一種化學(xué)氣相沉積金剛石設(shè)備中使用的熱絲張緊機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型是一種化學(xué)氣相沉積金剛石設(shè)備中使用的熱絲張緊機(jī)構(gòu)，包括固定電極（5）、活動(dòng)電極（6）和熱絲（10）構(gòu)成的電極結(jié)構(gòu)；由第一橫梁（1）、第二橫梁（2）和滑動(dòng)塊（7）構(gòu)成的電極固定結(jié)構(gòu)；包括兩根支撐條（3）、一根橫條（4）、彈簧（8）和滑動(dòng)隔熱板（11）的張緊結(jié)構(gòu)。第二橫梁（2）、支撐條（3）、橫條（4）形成穩(wěn)定的一個(gè)固定架結(jié)構(gòu)；固定電極（5）和活動(dòng)電極（6）之間纏繞熱絲（10），并通過滑動(dòng)隔熱板（11和彈簧（8）固定在上述固定架內(nèi)。本實(shí)用新型能夠有效的將彈簧隔熱，確保熱絲加熱拉長變形時(shí)，其變形量始終被彈簧所吸收，同時(shí)簡化了結(jié)構(gòu)，僅需要一次調(diào)節(jié)就可以將多跟活動(dòng)電極調(diào)整到位，更適合一次使用多根電極的結(jié)構(gòu)。
【專利說明】一種化學(xué)氣相沉積金剛石設(shè)備中使用的熱絲張緊機(jī)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于化學(xué)氣相沉積金剛石領(lǐng)域，特別是涉及熱絲化學(xué)氣相沉積金剛石設(shè)備中使用的一種熱絲張緊機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]利用熱絲化學(xué)氣相沉積方法制備金剛石膜(厚膜或涂層)時(shí)(即CVD金剛石)，必須要用到加熱絲(鉭絲或鎢絲)。在使用時(shí)，熱絲要由一個(gè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行固定，同時(shí)要求在真空爐中加熱這個(gè)熱絲時(shí)，熱絲必須要能夠保持平直、繃緊，這對(duì)金剛石的生產(chǎn)至關(guān)重要。
[0003]中國專利CN20169508 “一種化學(xué)氣相沉積金剛石設(shè)備中使用的熱絲張緊機(jī)構(gòu)”，公開了的熱絲張緊機(jī)構(gòu)包括第一橫梁、第二橫梁、兩根支撐條、一根橫條、固定電極、活動(dòng)電極、活動(dòng)螺釘及彈簧；第一橫梁與第二橫梁平行相對(duì)；固定電極一端帶鉤并固定在第一橫梁上；活動(dòng)電極兩端帶鉤，通過活動(dòng)螺釘安裝在第二橫梁上；支撐條和橫條固定形成固定架；彈簧一端連接在活動(dòng)電極上，另一端固定在橫條上。該熱絲張緊機(jī)構(gòu)在金剛石制備過程中，隨著電流增加，加熱絲由于被加熱而拉長變形，但其變形量被彈簧所吸收，即可使加熱絲一直處于平直狀態(tài)。
[0004]該專利存在以下的問題:熱絲張緊機(jī)構(gòu)的加熱絲在工作過程中，彈簧始終處于高溫環(huán)境中，容易產(chǎn)生疲勞變形，喪失彈性，使加熱絲不能保持平直狀態(tài)存；在安裝活動(dòng)電極時(shí)，需要在框架內(nèi)對(duì)每一根活動(dòng)電極都需要擰動(dòng)固定螺釘調(diào)節(jié)；而且該螺釘處于高溫條件下，極易產(chǎn)生銹蝕，操作困難；該結(jié)構(gòu)一次處理的電極個(gè)數(shù)有限，增加電極處理個(gè)數(shù)，例如，一次處理10-20根電極，必須掛載10-20根彈簧，造成機(jī)構(gòu)復(fù)雜，使用和調(diào)整不方便，給實(shí)際操作帶來一定的困難。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型的目的是要克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)，提供一種使用效果好，結(jié)構(gòu)簡單、使用方便，并能夠延長張緊機(jī)構(gòu)的使用壽命的熱絲張緊機(jī)構(gòu)。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的，提出以下技術(shù)方案:
