技術(shù)編號(hào):12347377
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及金屬制品表面處理領(lǐng)域,具體涉及一種增大金屬材料表面粗糙度的方法。背景技術(shù)半導(dǎo)體工藝通常需要在較高的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行,而加熱器是實(shí)現(xiàn)所需工藝溫度的關(guān)鍵器件。以CVD為例,加熱器通常位于載盤(pán)的下方。通過(guò)給加熱器輸入功率,加熱器發(fā)熱所產(chǎn)生的熱量傳輸?shù)捷d盤(pán),使得其達(dá)到所需的工藝溫度。在這些應(yīng)用過(guò)程中,加熱器和載盤(pán)通常沒(méi)有直接的接觸,所以傳熱方式以輻射和氣流對(duì)流為主,在高溫的時(shí)候更主要通過(guò)輻射的方式對(duì)載盤(pán)等部件進(jìn)行加熱。加熱器中的發(fā)熱體部分通常由片狀、棒狀或絞絲狀的具有一定電阻的材料構(gòu)成。通過(guò)給發(fā)...
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