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層疊型硬質皮膜和成形用模具的制作方法

文檔序號:12070586閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種層疊型硬質皮膜,其特征在于,為組成不同的層A和層B層疊而成的層疊型硬質皮膜,

所述層A由(TiaCrbAlcSid)(CxN1-x)構成,

設Ti、Cr、Al、Si和C的原子比分別為a、b、c、d和x時,滿足0≤a≤0.10,0.10≤b≤0.50,0.50≤c≤0.90,0≤d≤0.05,a+b+c+d=1,0≤x≤0.5,的關系,并且,

所述層B由(CreSi1-e)(CyN1-y)構成,

設Cr和C的原子比分別為e和y時,

滿足0.90≤e≤1.0,0≤y≤0.5的關系,或者,

由(AlfSi1-f)(CzN1-z)構成,

設Al和C的原子比分別為f和z時,

滿足0.90≤f≤1.0,0≤z≤0.5的關系,

所述層A和層B的厚度分別為2~100nm,分別交替層疊。

2.根據(jù)權利要求1所述的層疊型硬質皮膜,其中,所述層A和所述層B的Ti、Cr、Al、Si的合計量中Al所占的原子比處于0.20~0.60的范圍。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的層疊型硬質皮膜,其中,以Zr置換所述層A中的Ti的至少一部分。

4.一種成形用模具,其中,具有權利要求1或2所述的層疊型硬質皮膜。

5.一種成形用模具,其中,在基材表面具有權利要求3所述的層疊型硬質皮膜。

6.根據(jù)權利要求4所述的成形用模具,其中,在所述層疊型硬質皮膜與所述基材之間具有厚度3~10μm的CrN的中間層。

7.根據(jù)權利要求5所述的成形用模具,其中,在所述層疊型硬質皮膜與所述基材之間具有厚度3~10μm的CrN的中間層。

8.根據(jù)權利要求6所述的成形用模具,其用于鋼鐵材料的熱成形。

9.根據(jù)權利要求7所述的成形用模具,其用于鋼鐵材料的熱成形。

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