本實(shí)用新型涉及顯示器制造領(lǐng)域，特別涉及一種支撐頂針及承載腔室。

背景技術(shù)：

在顯示器件制造過程中，通常需要采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(英文：Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition；簡稱：PECVD)鍍膜工藝，使硅烷、氨氣和氫氣等氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并高溫沉積在基板上，使得基板上沉積出所需要的薄膜。隨后，再通過機(jī)械手將沉積有薄膜的基板傳輸至承載腔室，并將基板放置在用于支撐基板的支撐頂針上，以便于完成基板的冷卻，基板被冷卻之后，再通過機(jī)械手將基板從承載腔室取出。

現(xiàn)有技術(shù)中有一種支撐頂針，該支撐頂針為圓柱結(jié)構(gòu)，該支撐頂針的一端通過螺絲固定在承載腔室的內(nèi)壁上，另一端的側(cè)面支撐基板，支撐頂針的側(cè)面與基板線接觸。當(dāng)機(jī)械手將基板傳輸至承載腔室時(shí)，以及當(dāng)機(jī)械手將基板從承載腔室取出時(shí)，基板與支撐頂針之間會(huì)不斷摩擦。隨著時(shí)間的推移，支撐頂針上與基板接觸的地方漸變?yōu)槠矫?，支撐頂針與基板之間變?yōu)槊娼佑|，基板與支撐頂針的接觸面的面積變大。而基板在被冷卻的過程中，會(huì)由高溫變?yōu)槌?，?dāng)基板與支撐頂針的接觸面的面積較大時(shí)，基板在與支撐頂針相接觸的地方易產(chǎn)生裂紋，形成碎片。為了防止基板產(chǎn)生裂紋，每次當(dāng)支撐頂針上與基板接觸處變?yōu)槠矫鏁r(shí)，就旋轉(zhuǎn)支撐頂針，使支撐頂針的側(cè)面與基板之間再次形成線接觸。

通常在將支撐頂針旋轉(zhuǎn)3次后，用于支撐基板的支撐頂針一端的側(cè)面變?yōu)槠矫?，整個(gè)支撐頂針便無法繼續(xù)使用，需要重新?lián)Q一個(gè)新的支撐頂針，因此，支撐頂針的使用壽命較短。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決支撐頂針的使用壽命較短的問題，本實(shí)用新型提供了一種支撐頂針及承載腔室。所述技術(shù)方案如下：

第一方面，提供了一種支撐頂針，所述支撐頂針包括多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)，

所述多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)通過連接機(jī)構(gòu)串接，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)的高度方向與所述連接機(jī)構(gòu)的高度方向平行，所述連接機(jī)構(gòu)用于將所述多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)固定在承載腔室的內(nèi)壁上，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)能夠在所述連接機(jī)構(gòu)上移動(dòng)至目標(biāo)位置以支撐基板，且能夠圍繞所述連接機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，所述支撐機(jī)構(gòu)的側(cè)面與所述基板線接觸。

可選的，所述連接機(jī)構(gòu)為螺紋桿，

每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)為圓柱結(jié)構(gòu)，且中心設(shè)置有螺孔，所述螺孔的長度方向與所述支撐機(jī)構(gòu)的高度方向平行；

所述螺紋桿穿過每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)的螺孔以串接所述多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)，所述螺紋桿的一端設(shè)置在所述承載腔室的內(nèi)壁上，所述螺紋桿的另一端設(shè)置有卡接螺帽。

可選的，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)的上底面設(shè)置有n個(gè)卡接槽，下底面設(shè)置有能夠與所述n個(gè)卡接槽相卡接的n個(gè)凸起結(jié)構(gòu)，所述n大于或等于2。

可選的，所述連接機(jī)構(gòu)包括連接部件和固定部件，

所述連接部件固定在所述承載腔室的內(nèi)壁上，所述連接部件的底部設(shè)置有至少兩個(gè)滑軌，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)能夠在所述至少兩個(gè)滑軌上移動(dòng)至所述目標(biāo)位置，所述連接部件與所述固定部件的一端固定連接，所述固定部件用于固定每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)。

