一種用于真空鍍膜設(shè)備的襯底基座的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種用于真空鍍膜設(shè)備的襯底基座。本實(shí)用新型由帶溝槽的襯底面板、螺絲、螺母和金屬薄墊片組成。該襯底基座由帶溝槽的襯底面板、螺絲、螺母和金屬薄墊片組成；襯底面板的溝槽軌道至少有兩條，且軌道之間的距離至少為3cm，溝槽軌道的寬度能容下螺絲，且螺絲桿可以在溝槽中自由移動(dòng)，螺絲桿與螺母配合，螺絲桿上裝有可活動(dòng)的金屬薄墊片。本實(shí)用新型可根據(jù)襯底的面積大小、形狀差異進(jìn)行不同位置的靈活固定，簡(jiǎn)單方便，尤其對(duì)面積較小、數(shù)量眾多的襯底樣品有很好的緊固能力，具有很好的實(shí)用性。
【專利說(shuō)明】一種用于真空鍍膜設(shè)備的襯底基座
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于真空鍍膜【技術(shù)領(lǐng)域】，具體為一種用于真空鍍膜設(shè)備的襯底基座?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]真空鍍膜設(shè)備中，襯底的固定非常重要，但通常鍍膜設(shè)備中自帶的襯底基座只能固定具有一定面積或一定形狀的襯底，且位置可變動(dòng)性較小，對(duì)于面積比較小、數(shù)量比較多的襯底無(wú)法固定緊實(shí)，同時(shí)采用長(zhǎng)距離墊片又緊固不牢，另一方面對(duì)于面積較大的襯底又覆蓋太多，使襯底無(wú)法達(dá)到最大化利用。
[0003]發(fā)明目的
[0004]本實(shí)用新型的目的在于提出一種簡(jiǎn)單實(shí)用的用于真空鍍膜設(shè)備的襯底基座。
[0005]本實(shí)用新型提出的一種真空鍍膜設(shè)備的襯底基座，是由帶溝槽的襯底面板、螺絲、螺母和金屬薄墊片組成。
[0006]該襯底基座由帶溝槽的襯底面板、螺絲、螺母和金屬薄墊片組成；襯底面板的溝槽軌道至少有兩條，且軌道之間的距離至少為3 cm，溝槽軌道的寬度能容下螺絲，且螺絲桿可以在溝槽中自由移動(dòng)，螺絲桿與螺母配合，螺絲桿上裝有可活動(dòng)的金屬薄墊片。
[0007]進(jìn)一步說(shuō)，所述的溝槽軌道為直線軌道或圓型軌道。
[0008]進(jìn)一步說(shuō)，所述的金屬薄墊片用來(lái)固定襯底樣品，呈葉片狀。
[0009]進(jìn)一步說(shuō)，所述的螺絲桿設(shè)置有用來(lái)增加松緊度的中間有孔的圓形或方形墊片。
[0010]本實(shí)用新型的有益效果:本實(shí)用新型可根據(jù)襯底的面積大小、形狀差異進(jìn)行不同位置的靈活固定，簡(jiǎn)單方便，尤其對(duì)面積較小、數(shù)量眾多的襯底樣品有很好的緊固能力，具有很好的實(shí)用性。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1本實(shí)用新型的一種用于真空鍍膜設(shè)備的圓形襯底基座示意圖。
[0012]圖2本實(shí)用新型的一種用于真空鍍膜設(shè)備的方形襯底基座示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步描述:
[0014]本實(shí)用新型由帶溝槽的襯底面板、螺絲螺母和金屬薄墊片組成。襯底面板的溝槽軌道至少有兩條，可以是平行的直線軌道，也可以是半徑不同的圓型軌道，且兩條軌道之間的距離至少3 cm。溝槽軌道有一定的寬度，寬度以能容下配套螺絲為宜，且螺絲桿可以在溝槽中自由移動(dòng)。襯底面板的形狀不固定，可以是方形和圓形或者其他形狀。襯底面板、螺絲螺母以及金屬薄墊片的材質(zhì)需耐高溫。螺絲螺母是啞鈴式的，一端位于襯底面板的背面，另一端在襯底面板的正面，且位于背面的那一端的螺帽可以永久固定在螺絲上，也可以旋開。金屬薄墊片是帶圓孔(可以套在螺絲桿上)的一邊有一定長(zhǎng)度的葉片，類似柳樹葉子的形狀，且長(zhǎng)度適中，用來(lái)固定襯底樣品。一個(gè)襯底面板可以配多套螺絲螺母金屬薄墊片。除了用來(lái)固定襯底樣品的類似柳樹葉子狀的金屬薄墊片外，還可以有其它用來(lái)增加松緊度的中間有孔的普通圓形或方形墊片。
[0015]實(shí)施例1，如圖1為一種用于真空鍍膜設(shè)備的圓形襯底基座示意圖，由帶溝槽的襯底面板2、數(shù)量不受限制的螺絲螺母4和金屬薄墊片I組成，金屬薄墊片I在螺絲螺母4約束下限位于圓型軌道3內(nèi)滑動(dòng)，可根據(jù)襯底的面積大小、形狀差異進(jìn)行不同位置的靈活固定，簡(jiǎn)單方便，尤其對(duì)面積較小、數(shù)量眾多的襯底樣品有很好的緊固能力，具有很好的實(shí)用性。
[0016]實(shí)施例2，如圖2為一種用于真空鍍膜設(shè)備的方形襯底基座示意圖，其選用了平行的直線軌道，也可以通過(guò)調(diào)節(jié)螺絲螺母的位置，以及金屬薄墊片的方向來(lái)很好的對(duì)數(shù)量眾多的襯底樣品進(jìn)行緊固。
【權(quán)利要求】
1.一種用于真空鍍膜設(shè)備的襯底基座，其特征在于:該襯底基座由帶溝槽的襯底面板、螺絲、螺母和金屬薄墊片組成； 襯底面板的溝槽軌道至少有兩條，且軌道之間的距離至少為3 Cm，溝槽軌道的寬度能容下螺絲，且螺絲桿可以在溝槽中自由移動(dòng)，螺絲桿與螺母配合，螺絲桿上裝有可活動(dòng)的金屬薄墊片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底基座，其特征在于:所述的溝槽軌道為直線軌道或圓型軌道。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底基座，其特征在于:所述的金屬薄墊片用來(lái)固定襯底樣品，呈葉片狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底基座，其特征在于:所述的螺絲桿設(shè)置有用來(lái)增加松緊度的中間有孔的圓形或方形墊片。
【文檔編號(hào)】C23C14/50GK203768452SQ201420106671
【公開日】2014年8月13日 申請(qǐng)日期:2014年3月10日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月10日
【發(fā)明者】黃延偉 申請(qǐng)人:杭州電子科技大學(xué)