技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的W?Ti濺射靶具有如下組成：含有5質(zhì)量％以上且20質(zhì)量％以下的范圍內(nèi)的Ti及25質(zhì)量ppm以上且100質(zhì)量ppm以下的范圍內(nèi)的Fe，且余量由W及不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成，在靶面內(nèi)的多處測定Fe濃度，并將所測定的Fe濃度的最大值設(shè)為Femax，F(xiàn)e濃度的最小值設(shè)為Femin的情況下，滿足(Femax?Femin)/(Femax+Femin)≤0.25這一關(guān)系式。

技術(shù)研發(fā)人員：野中莊平;齋藤淳;大友健志
受保護(hù)的技術(shù)使用者：三菱綜合材料株式會(huì)社
文檔號(hào)碼：201580021546
技術(shù)研發(fā)日：2015.09.30
技術(shù)公布日：2017.02.22