可選的，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)為圓柱結(jié)構(gòu)，

每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)的側(cè)面貫穿設(shè)置有定位孔，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)通過所述定位孔上的固定螺帽固定在所述固定部件上。

可選的，每個(gè)所述滑軌遠(yuǎn)離所述連接部件的一端設(shè)置有限位螺帽。

可選的所述卡接螺帽與所述螺紋桿之間設(shè)置有墊片。

可選的每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)與所述至少兩個(gè)滑軌的接觸處設(shè)置有隔墊層，所述隔墊層上設(shè)置有與所述至少兩個(gè)滑軌中每個(gè)所述滑軌相對(duì)應(yīng)的滑塊。

可選的所述連接部件為圓柱結(jié)構(gòu)，所述固定部件的橫截面為半圓弧形，所述連接部件的側(cè)面與所述固定部件的內(nèi)表面接觸。

可選的所述卡接槽和所述凸起結(jié)構(gòu)均呈十字狀。

可選的所述連接部件和所述固定部件為一體件。

第二方面，提供了一種承載腔室，所述承載腔室的內(nèi)壁設(shè)置有多個(gè)支撐頂針，每個(gè)所述支撐頂針為第一方面所述的支撐頂針。

本實(shí)用新型提供了一種支撐頂針及承載腔室，該支撐頂針包括多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)，每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)能夠在連接機(jī)構(gòu)上移動(dòng)至目標(biāo)位置以支撐基板，且能夠圍繞連接機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，當(dāng)目標(biāo)位置上的支撐機(jī)構(gòu)無法被繼續(xù)使用時(shí)，只需更換另一支撐機(jī)構(gòu)，無需重新?lián)Q取一個(gè)新的支撐頂針，因此，延長了支撐頂針的使用壽命。

應(yīng)當(dāng)理解的是，以上的一般描述和后文的細(xì)節(jié)描述僅是示例性和解釋性的，并不能限制本實(shí)用新型。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種支撐頂針的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種支撐機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種支撐機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的另一種支撐頂針的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種支撐機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種支撐頂針支撐基板的示意圖；

圖7是現(xiàn)有技術(shù)中的支撐頂針的結(jié)構(gòu)示意圖。

通過上述附圖，已示出本實(shí)用新型明確的實(shí)施例，后文中將有更詳細(xì)的描述。這些附圖和文字描述并不是為了通過任何方式限制本實(shí)用新型構(gòu)思的范圍，而是通過參考特定實(shí)施例為本領(lǐng)域技術(shù)人員說明本實(shí)用新型的概念。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種支撐頂針100，如圖1所示，該支撐頂針100包括多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110。

多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110通過連接機(jī)構(gòu)120串接，每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110的高度方向(如圖1中u所指示的方向)與連接機(jī)構(gòu)120的高度方向(如圖1中v所指示的方向)平行。連接機(jī)構(gòu)120用于將多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110固定在承載腔室的內(nèi)壁(圖1中未畫出)上，每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110能夠在連接機(jī)構(gòu)120上移動(dòng)至目標(biāo)位置以支撐基板200，且能夠圍繞連接機(jī)構(gòu)120旋轉(zhuǎn)，支撐機(jī)構(gòu)110的側(cè)面與基板200線接觸。

綜上所述，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的支撐頂針，該支撐頂針包括多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)，每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)能夠在連接機(jī)構(gòu)上移動(dòng)至目標(biāo)位置以支撐基板，且能夠圍繞連接機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，當(dāng)目標(biāo)位置上的支撐機(jī)構(gòu)無法被繼續(xù)使用時(shí)，只需更換另一支撐機(jī)構(gòu)，無需重新?lián)Q取一個(gè)新的支撐頂針，因此，延長了支撐頂針的使用壽命。

