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利用真空磁控濺射鍍膜技術(shù)制備鋰電池C?Si負(fù)極涂層的方法與流程

文檔序號(hào):11840652閱讀:641來源:國知局

本發(fā)明涉及鋰電池器件及鋰電池材料制造技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種利用真空磁控濺射鍍膜技術(shù)制備鋰電池C-Si負(fù)極涂層的方法。



背景技術(shù):

鋰離子電池常用負(fù)極材料為石墨材料,具有眾多優(yōu)良的素質(zhì),但隨之鋰電池技術(shù)的發(fā)展,對(duì)負(fù)極比容量,循環(huán)性能以及安全性能等都提出了更高的要求。Si負(fù)極也因其具有較高的比容量(4200mAh/g)受到了科學(xué)界的關(guān)注,但由于其在嵌鋰過程中會(huì)發(fā)生嚴(yán)重的的膨脹,體積膨脹達(dá)300%,限制了Si負(fù)極在鋰離子負(fù)極中的應(yīng)用。

硅碳復(fù)合材料可以很好的解決Si負(fù)極膨脹的問題,同時(shí)具有較高的比容量(1400mAh/g),成為了未來鋰離子電池負(fù)極材料的理想材料。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷和不足,提供一種利用真空磁控濺射鍍膜技術(shù)制備鋰電池C-Si負(fù)極涂層的方法,它通過磁控濺射真空鍍膜技術(shù)在鋰電池負(fù)極銅箔上沉積一層C-Si復(fù)合負(fù)極薄膜,以提高負(fù)極電極電性能。

為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一種利用真空磁控濺射鍍膜技術(shù)制備鋰電池C-Si負(fù)極涂層的方法,它包括以下步驟:

a、將負(fù)極基材安裝到極片架上;

b、開啟連續(xù)式真空磁控濺射鍍膜設(shè)備,調(diào)整設(shè)備至可鍍膜工藝條件;

c、投入待鍍膜基片架-銅箔;

d、離子源等離子轟擊剝離銅箔表面氧化層、去除表面尖峰;

e、直流濺鍍C-Si膜;

f、加熱退火處理;

g、出料后特性檢查。

優(yōu)選的,所述步驟a中的負(fù)極基材為薄膜型復(fù)合材料。

優(yōu)選的,所述步驟b中可鍍膜工藝條件為:本底真空度5x10-3Pa、工藝氣氛3x10-1Pa、加熱溫度80-200℃、離子源功率0.2-3W、直流磁控濺射陰極功率1-10W、鍍膜速度0.1-5m/s。

優(yōu)選的,所述步驟e中同時(shí)在銅箔上濺鍍C及Si材料,兩種材料濺鍍時(shí)相互摻雜,在銅箔表面形成C-Si膜。

采用上述結(jié)構(gòu)后,本發(fā)明有益效果為:

1、利用現(xiàn)有的真空磁控濺射鍍膜實(shí)驗(yàn)設(shè)備,實(shí)現(xiàn)摻雜濺射制備C-Si復(fù)合薄膜。

2、利用對(duì)單陰極各種材料版面和陰極濺射功率的控制,實(shí)現(xiàn)了摻雜比例靈活可調(diào)節(jié)。

3、真空環(huán)境中高溫退火,提高了材料的結(jié)晶度。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施方案,對(duì)本發(fā)明實(shí)施方案中的技術(shù)進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施方案僅僅是本發(fā)明一部分方案,而不是全部的實(shí)施方案?;诒景l(fā)明中的實(shí)施方案,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施方案,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

本具體實(shí)施方式采用以下具體步驟:

a、將負(fù)極基材安裝到極片架上;

b、開啟連續(xù)式真空磁控濺射鍍膜設(shè)備,調(diào)整設(shè)備至可鍍膜工藝條件;

c、投入待鍍膜基片架-銅箔;

d、離子源等離子轟擊剝離銅箔表面氧化層、去除表面尖峰;

e、直流濺鍍C-Si膜;

f、加熱退火處理;

g、出料后特性檢查。

步驟a中的負(fù)極基材為薄膜型復(fù)合材料;步驟b中可鍍膜工藝條件為:本底真空度5x10-3Pa、工藝氣氛3x10-1Pa、加熱溫度80-200℃、離子源功率0.2-3W、直流磁控濺射陰極功率1-10W、鍍膜速度0.1-5m/s;步驟e中同時(shí)在銅箔上濺鍍C及Si材料,兩種材料濺鍍時(shí)相互摻雜,在銅箔表面形成C-Si膜。

本具體實(shí)施方式使用真空磁控濺射鍍膜技術(shù)對(duì)鋰電池C-Si負(fù)極涂層進(jìn)行處理,在真空環(huán)境下,利用真空等離子體轟擊剝離銅箔表面氧化層、去除表面尖峰,通過直流濺鍍銅膜和加熱退火處理;形成一層致密的負(fù)極涂層,以提高鋰電池負(fù)極電極電性能。

盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施方案,對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以理解在不脫離本發(fā)明的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施方案進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型,本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。

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