技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種拋光檢測裝置。所述拋光檢測裝置包括底座、拋光機(jī)構(gòu)、檢測機(jī)構(gòu)以及噴液管，所述底座中開設(shè)有集液槽，所述集液槽中設(shè)置有格柵，所述底座的周緣開設(shè)有多個(gè)溢出缺口，所述格柵上設(shè)置有拋光座，所述拋光機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)件以及拋光件，所述檢測機(jī)構(gòu)包括裝設(shè)件以及檢測器件。所述底座包括圓形底板以及環(huán)繞所述圓形底板的側(cè)板，所述圓形底板及所述側(cè)板圍繞形成所述集液槽，所述格柵設(shè)置于所述圓形底板上，所述格柵包括相互交錯(cuò)的多個(gè)橫隔板以及多個(gè)縱隔板。所述拋光檢測裝置有利于排出廢液、節(jié)省工序且所述拋光座的固定較為容易。

技術(shù)研發(fā)人員：周利虎;劉宇杰;宋軍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：德米特（蘇州）電子環(huán)保材料有限公司
文檔號(hào)碼：201611075571
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.29
技術(shù)公布日：2017.03.08