本發(fā)明涉及一種將被處理物以收容在輸送托盤(pán)中的狀態(tài)依次輸送到熱處理部，對(duì)收容在輸送托盤(pán)中的被處理物連續(xù)地進(jìn)行熱處理的連續(xù)熱處理設(shè)備。特別是具有如下的特征，當(dāng)在惰性氣氛等的氣氛條件下對(duì)粉粒體等被處理物進(jìn)行熱處理的過(guò)程中，能在將上述被處理物收容在輸送托盤(pán)中的狀態(tài)下將上述被處理物引導(dǎo)到減壓處理部進(jìn)行減壓處理時(shí)，防止因劇烈的減壓處理而使收容在輸送托盤(pán)中的粉粒體等被處理物從輸送托盤(pán)被抽吸而排出，并且能高效地對(duì)收容在輸送托盤(pán)中的粉粒體等被處理物進(jìn)行減壓處理后將粉粒體等被處理物引導(dǎo)到熱處理部，不會(huì)使裝置大型化，能夠依次高效地對(duì)收容在輸送托盤(pán)中的粉粒體等被處理物進(jìn)行熱處理。

背景技術(shù)：

一直以來(lái)，使用將被處理物依次引導(dǎo)到熱處理部以連續(xù)地對(duì)被處理物進(jìn)行熱處理的連續(xù)熱處理設(shè)備。

此外，作為這種連續(xù)熱處理設(shè)備的一種，例如，如專(zhuān)利文獻(xiàn)1所示，已知有將被處理物以收容在輸送托盤(pán)中的狀態(tài)依次引導(dǎo)到熱處理部來(lái)進(jìn)行熱處理的連續(xù)熱處理設(shè)備。

另外，在以往，為了對(duì)被處理物適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行滲碳處理等熱處理，如專(zhuān)利文獻(xiàn)2等所示，設(shè)置吹掃部(日文：パージ部)等減壓處理部，在將被處理物引導(dǎo)到熱處理部進(jìn)行熱處理之前，上述減壓處理部對(duì)被處理物進(jìn)行減壓處理，將被處理物引導(dǎo)到上述減壓處理部，在該減壓處理部?jī)?nèi)使被處理物減壓后，抽去進(jìn)入到被處理物的間隙內(nèi)的空氣，并且將惰性氣體導(dǎo)入如上所述進(jìn)行了減壓的減壓處理部?jī)?nèi)以進(jìn)行置換，在對(duì)被處理物進(jìn)行了減壓處理后，將如上所述進(jìn)行了減壓處理后的被處理物依次引導(dǎo)到熱處理部進(jìn)行熱處理。

在此，在以上述方式在減壓處理部?jī)?nèi)對(duì)粉粒體等被處理物進(jìn)行減壓處理時(shí)，一般來(lái)說(shuō)，將被處理物以收容在輸送托盤(pán)中的狀態(tài)引導(dǎo)到減壓處理部?jī)?nèi)進(jìn)行減壓處理。

此外，當(dāng)這樣以將粉粒體等被處理物收容在輸送托盤(pán)中的狀態(tài)在減壓處理部?jī)?nèi)進(jìn)行減壓處理時(shí)，存在如下問(wèn)題：當(dāng)為了縮短減壓處理時(shí)間來(lái)提高生產(chǎn)率，而提高使減壓處理部?jī)?nèi)減壓的減壓速度時(shí)，粉粒體等被處理物會(huì)從輸送托盤(pán)內(nèi)揚(yáng)起，與空氣一起被抽吸而排出，可供處理的粉粒體等被處理物的量減少，此外，被抽吸的粉粒體等被處理物會(huì)將進(jìn)行減壓處理的抽吸泵及排氣管等堵塞。

另一方面，當(dāng)為了不使粉粒體等被處理物在輸送托盤(pán)內(nèi)揚(yáng)起，而減慢對(duì)粉粒體等被處理物進(jìn)行減壓處理時(shí)的減壓速度時(shí)，存在如下問(wèn)題：為了將粉粒體等被處理物所含的空氣充分地去除，減壓至規(guī)定的壓力所需的時(shí)間較長(zhǎng)，在對(duì)被處理物進(jìn)行了減壓處理后，直到將被處理物引導(dǎo)到熱處理部進(jìn)行熱處理為止的時(shí)間會(huì)增長(zhǎng)而生產(chǎn)率明顯下降。

另外，也可以考慮連續(xù)地加長(zhǎng)設(shè)置以上述方式對(duì)粉粒體等被處理物進(jìn)行減壓處理的減壓處理部，在這樣加長(zhǎng)后的減壓處理部?jī)?nèi)，使收容有粉粒體等被處理物的輸送托盤(pán)依次移動(dòng)，慢慢地對(duì)收容在輸送托盤(pán)中的粉粒體等被處理物進(jìn)行減壓處理，但在這種情況下，存在裝置整體的長(zhǎng)度變得非常長(zhǎng)而使裝置大型化等問(wèn)題。

