一種方便拆裝硅烷法cvd爐銅電極的工具的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)一種能夠方便拆裝硅烷法CVD爐銅電極的工具。它包括手柄、防撞固定架、防滑桿身、圓柱形連接頭（下部中空，有內(nèi)螺紋）。本實(shí)用新型涉及的是從一個(gè)中空的夾套中提取銅電極，此提取工具不但要求輕便，而且要垂直的把銅電極從夾套底部安全取出，避免銅電極在取出過(guò)程中撞傷夾套內(nèi)壁。此工具簡(jiǎn)化了檢修步驟，避免拆除夾套和放空導(dǎo)熱油的步驟，節(jié)省了成本和時(shí)間。
【專利說(shuō)明】-種方便拆裝硅烷法CVD爐銅電極的工具

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及一種方便拆裝硅烷法CVD爐銅電極的工具。

【背景技術(shù)】
[0002] 多晶硅是制備單晶硅和太陽(yáng)能電池的原材料，是全球電子及光伏產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。多 晶硅的純度與質(zhì)量與下游電池硅片的使用壽命以及太陽(yáng)能電池板的轉(zhuǎn)化率息息相關(guān)。而隨 著生產(chǎn)次數(shù)的增加，硅烷法CVD爐的電氣部件會(huì)產(chǎn)生勞損，特別是其中的銅電極中包含了 許多易損件，包括陶瓷絕緣件、密封件等，需要定時(shí)檢修。而硅烷法CVD爐常規(guī)的檢修時(shí)，由 于電極以及配件都在油夾套底部，檢修電極時(shí)，都需要把油夾套拆除，才能檢修，這就導(dǎo)致 需要放空油夾套內(nèi)的導(dǎo)熱油，造成導(dǎo)熱油的大量浪費(fèi)，且損壞了很多設(shè)備密封件，還加大了 檢修的工作量。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種方便拆裝硅烷法CVD爐銅電 極的工具，有效避免拆裝銅電極過(guò)程中導(dǎo)熱油大量浪費(fèi)且前置工作繁瑣的問(wèn)題。
[0004] 方便拆裝硅烷法CVD爐銅電極的工具包括手柄、防撞固定架、防滑桿身、圓柱形連 接頭；防滑桿身穿過(guò)防撞固定架，防滑桿身上端與手柄相連，下端與圓柱形連接頭相連，圓 柱形連接頭下部中空，帶有內(nèi)螺紋可與銅電極的上端螺紋配合。
[0005] 所述的防撞固定架在取銅電極的過(guò)程中可以固定在油夾套中間位置，防止油夾套 內(nèi)壁及銅電極的意外碰撞損傷。
[0006] 所述的防滑桿身具有防滑功能，避免因銅電極過(guò)重，在上提過(guò)程中意外滑脫。
[0007] 所述的圓柱形連接頭內(nèi)部的螺紋與銅電極外螺紋配套。
[0008] 本實(shí)用新型在拆裝銅電極的過(guò)程中，不需再拆卸油夾套清空導(dǎo)熱油，直接在油夾 套上方就可拆裝銅電極。與【背景技術(shù)】相比，有效減短了檢修時(shí)間，簡(jiǎn)化檢修步驟，節(jié)省了導(dǎo) 熱油，減少了密封件的損耗，降低了維護(hù)成本，尤其是能減少檢修難度，避免拆除夾套和放 空導(dǎo)熱油的步驟，節(jié)省了成本和時(shí)間。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009] 圖1為方便拆裝硅烷法CVD爐銅電極的工具的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010] 圖2為油夾套及銅電極位置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011] 圖3為本實(shí)用新型拆裝工具安放在油夾套上的位置示意圖；
[0012] 圖中，手柄1，防撞固定架2,防滑桿身3,圓柱形連接頭4。

【具體實(shí)施方式】
[0013] 如圖1所示，方便拆裝硅烷法CVD爐銅電極的工具包括手柄1、防撞固定架2、防滑 桿身3、圓柱形連接頭4 ;防滑桿身3穿過(guò)防撞固定架2,防滑桿身3上端與手柄1相連，下 端與圓柱形連接頭4相連，圓柱形連接頭4下部中空，帶有內(nèi)螺紋可與銅電極的上端螺紋配 合。
[0014] 所述的防撞固定架2在取銅電極的過(guò)程中可以固定在油夾套中間位置，防止油夾 套內(nèi)壁及銅電極的意外碰撞損傷。
[0015] 所述的防滑桿身3具有防滑功能，避免因銅電極過(guò)重，在上提過(guò)程中意外滑脫。
[0016] 所述的防滑桿身3的長(zhǎng)度為超過(guò)夾套少許。所述的圓柱形連接頭4內(nèi)部的螺紋與 銅電極外螺紋配套。
[0017] 圖2為油夾套及銅電極位置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2和圖3所示，本實(shí)用新型工作過(guò) 程如下：
[0018] 1)從油夾套上方把本實(shí)用新型的拆裝工具伸入油夾套內(nèi)，至底部銅電極處，固定 好防撞固定架2 ;
[0019] 2)從油夾套下部把銅電極頭上的圓柱形石墨電極旋開(kāi)并移出；
[〇〇2〇] 3)把本實(shí)用新型拆裝工具的圓柱形連接頭4與銅電極旋合并緩慢把其提出油夾 套。
【權(quán)利要求】
1. 一種方便拆裝硅烷法CVD爐銅電極的工具，其特征包括手柄（1)、防撞固定架（2)、防 滑桿身（3)、圓柱形連接頭（4);防滑桿身（3)穿過(guò)防撞固定架（2)，防滑桿身（3)上端與手柄 (1)相連，下端與圓柱形連接頭（4)相連，圓柱形連接頭（4)下部中空，帶有內(nèi)螺紋可與銅電 極的上端螺紋配合。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種方便拆裝硅烷法CVD爐銅電極的工具，其特征在于所述 的防撞固定架（2)在取銅電極的過(guò)程中可以固定在油夾套中間位置，防止油夾套內(nèi)壁及銅 電極的意外碰撞損傷。
【文檔編號(hào)】C23C16/50GK203878211SQ201420273977
【公開(kāi)日】2014年10月15日 申請(qǐng)日期:2014年5月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月27日
【發(fā)明者】陳德偉, 柴崗元, 蔣國(guó)城 申請(qǐng)人:浙江中寧硅業(yè)有限公司