技術總結(jié)
本發(fā)明公開了一種負壓環(huán)境下脈沖激光濺射沉積制備黑色二氧化鈦粉末的方法,步驟是:首先,將白色二氧化鈦粉末壓片,得到壓強為140~200Mpa的靶材;然后,將靶材置于真空罐,抽真空使真空罐內(nèi)壓力達到1×10?6?1×104Pa;調(diào)節(jié)脈沖激光器的入射激光束與靶材之間的角度為10~45°,激光器的基片基底與靶材的距離為15~50mm;開啟脈沖激光器,調(diào)節(jié)激光脈寬、激光能量、激光波長和頻率,激光聚焦輻照真空罐中的靶材,處理一定時間,在基片上得到黑色二氧化鈦薄膜,將黑色二氧化鈦薄膜上的黑色二氧化鈦刮下即得到黑色二氧化鈦粉末。本發(fā)明制備過程簡單快速,原材料費用低,反應時間短。
技術研發(fā)人員:魏強;盧紅;黃歡歡;張立憲
受保護的技術使用者:天津大學
文檔號碼:201611052072
技術研發(fā)日:2016.11.24
技術公布日:2017.05.31