另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)3中公開(kāi)了如下技術(shù)：在盒上沿上下方向隔開(kāi)所需間隔地配置多層架子，當(dāng)在將裝載有壓粉體的板配置于各架子之后，將在各架子上配置有板的盒送出到升降工作臺(tái)上，使上述升降工作臺(tái)升降，將裝載有壓粉體的板引導(dǎo)到燒制爐中。

但是，在專(zhuān)利文獻(xiàn)3中，僅示出了將裝載有壓粉體的板分別配置在設(shè)置于盒的多層架子上，并將配置有多個(gè)這樣裝載有壓粉體的板的盒引導(dǎo)到升降工作臺(tái)上，但有關(guān)在將粉粒體等被處理物引導(dǎo)到熱處理部進(jìn)行熱處理之前對(duì)被處理物進(jìn)行減壓處理，以及在這種情況下存在的上述這樣的問(wèn)題，完全未作說(shuō)明，因而無(wú)法解決上述這樣的問(wèn)題。

另外，假如在如上所述地配置于盒的多層架子上配置分別收容有粉粒體等被處理物的輸送托盤(pán)，在處理部?jī)?nèi)對(duì)收容在各輸送托盤(pán)中的被處理物進(jìn)行減壓處理的情況下，在將各輸送托盤(pán)以配置于上述盒的狀態(tài)引導(dǎo)到處理部?jī)?nèi)進(jìn)行了減壓處理后，需要將盒從處理部?jī)?nèi)取出，作業(yè)麻煩，并且需要進(jìn)行將收容有粉粒體等被處理物的輸送托盤(pán)配置在設(shè)置于盒的多層架子上的作業(yè)。另外，存在如下問(wèn)題：盒的體積變大，需要增大處理部的容積，為使處理部?jī)?nèi)減壓至規(guī)定的壓力而所需的時(shí)間變長(zhǎng)，并且裝置會(huì)大型化等。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本專(zhuān)利特開(kāi)2004-143565號(hào)公報(bào)

專(zhuān)利文獻(xiàn)2：日本專(zhuān)利特開(kāi)2005-172426號(hào)公報(bào)

專(zhuān)利文獻(xiàn)3：日本專(zhuān)利特開(kāi)平9-249902號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于解決在將被處理物以收容在輸送托盤(pán)中的狀態(tài)依次輸送到熱處理部，以對(duì)收容在輸送托盤(pán)中的被處理物連續(xù)進(jìn)行熱處理的連續(xù)熱處理設(shè)備中存在的上述這樣的各種問(wèn)題。

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于在上述這種連續(xù)熱處理設(shè)備中，當(dāng)在惰性氣氛等的氣氛條件下對(duì)粉粒體等被處理物進(jìn)行熱處理的過(guò)程中，能夠防止在將上述被處理物以收容在輸送托盤(pán)中的狀態(tài)引導(dǎo)到減壓處理部進(jìn)行減壓處理時(shí)，因劇烈的減壓處理而使收容在輸送托盤(pán)中的粉粒體等被處理物從輸送托盤(pán)中被抽吸而排出，使得輸送托盤(pán)內(nèi)的粉粒體等被處理物的量減少，并且能夠高效地對(duì)收容在輸送托盤(pán)中的粉粒體等被處理物進(jìn)行減壓處理后將粉粒體等被處理物引導(dǎo)到熱處理部，不會(huì)使裝置大型化，便能夠依次高效地對(duì)收容在輸送托盤(pán)中的粉粒體等被處理物進(jìn)行熱處理。

在本發(fā)明的連續(xù)熱處理設(shè)備中，為了解決上述這種技術(shù)問(wèn)題，將被處理物以收容在輸送托盤(pán)中的狀態(tài)依次輸送到熱處理部，對(duì)收容在輸送托盤(pán)中的被處理物連續(xù)進(jìn)行熱處理，其中，上述連續(xù)熱處理設(shè)備設(shè)置有：減壓處理部，在使收容有被處理物的輸送托盤(pán)層疊了多層的狀態(tài)下，上述減壓處理部對(duì)收容在各輸送托盤(pán)中的被處理物進(jìn)行減壓處理；以及輸送托盤(pán)分離部，上述輸送托盤(pán)分離部使一部分的輸送托盤(pán)與從上述減壓處理部搬入的處于層疊了多層的狀態(tài)的輸送托盤(pán)分離后將一部分的輸送托盤(pán)依次輸送到上述的熱處理部。

在此，在本發(fā)明的連續(xù)熱處理設(shè)備中，將收容有被處理物的輸送托盤(pán)以層疊了多層的狀態(tài)搬入到減壓處理部，當(dāng)在該減壓處理部中對(duì)收容在各輸送托盤(pán)中的被處理物進(jìn)行減壓處理后，將這樣減壓處理后的各輸送托盤(pán)搬入到輸送托盤(pán)分離部。接著，使一部分的輸送托盤(pán)與這樣搬入到輸送托盤(pán)分離部的多層的輸送托盤(pán)分離后將一部分的輸送托盤(pán)依次輸送到上述的熱處理部，并且重新將收容有被處理物的輸送托盤(pán)以層疊了多層的狀態(tài)搬入到上述減壓處理部。

