技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及抗蝕劑剝離液組合物使用其的抗蝕劑剝離方法，更詳細地說，涉及如下的抗蝕劑剝離液組合物，該抗蝕劑剝離液組合物通過包含乙醇胺、化學(xué)式1所表示的酰胺和在苯環(huán)具有兩個以上取代基的苯并三唑系防腐蝕劑，從而顯示出優(yōu)異的剝離能力，與此同時，能夠使對下部金屬配線、絕緣膜的腐蝕最小化，并且經(jīng)時穩(wěn)定性優(yōu)異，能夠從根本上抑制自身反應(yīng)導(dǎo)致的抗蝕劑剝離能力下降、副產(chǎn)物生成等問題。

技術(shù)研發(fā)人員：崔漢永;高京俊;李喻珍
受保護的技術(shù)使用者：東友精細化工有限公司
文檔號碼：201610669090
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.15
技術(shù)公布日：2017.03.01