可選的，如圖2所示，連接機(jī)構(gòu)120為螺紋桿，每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110為圓柱結(jié)構(gòu)，且中心設(shè)置有螺孔111，螺孔111的長度方向(如圖2中w所指示的方向)與支撐機(jī)構(gòu)110的高度方向(如圖2中u所指示的方向)平行。螺紋桿穿過每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110的螺孔111以串接多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)。螺紋桿的一端設(shè)置在承載腔室的內(nèi)壁上，螺紋桿的另一端設(shè)置有卡接螺帽121。支撐機(jī)構(gòu)旋進(jìn)螺紋桿，由于支撐機(jī)構(gòu)和螺紋桿之間的摩擦力較大，所以支撐機(jī)構(gòu)不易在螺紋桿上滑動(dòng)。另外，卡接螺帽能夠限定目標(biāo)位置處的支撐機(jī)構(gòu)的位置，鎖緊目標(biāo)位置處的支撐機(jī)構(gòu)，防止目標(biāo)位置處的支撐機(jī)構(gòu)脫落。需要說明的是，圖2是以一個(gè)支撐機(jī)構(gòu)為例進(jìn)行說明的。進(jìn)一步的，卡接螺帽與螺紋桿之間設(shè)置有墊片?？ń勇菝迸c螺紋桿通過墊片能夠更加緊密地連接在一起。

如圖3所示，每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110的上底面A設(shè)置有n個(gè)卡接槽112，下底面B設(shè)置有能夠與n個(gè)卡接槽112相卡接的n個(gè)凸起結(jié)構(gòu)113，n大于或等于2。示例的，n等于4。

示例的，如圖3所示，卡接槽和凸起結(jié)構(gòu)均呈十字狀。相鄰的兩個(gè)支撐機(jī)構(gòu)能夠通過卡接槽和凸起結(jié)構(gòu)卡接在一起，從而使得多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)能夠更加穩(wěn)固地串接在連接機(jī)構(gòu)上。此外，圖3中的111為螺孔。

進(jìn)一步的，如圖4所示，連接機(jī)構(gòu)120包括連接部件123和固定部件124。連接部件123固定在承載腔室的內(nèi)壁(圖4中未畫出)上，示例的，連接部件可以通過螺絲固定在承載腔室的內(nèi)壁上。連接部件123的底部設(shè)置有至少兩個(gè)滑軌1231，每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110能夠在至少兩個(gè)滑軌1231上移動(dòng)至目標(biāo)位置。連接部件123與固定部件124的一端固定連接，該固定部件124用于固定每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110。

如圖4所示，每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110為圓柱結(jié)構(gòu)。每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110的側(cè)面貫穿設(shè)置有定位孔114，每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110通過定位孔114上的固定螺帽(圖4中未畫出)固定在固定部件上124。固定部件上與定位孔相對(duì)應(yīng)的位置處可以設(shè)置有緊固孔，固定螺帽穿過支撐機(jī)構(gòu)上的定位孔，卡接至該緊固孔上，達(dá)到了將支撐機(jī)構(gòu)固定在固定部件的效果。定位孔在支撐機(jī)構(gòu)的側(cè)面上的位置可以根據(jù)需求來確定，本實(shí)用新型實(shí)施例對(duì)此不做限定。

如圖4所示，連接部件120為圓柱結(jié)構(gòu)，固定部件124的橫截面為半圓弧形，連接部件120的側(cè)面與固定部件124的內(nèi)表面接觸?？蛇x的，連接部件和固定部件可以為一體件。

進(jìn)一步的，如圖4所示，每個(gè)滑軌1231遠(yuǎn)離連接部件123的一端設(shè)置有限位螺帽1232。該限位螺帽能夠限定目標(biāo)位置處的支撐機(jī)構(gòu)的位置，鎖緊目標(biāo)位置處的支撐機(jī)構(gòu)，防止目標(biāo)位置處的支撐機(jī)構(gòu)脫落。