通過(guò)這樣，將搬入到輸送托盤(pán)分離部的多層的輸送托盤(pán)依次輸送到熱處理部，當(dāng)在熱處理部依次對(duì)收容在各輸送托盤(pán)中的被處理物進(jìn)行熱處理的過(guò)程中，重新將收容有被處理物的輸送托盤(pán)以層疊了多層的狀態(tài)搬入到減壓處理部，從而能在減壓處理部歷經(jīng)較長(zhǎng)時(shí)間來(lái)對(duì)收容在各輸送托盤(pán)中的被處理物進(jìn)行減壓處理。

因此，能夠減慢減壓處理部中的減壓速度，防止收容在輸送托盤(pán)中的粉粒體等被處理物從輸送托盤(pán)中被抽吸而排出，并且能使減壓處理部?jī)?nèi)減壓至規(guī)定的壓力，另外能夠延長(zhǎng)將收容在輸送托盤(pán)中的粉粒體等被處理物保持在這樣減壓至規(guī)定的壓力的減壓處理部?jī)?nèi)的保持時(shí)間，從而能將進(jìn)入到被處理物的間隙內(nèi)的空氣充分地去除。

在此，在本發(fā)明的連續(xù)熱處理設(shè)備中，上述被處理物的種類(lèi)沒(méi)有特別限定，而在使用本發(fā)明的連續(xù)熱處理設(shè)備時(shí)，即使不加快減壓速度，也能高效地對(duì)被處理物進(jìn)行減壓處理后進(jìn)行熱處理，因此，能夠理想地用在被處理物為粉粒體的情況。

另外，在本發(fā)明的連續(xù)熱處理設(shè)備中，當(dāng)使一部分的輸送托盤(pán)與以上述方式搬入到輸送托盤(pán)分離部的多層的輸送托盤(pán)分離后依次輸送到熱處理部時(shí)，可以在上述輸送托盤(pán)分離部設(shè)置分離元件，該分離元件使一部分的輸送托盤(pán)與處于層疊了多層的狀態(tài)的輸送托盤(pán)分離。

另外，在本發(fā)明的連續(xù)熱處理設(shè)備中，當(dāng)以上述方式將收容有被處理物的輸送托盤(pán)以層疊了多層的狀態(tài)搬入到減壓處理部，并對(duì)收容在各輸送托盤(pán)中的被處理物進(jìn)行減壓處理時(shí)，除了使上述減壓處理部?jī)?nèi)減壓以外，也可以在如上所述使減壓處理部?jī)?nèi)減壓后，將氮?dú)獾榷栊詺怏w導(dǎo)入到上述減壓處理部?jī)?nèi)。

在本發(fā)明的連續(xù)熱處理設(shè)備中，在將以上述方式搬入到輸送托盤(pán)分離部的多層的輸送托盤(pán)依次輸送到熱處理部，在熱處理部對(duì)收容在各輸送托盤(pán)中的被處理物依次進(jìn)行熱處理的過(guò)程中，能在減壓處理部中歷經(jīng)較長(zhǎng)時(shí)間對(duì)收容在新搬入到減壓處理部的各輸送托盤(pán)中的被處理物進(jìn)行減壓處理。

其結(jié)果是，當(dāng)使用本發(fā)明的連續(xù)熱處理設(shè)備時(shí)，在將被處理物以收容在輸送托盤(pán)中的狀態(tài)引導(dǎo)到減壓處理部進(jìn)行減壓處理時(shí)，即使不進(jìn)行劇烈的減壓處理，也能充分且高效地對(duì)收容在輸送托盤(pán)中的被處理物進(jìn)行減壓處理，在被處理物為粉粒體的情況下，也能防止由粉粒體構(gòu)成的被處理物從輸送托盤(pán)被抽吸而排出，以使輸送托盤(pán)內(nèi)的由粉粒體構(gòu)成的被處理物的量減少的情況，并且能夠高效地對(duì)收容在各輸送托盤(pán)中的粉粒體等被處理物進(jìn)行減壓處理后引導(dǎo)到熱處理部，不會(huì)使裝置大型化，能夠依次高效地對(duì)收容在輸送托盤(pán)中的粉粒體等被處理物進(jìn)行熱處理。

另外，在本發(fā)明的連續(xù)熱處理設(shè)備中，由于將多個(gè)輸送托盤(pán)直接層疊，因此，與將輸送托盤(pán)載置在設(shè)置于盒等的架子等上的現(xiàn)有情況相比，能夠降低高度，并能夠減小減壓處理部的容積，即使減壓速度變慢，也能縮短使減壓處理部?jī)?nèi)減壓至規(guī)定壓力所需的時(shí)間。

