本發(fā)明涉及金屬制品表面處理領域，具體涉及一種增大金屬材料表面粗糙度的方法。
背景技術：
半導體工藝通常需要在較高的溫度范圍內(nèi)進行，而加熱器是實現(xiàn)所需工藝溫度的關鍵器件。以 CVD 為例，加熱器通常位于載盤的下方。通過給加熱器輸入功率，加熱器發(fā)熱所產(chǎn)生的熱量傳輸?shù)捷d盤，使得其達到所需的工藝溫度。在這些應用過程中，加熱器和載盤通常沒有直接的接觸，所以傳熱方式以輻射和氣流對流為主，在高溫的時候更主要通過輻射的方式對載盤等部件進行加熱。加熱器中的發(fā)熱體部分通常由片狀、棒狀或絞絲狀的具有一定電阻的材料構成。通過給發(fā)熱體通電，使發(fā)熱體達到較高的溫度，呈現(xiàn)紅熱狀態(tài)，產(chǎn)生熱量并向外輻射。
發(fā)熱體熱輻射能力的高低對加熱器的整體效率最為重要。發(fā)熱體的熱輻射能力以熱發(fā)射率來表征。物體的熱發(fā)射率在 0 到 1 之間，熱發(fā)射率越高越接近 1，熱發(fā)射率越低越接近 0。物體的熱發(fā)射率的大小由其材料和表面形貌等多種因素決定。
已有的提高加熱器發(fā)熱體熱發(fā)射率的方法之一是給發(fā)熱體主體材料表面覆蓋一層具有更高熱輻射率的材料。這種方法不僅需要使用昂貴的鍍膜設備，從而大幅度地增加了設備投入的成本，而且所覆蓋的材料在主體材料上的粘附能力通常不佳。由于主體材料和所鍍材料常常存在熱膨脹系數(shù)的差異，在加熱器使用的過程中很容易造成鍍層的開裂和脫落。
提高材料的粗糙度也可以有效地增大加熱器發(fā)熱體的熱發(fā)射率，該方法是一種簡單穩(wěn)定的方法。但是現(xiàn)有的提高金屬材料粗糙度的方法主要是對材料進行噴砂處理，但在噴砂過程中由于強的壓力會導致部分金屬材料發(fā)生變形，同時噴砂對材料粗糙度的提高程度是有限的。
技術實現(xiàn)要素：
針對上述現(xiàn)有技術存在的問題，本發(fā)明提供一種增大金屬材料表面粗糙度的方法，該方法操作過程簡單、投入成本低、可以有效提高金屬表面粗糙度，并能使加熱器的發(fā)熱體獲得穩(wěn)定的熱發(fā)射率，該方法能解決異種材料之間的相容性問題，能避免由于異種材料特性不同造成的涂層材料易剝落、易開裂和易產(chǎn)生孔洞的問題。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種增大金屬材料表面粗糙度的方法，包括以下方法：
步驟一：將金屬砂加熱制成熔融或半熔融狀態(tài)的金屬液；所述金屬砂全部采用與待噴涂基體材質(zhì)相同的金屬制成或者所述金屬砂中的一部分采用與待噴涂基體材質(zhì)相同的金屬制成；
步驟二：利用噴涂設備將步驟一中的金屬液均勻地噴涂到待噴涂基體表面；
步驟三：將噴涂好的基體進行常溫冷卻。
該方法采用的噴涂用的金屬砂全部采用與待噴涂基體材質(zhì)相同的金屬制成或者采用的噴涂用的金屬砂中的一部分采用與待噴涂基體材質(zhì)相同的金屬制成，能夠顯著提高基體和涂層的兼容性，能夠解決異種材料之間的相容性問題，避免了由于異種材料特點不同而造成的涂層材料易剝落、易開裂和易出現(xiàn)孔洞的問題。同時，將金屬砂加熱制成熔融或半熔融狀態(tài)的金屬液進行噴涂，能夠顯著地提高基體表面的粗糙度，從而能有利于加熱體獲得更好的發(fā)射率。
進一步，為了提高噴涂效果，所述噴涂設備為液體噴砂機。
進一步，為了實現(xiàn)均勻加熱，所述步驟一中金屬砂置入反應釜中進行加熱。
進一步，為了進一步提高加熱效果，所述步驟一中金屬砂在反應釜中進行加熱的過程中采用攪拌棒進行均勻攪拌。
具體實施方式
下面將對本發(fā)明作進一步說明。
一種增大金屬材料表面粗糙度的方法，包括以下方法：
步驟一：將金屬砂加熱制成熔融或半熔融狀態(tài)的金屬液；所述金屬砂全部采用與待噴涂基體材質(zhì)相同的金屬制成或者所述金屬砂中的一部分采用與待噴涂基體材質(zhì)相同的金屬制成；
步驟二：利用噴涂設備將步驟一中的金屬液均勻地噴涂到待噴涂基體表面；
步驟三：將噴涂好的基體進行常溫冷卻。
該方法采用的噴涂用的金屬砂全部采用與待噴涂基體材質(zhì)相同的金屬制成或者采用的噴涂用的金屬砂中的一部分采用與待噴涂基體材質(zhì)相同的金屬制成，能夠顯著提高基體和涂層的兼容性，能夠解決異種材料之間的相容性問題，避免了由于異種材料特點不同而造成的涂層材料易剝落、易開裂和易出現(xiàn)孔洞的問題。由于熔融或半熔融狀態(tài)的金屬液中會夾雜有金屬砂，當金屬液遇冷固定沉積于基體材料表面時，能夠顯著提高基體材料表面的粗糙度。同時，將金屬砂加熱制成熔融或半熔融狀態(tài)的金屬液進行噴涂，能夠顯著地提高基體表面的粗糙度，從而能有利于加熱體獲得更好的發(fā)射率。
為了提高噴涂效果，所述噴涂設備為液體噴砂機。
為了實現(xiàn)均勻加熱，所述步驟一中金屬砂置入反應釜中進行加熱。
為了進一步提高加熱效果，所述步驟一中金屬砂在反應釜中進行加熱的過程中采用攪拌棒進行均勻攪拌。