進(jìn)一步的，如圖5所示，每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110與至少兩個(gè)滑軌的接觸處設(shè)置有隔墊層115，該隔墊層115上設(shè)置有與至少兩個(gè)滑軌中每個(gè)滑軌相對(duì)應(yīng)的滑塊1151。在支撐機(jī)構(gòu)上設(shè)置隔墊層和滑塊，便于支撐機(jī)構(gòu)能夠在至少兩個(gè)滑軌上快速移動(dòng)至目標(biāo)位置。

圖6示出了本實(shí)用新型實(shí)施例提供的支撐頂針支撐基板的示意圖。如圖6所示，機(jī)械手601將沉積有薄膜的基板200傳輸至承載腔室，并將基板200放置在用于支撐基板200的支撐頂針上100，支撐頂針100的一端固定在承載腔室的內(nèi)壁上，另一端(即目標(biāo)位置)的支撐機(jī)構(gòu)的側(cè)面支撐基板200，該支撐機(jī)構(gòu)的側(cè)面與基板200線接觸。當(dāng)該支撐機(jī)構(gòu)的側(cè)面與基板200之間變?yōu)槊娼佑|時(shí)，旋轉(zhuǎn)該支撐機(jī)構(gòu)，使該支撐機(jī)構(gòu)的側(cè)面與基板200之間再次形成線接觸。當(dāng)旋轉(zhuǎn)該支撐機(jī)構(gòu)3次以后，該支撐頂針不可用，此時(shí)，將該支撐機(jī)構(gòu)移動(dòng)至連接機(jī)構(gòu)上且遠(yuǎn)離基板的位置處，并將與該支撐機(jī)構(gòu)相鄰的支撐機(jī)構(gòu)移動(dòng)至目標(biāo)位置，再采用當(dāng)前時(shí)刻目標(biāo)位置處的支撐機(jī)構(gòu)繼續(xù)支撐基板。示例的，支撐頂針可以包括4個(gè)支撐機(jī)構(gòu)或5個(gè)支撐機(jī)構(gòu)。需要說明的是，該支撐頂針包括的支撐機(jī)構(gòu)的數(shù)量可以根據(jù)需求來確定，本實(shí)用新型實(shí)施例對(duì)此不作限定。

圖7示出了現(xiàn)有技術(shù)中支撐頂針的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖7所示，現(xiàn)有技術(shù)中的支撐頂針330為一體件，所以當(dāng)支撐頂針330與基板200之間變?yōu)槊娼佑|時(shí)，旋轉(zhuǎn)該支撐頂針330，使支撐頂針330的側(cè)面與基板200之間再次形成線接觸。當(dāng)旋轉(zhuǎn)該支撐頂針3次以后，該支撐頂針便無法繼續(xù)被使用，需要重新?lián)Q一個(gè)新的支撐頂針，所以該支撐頂針一共僅能夠被使用4次。假設(shè)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的支撐頂針包括4個(gè)支撐機(jī)構(gòu)，由于每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)能夠被使用4次，所以該支撐頂針一共可以被使用16次，因此，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的支撐頂針的使用壽命更長。

綜上所述，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的支撐頂針，該支撐頂針包括多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)，每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)能夠在連接機(jī)構(gòu)上移動(dòng)至目標(biāo)位置以支撐基板，且能夠圍繞連接機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)。當(dāng)目標(biāo)位置上的支撐機(jī)構(gòu)無法被繼續(xù)使用時(shí)，只需更換另一支撐機(jī)構(gòu)，無需重新?lián)Q取一個(gè)新的支撐頂針，因此，延長了支撐頂針的使用壽命，且該支撐頂針的成本較低，結(jié)構(gòu)簡單，易于實(shí)現(xiàn)。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種承載腔室，該承載腔室的內(nèi)壁設(shè)置有多個(gè)支撐頂針，每個(gè)支撐頂針為圖1或圖4所示的支撐頂針。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。