附圖說(shuō)明

圖1(A)和圖1(B)表示在本發(fā)明實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，將由粉粒體構(gòu)成的被處理物收容在輸送托盤(pán)內(nèi)的狀態(tài)，其中，圖1(A)是示意剖視圖，圖1(B)是示意俯視圖。

圖2是表示在上述實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，層疊了多層上述輸送托盤(pán)的狀態(tài)的示意主視圖。

圖3是表示在上述實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，將層疊了多層其中收容有被處理物的輸送托盤(pán)的狀態(tài)下，將被處理物搬入到減壓處理部的狀態(tài)的示意局部說(shuō)明圖。

圖4是表示在上述實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，在減壓處理部對(duì)收容在層疊了多層的輸送托盤(pán)中的被處理物進(jìn)行減壓處理的狀態(tài)的示意局部說(shuō)明圖。

圖5是表示在上述實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，當(dāng)在減壓處理部對(duì)收容在層疊了多層的輸送托盤(pán)中的被處理物進(jìn)行減壓處理后，將上述被處理物搬入到輸送托盤(pán)分離部的狀態(tài)的示意局部說(shuō)明圖。

圖6是表示在上述實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，在將減壓處理后的多層的輸送托盤(pán)從減壓處理部搬入到輸送托盤(pán)分離部后，將收容有被處理物且層疊了多層的新的輸送托盤(pán)搬入到減壓處理部的狀態(tài)的示意局部說(shuō)明圖。

圖7是表示在上述實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，使最下層的輸送托盤(pán)與搬入到輸送托盤(pán)分離部中的多層的輸送托盤(pán)分離，并且對(duì)收容在新搬入到減壓處理部的層疊了多層的輸送托盤(pán)中的被處理物進(jìn)行減壓處理的狀態(tài)的示意局部說(shuō)明圖。

圖8是表示在上述實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，使搬入到輸送托盤(pán)分離部的多層的輸送托盤(pán)分離后依次搬出到熱處理部，并且對(duì)收容在新搬入到減壓處理部的層疊了多層的輸送托盤(pán)中的被處理物進(jìn)行減壓處理的狀態(tài)的示意局部說(shuō)明圖。

圖9是表示在上述實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，在使搬入到輸送托盤(pán)分離部的多層的輸送托盤(pán)分離并搬出到熱處理部后，將在減壓處理部進(jìn)行減壓處理后的多層的輸送托盤(pán)搬入到輸送托盤(pán)分離部的狀態(tài)的示意局部說(shuō)明圖。

圖10(A)和圖10(B)表示在上述實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，用于在輸送托盤(pán)分離部?jī)?nèi)將層疊了多層的輸送托盤(pán)分離的分離元件的例子，其中，圖10(A)是示意剖視圖，圖10(B)是示意俯視圖。

圖11(A)和圖11(B)是表示在設(shè)置有圖10(A)、圖10(B)所示的分離元件的連續(xù)熱處理設(shè)備中，將層疊了多層的輸送托盤(pán)搬入到輸送托盤(pán)分離部并保持于輸送輥的狀態(tài)，其中，圖11(A)是表示設(shè)置在旋轉(zhuǎn)桿前端的保持構(gòu)件與輸送托盤(pán)的位置關(guān)系的局部說(shuō)明圖，圖11(B)是示意剖視圖。

圖12(A)和圖12(B)表示從圖11(A)、圖11(B)所示的狀態(tài)，利用分離元件中的升降缸使抬起構(gòu)件上升，來(lái)將層疊了多層的輸送托盤(pán)抬起至規(guī)定位置的狀態(tài)，其中，圖12(A)是表示設(shè)置在旋轉(zhuǎn)桿前端的保持構(gòu)件與輸送托盤(pán)的位置關(guān)系的局部說(shuō)明圖，圖12(B)是示意剖視圖。

圖13(A)和圖13(B)表示從圖12(A)、圖12(B)所示的狀態(tài)，使分離元件中的旋轉(zhuǎn)桿旋轉(zhuǎn)，以將設(shè)置在旋轉(zhuǎn)桿前端的保持構(gòu)件經(jīng)過(guò)最下層的輸送托盤(pán)的凹部后引導(dǎo)到位于上述最下層的輸送托盤(pán)上方的輸送托盤(pán)的下方的狀態(tài)，其中，圖13(A)是表示設(shè)置在旋轉(zhuǎn)桿前端的保持構(gòu)件與輸送托盤(pán)的位置關(guān)系的局部說(shuō)明圖，圖13(B)是示意剖視圖。

圖14(A)和圖14(B)表示從圖13(A)、圖13(B)所示的狀態(tài)，利用上述升降缸使抬起構(gòu)件下降，將僅最下層的輸送托盤(pán)保持在輸送托盤(pán)分離部的輸送輥的上方并搬出到熱處理部的狀態(tài)，其中，圖14(A)是表示設(shè)置在旋轉(zhuǎn)桿前端的保持構(gòu)件與輸送托盤(pán)的位置關(guān)系的局部說(shuō)明圖，圖14(B)是示意剖視圖。

