺寸相適配的定位孔。

上述的進氣管安裝結(jié)構(gòu)，其中，所述安裝結(jié)構(gòu)還包括與所述定位凹槽和所述定位孔相適配的定位銷（lock pin）；

所述進氣管通過所述定位銷可拆卸地固定在所述管道夾具上。

上述的進氣管安裝結(jié)構(gòu)，其中，所述安裝結(jié)構(gòu)還包括與所述定位銷相適配的鎖緊裝置；

所述鎖緊裝置用以鎖緊所述定位銷。

上述的進氣管安裝結(jié)構(gòu)，其中，所述鎖緊裝置為C型環(huán)（C-ring）。

上述的進氣管安裝結(jié)構(gòu)，其中，所述進氣管的材質(zhì)為石英。

上述的進氣管安裝結(jié)構(gòu)，其中，所述管道夾具的材質(zhì)為金屬。

上述的進氣管安裝結(jié)構(gòu)，其中，所述爐管設(shè)備為ALD （Atomic Layer Deposition，原子層沉積）類型的爐管設(shè)備。

上述的進氣管安裝結(jié)構(gòu)，其中，所述爐管設(shè)備還包括法蘭；所述管道夾具固定設(shè)置于所述法蘭上。

上述實用新型具有如下優(yōu)點或者有益效果：

本實用新型公開了一種進氣管安裝結(jié)構(gòu)，應(yīng)用于設(shè)置有金屬氣管的爐管設(shè)備中，通過設(shè)置與金屬氣管連接的管道夾具代替原來的進氣管的L 型進氣口，并設(shè)置進氣管為直管，從而在安裝時可以直接將進氣管插入管道夾具中，并用定位銷與C型環(huán)固定，從而降低了安裝難度，且在安裝時進氣管不會與晶舟產(chǎn)生摩擦，進而提高了產(chǎn)品的良率。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細(xì)描述，本實用新型及其特征、外形和優(yōu)點將會變得更加明顯。在全部附圖中相同的標(biāo)記指示相同的部分。并未可以按照比例繪制附圖，重點在于示出本實用新型的主旨。

圖1是本實用新型實施例中進氣管安裝結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實用新型實施例中進氣管安裝結(jié)構(gòu)應(yīng)用于爐管設(shè)備中的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體的實施例對本實用新型作進一步的說明，但是不作為本實用新型的限定。

如圖1和圖2所示，本實施例涉及一種進氣管安裝結(jié)構(gòu)，可應(yīng)用于設(shè)置有金屬氣管的爐管設(shè)備中，該安裝結(jié)構(gòu)包括：與金屬氣管連接的管道夾具2和可拆卸地固定在管道夾具2上的進氣管1，且該進氣管1為直管；具體的，該管道夾具2包括L型結(jié)構(gòu)管路，L型結(jié)構(gòu)管路的水平部分與金屬氣管連接，L型結(jié)構(gòu)管路的豎直部分的外圍設(shè)置有外殼21，外殼21上設(shè)置有定位凹槽22，進氣管1的下端設(shè)置有與定位凹槽22尺寸相適配的定位孔11。該安裝結(jié)構(gòu)還包括與定位凹槽22和定位孔11相適配的定位銷3，進氣管1通過該定位銷3可拆卸地固定在管道夾具2上。

在本實用新型一個優(yōu)選的實施例中，上述安裝結(jié)構(gòu)還包括與定位銷3相適配的鎖緊裝置4；該鎖緊裝置4用以鎖緊定位銷3，進一步的，該鎖緊裝置4為C型環(huán)。

在本實用新型一個優(yōu)選的實施例中，上述進氣管1的材質(zhì)為石英。

在本實用新型一個優(yōu)選的實施例中，上述管道夾具2的材質(zhì)為金屬。

在本實用新型一個優(yōu)選的實施例中，上述爐管設(shè)備為ALD 類型的爐管設(shè)備。

在本實用新型一個優(yōu)選的實施例中，爐管設(shè)備還包括法蘭；且該管道夾具2固定設(shè)置于法蘭上。

本安裝結(jié)構(gòu)在第一次安裝時，只要保證管道夾具2的垂直度，就能保證后面進氣管1的安裝沒有問題。進氣管1與管道夾具2的固定是通過一個定位銷3卡住位于進氣管1末端的凹槽，然后再鎖緊C型環(huán)以完成安裝。再做PM時或其他需要更換進氣管1的操作時，只需要拆除C型環(huán)與定位銷3就可輕松更換進氣管1，且不用考慮進氣管1安裝的垂直度問題。

本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員在結(jié)合現(xiàn)有技術(shù)以及上述實施例可以實現(xiàn)變化例，在此不做贅述。這樣的變化例并不影響本實用新型的實質(zhì)內(nèi)容，在此不予贅述。

以上對本實用新型的較佳實施例進行了描述。需要理解的是，本實用新型并不局限于上述特定實施方式，其中未盡詳細(xì)描述的設(shè)備和結(jié)構(gòu)應(yīng)該理解為用本領(lǐng)域中的普通方式予以實施；任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對本實用新型技術(shù)方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例，這并不影響本實用新型的實質(zhì)內(nèi)容。因此，凡是未脫離本實用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案保護的范圍內(nèi)。