圖15(A)和圖15(B)表示在從圖14(A)、圖14(B)所示的狀態(tài)將最下層的輸送托盤(pán)搬出到熱處理部后，利用上述升降缸使抬起構(gòu)件上升，利用抬起構(gòu)件對(duì)處于被上述保持構(gòu)件保持的狀態(tài)的其余層疊著的輸送托盤(pán)進(jìn)行保持的狀態(tài)，其中，圖15(A)是表示設(shè)置在旋轉(zhuǎn)桿前端的保持構(gòu)件與輸送托盤(pán)的位置關(guān)系的局部說(shuō)明圖，圖15(B)是示意剖視圖。

圖16(A)和圖16(B)表示從圖15(A)、圖15(B)所示的狀態(tài)使上述旋轉(zhuǎn)桿逆向旋轉(zhuǎn)，在將設(shè)置在旋轉(zhuǎn)桿前端的保持構(gòu)件從輸送托盤(pán)的下方取出后，利用上述升降缸使抬起構(gòu)件下降，將其余層疊著的輸送托盤(pán)保持在輸送托盤(pán)分離部的輸送輥上方的狀態(tài)，其中，圖16(A)是表示設(shè)置在旋轉(zhuǎn)桿前端的保持構(gòu)件與輸送托盤(pán)的位置關(guān)系的局部說(shuō)明圖，圖16(B)是示意剖視圖。

圖17是在上述實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，改變了設(shè)置于輸送托盤(pán)的凹部的位置的變形例的輸送托盤(pán)的示意仰視圖。

(符號(hào)說(shuō)明)

10 輸送托盤(pán)

11 側(cè)壁

12 凹部

13 底面

20 熱處理爐

21 減壓處理部

22 輸送托盤(pán)分離部

22a 底板

22b 頂部

23 熱處理部

24 導(dǎo)入側(cè)門(mén)

25 輸送輥

26 導(dǎo)出側(cè)門(mén)

31 升降缸

31a 密封材料

32 伸縮桿

33 抬起構(gòu)件

34 回轉(zhuǎn)式致動(dòng)器

34a 密封材料

35 旋轉(zhuǎn)桿

36 保持構(gòu)件

W 被處理物

具體實(shí)施方式

以下，基于附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。另外，本發(fā)明的連續(xù)熱處理設(shè)備不限定于下述實(shí)施方式所示的結(jié)構(gòu)，能在不改變發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)適當(dāng)?shù)馗淖儊?lái)進(jìn)行實(shí)施。

在本實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，如圖1所示，使用俯視呈四邊形、上表面開(kāi)口且具有所需深度的箱狀的輸送托盤(pán)10，將由粉粒體構(gòu)成的被處理物W收容在上述輸送托盤(pán)10內(nèi)，并且在上述輸送托盤(pán)10的相對(duì)的側(cè)壁11的上緣中央部設(shè)置有凹部12。

在此，在本實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，當(dāng)對(duì)收容在輸送托盤(pán)10內(nèi)的由粉粒體構(gòu)成的被處理物W進(jìn)行熱處理時(shí)，如圖2所示，使設(shè)置在輸送托盤(pán)10的側(cè)壁11上的凹部12對(duì)齊到同一面上，將收容有被處理物W的多個(gè)輸送托盤(pán)10層疊。

接著，在本實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，如圖3～圖9所示，將收容有由粉粒體構(gòu)成的被處理物W且層疊了多層的輸送托盤(pán)10，依次引導(dǎo)到熱處理爐20的減壓處理部21、輸送托盤(pán)分離部22以及熱處理部23，對(duì)收容在各輸送托盤(pán)10中的被處理物W進(jìn)行熱處理。

在此，在本實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，如圖3所示，將上述減壓處理部21的導(dǎo)入側(cè)門(mén)24打開(kāi)，將以上述方式層疊了多層的輸送托盤(pán)10搬入到減壓處理部21內(nèi)，并保持在設(shè)置于減壓處理部21內(nèi)的輸送輥25上。另外，減壓處理部21的導(dǎo)出側(cè)門(mén)26處于關(guān)閉的狀態(tài)。

然后，如圖4所示，將上述導(dǎo)入側(cè)門(mén)24關(guān)閉，在使減壓處理部21密閉的狀態(tài)下，利用真空泵等抽吸泵(未圖示)等對(duì)上述減壓處理部21內(nèi)的空氣進(jìn)行抽吸以使上述減壓處理部21內(nèi)減壓，將收容在各輸送托盤(pán)10中的由粉粒體構(gòu)成的被處理物W的粒子間的間隙所含的空氣，經(jīng)過(guò)設(shè)置在各輸送托盤(pán)10的側(cè)壁11上的凹部12充分地抽吸去除。然后，根據(jù)需要，為了達(dá)到與后述的輸送托盤(pán)分離部22及熱處理部23的內(nèi)部同等的壓力及氣氛成分，例如從惰性氣體供給裝置(未圖示)將氮?dú)獾榷栊詺怏w導(dǎo)入到減壓處理部21內(nèi)，對(duì)收容在各輸送托盤(pán)10中的被處理物W進(jìn)行減壓處理。另外，對(duì)減壓處理部21內(nèi)的空氣進(jìn)行抽吸以進(jìn)行減壓的速度設(shè)定為不會(huì)使收容在輸送托盤(pán)10中的被處理物W從輸送托盤(pán)10內(nèi)被抽吸而排出的速度。

接著，如圖5所示，在將減壓處理部21的導(dǎo)入側(cè)門(mén)24關(guān)閉的狀態(tài)下，將減壓處理部21的導(dǎo)出側(cè)門(mén)26打開(kāi)，將在以上述方式層疊了多層的狀態(tài)下進(jìn)行減壓處理后的輸送托盤(pán)10從減壓處理部21內(nèi)搬入到輸送托盤(pán)分離部22內(nèi)，并保持在設(shè)置于輸送托盤(pán)分離部22內(nèi)的輸送輥25上。

然后，如圖6所示，在將上述減壓處理部21的導(dǎo)出側(cè)門(mén)26關(guān)閉后，將大氣導(dǎo)入閥(未圖示)打開(kāi)而使減壓處理部21回到大氣壓，然后將減壓處理部21的導(dǎo)入側(cè)門(mén)24打開(kāi)，將以上述方式層疊了多層的輸送托盤(pán)10搬入到減壓處理部21內(nèi)，并保持在設(shè)置于減壓處理部21內(nèi)的輸送輥25上。

然后，如圖7所示，將上述導(dǎo)入側(cè)門(mén)24關(guān)閉而使減壓處理部21密閉，與上述圖4所示的情況同樣地，在減壓處理部21內(nèi)，慢慢地對(duì)收容在處于層疊了多層的狀態(tài)的各輸送托盤(pán)10中的被處理物W進(jìn)行減壓處理，并且利用后述分離元件，將搬入到上述輸送托盤(pán)分離部22內(nèi)的處于層疊了多層的狀態(tài)的輸送托盤(pán)10中的僅最下層的輸送托盤(pán)10留在上述輸送輥25上，而將其它的輸送托盤(pán)10保持在最下層的輸送托盤(pán)10的上方。

然后，利用上述輸送輥25將分離后的僅最下層的輸送托盤(pán)10從輸送托盤(pán)分離部22輸送到熱處理部23，在該熱處理部23內(nèi)，對(duì)收容在輸送托盤(pán)10內(nèi)的由粉粒體構(gòu)成的被處理物W進(jìn)行熱處理。另外，在本實(shí)施方式中，在將搬入到輸送托盤(pán)分離部22中的處于層疊了多層的狀態(tài)的輸送托盤(pán)10輸送到熱處理部23時(shí)，使輸送托盤(pán)10一層一層地分離，將輸送托盤(pán)10逐層依次輸送到熱處理部23，但也可以在將輸送托盤(pán)10層疊兩層以上的狀態(tài)下使輸送托盤(pán)10分離并輸送到熱處理部23。

然后，如圖8所示，在將以上述方式搬入到輸送托盤(pán)分離部22內(nèi)的各輸送托盤(pán)10逐層依次引導(dǎo)到熱處理部23中進(jìn)行熱處理的期間內(nèi)，在減壓處理部21內(nèi)，繼續(xù)對(duì)收容在如上述這樣處于層疊了多層的狀態(tài)的各輸送托盤(pán)10中的被處理物W進(jìn)行減壓處理。

接著，在如上所述這樣在減壓處理部21內(nèi)對(duì)收容在各輸送托盤(pán)10中的被處理物W進(jìn)行了減壓處理后，如圖9所示，與上述圖5的情況同樣地，在將減壓處理部21的導(dǎo)入側(cè)門(mén)24關(guān)閉的狀態(tài)下，將減壓處理部21的導(dǎo)出側(cè)門(mén)26打開(kāi)，將以層疊了多層的狀態(tài)進(jìn)行減壓處理后的輸送托盤(pán)10從減壓處理部21內(nèi)搬入到先前的輸送托盤(pán)10已被搬出的輸送托盤(pán)分離部22內(nèi)，并保持在設(shè)置于輸送托盤(pán)分離部22內(nèi)的輸送輥25上。

然后，如上述圖6所示，在將上述減壓處理部21的導(dǎo)出側(cè)門(mén)26關(guān)閉之后，使減壓處理部21回到大氣壓，然后將減壓處理部21的導(dǎo)入側(cè)門(mén)24打開(kāi)，將層疊了多層的輸送托盤(pán)10搬入到減壓處理部21內(nèi)，并保持在設(shè)置于減壓處理部21內(nèi)的輸送輥25上。

接著，重復(fù)進(jìn)行上述這樣的操作，將收容有被處理物W的多個(gè)輸送托盤(pán)10依次引導(dǎo)到減壓處理部21、輸送托盤(pán)分離部22以及熱處理部23中，以對(duì)收容在各輸送托盤(pán)10中的被處理物W進(jìn)行熱處理。

在本實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，在利用分離元件使以上述方式搬入到輸送托盤(pán)分離部22中的各輸送托盤(pán)10逐個(gè)依次分離，并輸送到熱處理部23進(jìn)行熱處理的過(guò)程中，將收容有由粉粒體構(gòu)成的被處理物W的輸送托盤(pán)10以層疊了多層的狀態(tài)搬入到減壓處理部21內(nèi)，對(duì)收容在各輸送托盤(pán)10中的由粉粒體構(gòu)成的被處理物W進(jìn)行減壓處理，因此，即使不進(jìn)行劇烈的減壓處理，也能產(chǎn)生對(duì)收容在各輸送托盤(pán)10中的由粉粒體構(gòu)成的被處理物W充分地進(jìn)行減壓處理的時(shí)間，防止由粉粒體構(gòu)成的被處理物W從輸送托盤(pán)10中被抽吸而排出，并且不會(huì)使裝置大型化，便能夠依次高效地對(duì)收容在輸送托盤(pán)10中的由粉粒體構(gòu)成的被處理物W進(jìn)行熱處理。

接著，基于附圖，對(duì)在本實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，在使以層疊了多層的狀態(tài)搬入到輸送托盤(pán)分離部22內(nèi)的輸送托盤(pán)10分離后將輸送托盤(pán)10輸送到熱處理部23時(shí)，使處于層疊了多層的狀態(tài)的輸送托盤(pán)10分離的分離元件的例子進(jìn)行說(shuō)明。另外，使處于層疊了多層的狀態(tài)的輸送托盤(pán)10分離的分離元件不限定于以下所示的這種元件。

在此，在圖10(A)、圖10(B)所示的分離元件中，在上述輸送托盤(pán)分離部22的底板22a的下方隔著密封材料31a設(shè)置有升降缸31，將該升降缸31的伸縮桿32經(jīng)過(guò)輸送托盤(pán)分離部22的底板22a導(dǎo)入到輸送托盤(pán)分離部22內(nèi)，并且在該伸縮桿32前端設(shè)置有抬起構(gòu)件33，該抬起構(gòu)件33將保持在輸送托盤(pán)分離部22中的輸送輥25上的輸送托盤(pán)10抬起。

另外，在上述輸送托盤(pán)分離部22的頂部22b的上方，分別隔著密封材料34a沿輸送托盤(pán)10的輸送方向以及與輸送方向正交的寬度方向以空開(kāi)所需間隔的方式設(shè)置有四個(gè)回轉(zhuǎn)式致動(dòng)器34，從各回轉(zhuǎn)式致動(dòng)器34分別將旋轉(zhuǎn)桿35經(jīng)過(guò)輸送托盤(pán)分離部22的頂部22b導(dǎo)入到輸送托盤(pán)分離部22內(nèi)，并且在各旋轉(zhuǎn)桿35的前端以沿水平方向突出的方式設(shè)置有保持構(gòu)件36，隨著各旋轉(zhuǎn)桿35的旋轉(zhuǎn)，使各保持構(gòu)件36沿水平方向旋轉(zhuǎn)。

在此，在使用了上述分離元件的情況下，在將層疊了多層的輸送托盤(pán)10搬入到輸送托盤(pán)分離部22中的輸送輥25上的狀態(tài)下，如圖11(A)、圖11(B)所示，利用上述各回轉(zhuǎn)式致動(dòng)器34使設(shè)置在各旋轉(zhuǎn)桿35前端的各保持構(gòu)件36退避到不與輸送托盤(pán)10接觸的位置，并且利用上述升降缸31使上述抬起構(gòu)件33下降，以位于比輸送托盤(pán)分離部22中的輸送輥25更靠下方的位置。

然后，在利用上述分離元件，使僅最下層的輸送托盤(pán)10與搬入并保持在輸送托盤(pán)分離部22中的輸送輥25上的多層的輸送托盤(pán)10分離，來(lái)將最下層的輸送托盤(pán)10輸送到熱處理部23的時(shí)候，如圖12(A)、圖12(B)所示，將設(shè)置在各旋轉(zhuǎn)桿35前端的各保持構(gòu)件36維持在退避到不與輸送托盤(pán)10接觸的位置的狀態(tài)，另一方面利用上述升降缸31使上述抬起構(gòu)件33上升，將層疊了多層的輸送托盤(pán)10抬起至使最下層的輸送托盤(pán)10的凹部12到達(dá)設(shè)置在上述各旋轉(zhuǎn)桿35前端的各保持構(gòu)件36的位置處。

然后，如圖13(A)、圖13(B)所示，進(jìn)行如下準(zhǔn)備：利用上述各回轉(zhuǎn)式致動(dòng)器34，使設(shè)置在各旋轉(zhuǎn)桿35前端的各保持構(gòu)件36朝向最下層的輸送托盤(pán)10的凹部12旋轉(zhuǎn)約90度，將各保持構(gòu)件36經(jīng)過(guò)最下層的輸送托盤(pán)10的凹部12后，引導(dǎo)到位于最下層的輸送托盤(pán)10上方的從下起算第二層的輸送托盤(pán)10的下方，利用設(shè)置在各旋轉(zhuǎn)桿35前端的各保持構(gòu)件36，對(duì)在比最下層的輸送托盤(pán)10更靠上方的位置處層疊的各輸送托盤(pán)10進(jìn)行保持。

接著，如圖14(A)、圖14(B)所示，在利用上述升降缸31使上述抬起構(gòu)件33下降，利用設(shè)置在各旋轉(zhuǎn)桿35前端的各保持構(gòu)件36，對(duì)在比最下層的輸送托盤(pán)10更靠上方的位置處層疊了的各輸送托盤(pán)10進(jìn)行保持后，進(jìn)一步利用升降缸31使抬起構(gòu)件33下降，使處于被保持在抬起構(gòu)件33上的狀態(tài)的僅最下層的輸送托盤(pán)10下降，將僅最下層的輸送托盤(pán)10保持在輸送托盤(pán)分離部22中的輸送輥25上，在使抬起構(gòu)件33下降到比輸送輥25更靠下方的位置后，將保持在輸送托盤(pán)分離部22中的輸送輥25上方的最下層的輸送托盤(pán)10輸送到熱處理部23中。

然后，在將最下層的輸送托盤(pán)10輸送到熱處理部23后，如圖15(A)、圖15(B)所示，在如上述這樣利用各保持構(gòu)件36對(duì)其余層疊后的輸送托盤(pán)10進(jìn)行保持的狀態(tài)下，利用上述升降缸31使上述抬起構(gòu)件33上升，利用該抬起構(gòu)件33對(duì)利用各保持構(gòu)件36保持的其余層疊后的輸送托盤(pán)10進(jìn)行保持。

在這樣利用抬起構(gòu)件33對(duì)其余層疊后的輸送托盤(pán)10進(jìn)行保持的狀態(tài)下，如圖16(A)、圖16(B)所示，利用上述各回轉(zhuǎn)式致動(dòng)器34，使設(shè)置在各旋轉(zhuǎn)桿35前端的各保持構(gòu)件36沿與上述的情況相反的方向旋轉(zhuǎn)，在使各保持構(gòu)件36退避到不與輸送托盤(pán)10接觸的位置后，利用升降缸31使上述抬起構(gòu)件33下降，將保持在抬起構(gòu)件33上的其余層疊后的輸送托盤(pán)10保持在輸送托盤(pán)分離部22中的輸送輥25上。

接著，重復(fù)進(jìn)行上述這樣的操作，使搬入到輸送托盤(pán)分離部22中的輸送輥25上方的多層的輸送托盤(pán)10逐層依次分離后輸送到熱處理部23進(jìn)行熱處理。

另外，在本實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，通過(guò)在輸送托盤(pán)10的相對(duì)的側(cè)壁11的上緣中央部設(shè)置凹部12，在直接將輸送托盤(pán)10層疊的狀態(tài)下，將設(shè)置在各旋轉(zhuǎn)桿35的前端的各保持構(gòu)件36經(jīng)過(guò)該輸送托盤(pán)10上的凹部12而引導(dǎo)到位于該輸送托盤(pán)10上方的輸送托盤(pán)10的下方，利用各保持構(gòu)件36對(duì)位于上方的輸送托盤(pán)10進(jìn)行保持，使位于上方的輸送托盤(pán)10與位于下方的輸送托盤(pán)10分離，但設(shè)置在輸送托盤(pán)10上的凹部12的位置以及數(shù)量不限定于此。

例如，如圖17所示，也可以在輸送托盤(pán)10的底面13的四個(gè)角落設(shè)置凹部12，從而能在將輸送托盤(pán)10直接層疊的狀態(tài)下，使設(shè)置在各旋轉(zhuǎn)桿35前端的各保持構(gòu)件36與上述四個(gè)角落的凹部12卡合，利用各保持構(gòu)件36對(duì)輸送托盤(pán)10進(jìn)行保持。

另外，在本實(shí)施方式的連續(xù)熱處理設(shè)備中，在將保持在輸送托盤(pán)分離部22中的輸送輥25上的輸送托盤(pán)10抬起時(shí)，在輸送托盤(pán)分離部22的底板22a的下方設(shè)置升降缸31，但將保持在輸送托盤(pán)分離部22中的輸送輥25上的輸送托盤(pán)10抬起的方法不限定于此。

例如也可以利用升降裝置(未圖示)使上述各回轉(zhuǎn)式致動(dòng)器34升降，但是這會(huì)使裝置復(fù)雜化，并且存在成本增加，維護(hù)也變得困難等問(wèn)題。