[0007]—種化學(xué)氣相沉積金剛石設(shè)備中使用的熱絲張緊機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述熱絲張緊機(jī)構(gòu)包括:
[0008]電極結(jié)構(gòu)，所述電極結(jié)構(gòu)包括固定電極5、活動(dòng)電極6和熱絲10 ；
[0009]電極固定結(jié)構(gòu)，所述電極固定結(jié)構(gòu)由第一橫梁1、第二橫梁2和滑動(dòng)塊7構(gòu)成；
[0010]張緊結(jié)構(gòu)，所述張緊結(jié)構(gòu)包括兩根支撐條3、一根橫條4、彈簧8和滑動(dòng)隔熱板11 ；其中，
[0011]所述第一橫梁I與第二橫梁2呈平行相對(duì)設(shè)置；兩根支撐條3縱向固定在第二橫梁2的兩端；兩根支撐條3的另外兩端與所述橫條4固定，所述第二橫梁2、支撐條3、橫條4形成穩(wěn)定的一個(gè)固定架結(jié)構(gòu)；
[0012]所述固定電極5的一端固定在第一橫梁I上，所述熱絲10之子形纏繞在固定電極5和活動(dòng)電極6相對(duì)兩端的掛鉤上；活動(dòng)電極6另一端通過活動(dòng)電極掛線13固定在滑動(dòng)隔熱板11上；所述滑動(dòng)隔熱板11通過彈簧8連接橫條4 ;所述滑動(dòng)隔熱板11可以在兩根支撐條3之間滑動(dòng)或被鎖定。
[0013]所述活動(dòng)電極6的中間結(jié)構(gòu)為長方形槽9，所述第二橫梁2安裝滑動(dòng)塊7，所述長方形槽9由滑動(dòng)塊7定位，并可以在滑動(dòng)塊7上水平往復(fù)滑動(dòng)。
[0014]所述彈簧8為兩根，分別安裝在滑動(dòng)隔熱板11上下兩端。
[0015]所述支撐條3中間部位開上下貫通的槽，所述滑動(dòng)隔熱板11在該槽內(nèi)滑動(dòng)；所述滑動(dòng)隔熱板11兩端穿過支撐條3的貫通槽安裝鎖定螺釘14，控制滑動(dòng)隔熱板11的鎖定和滑動(dòng)。
[0016]所述固定電極5和活動(dòng)電極6分別為10根~20根,其排列間距為10~20mm。
[0017]所述滑動(dòng)隔熱板11中間部位增加I根彈簧12。
[0018]所述活動(dòng)電極掛線13為直徑1-5MM鑰絲，所述滑動(dòng)塊7的材料為鎢或鑰。
[0019]所述第一橫梁1、第二橫梁2采用鎢桿或鑰桿；所述支撐條3和滑動(dòng)隔熱板11的材質(zhì)為耐高溫可加工絕緣陶瓷。
[0020]:所述橫條4材質(zhì)為鑰或不銹鋼。
[0021 ] 所述固定電極5和活動(dòng)電極6的材料為鉭或鑰。
[0022]本實(shí)用新型的熱絲張緊機(jī)構(gòu)，能夠有效的將彈簧隔熱，提高彈簧的使用壽命，確保熱絲加熱拉長變形時(shí)，其變形量始終被彈簧所吸收，保持平直狀態(tài)，同時(shí)，本實(shí)用新型簡化了結(jié)構(gòu)，僅需要一次調(diào)節(jié)就可以將多跟活動(dòng)電極調(diào)整到位，更適合一次使用多根電極的結(jié)構(gòu)，提高了工作效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2是本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例。
[0025]I第一橫梁8拉緊彈簧
[0026]2第二橫梁9長方形槽
[0027]3支撐條10熱絲
[0028]4橫條11滑動(dòng)隔熱板
[0029]5固定電極12穩(wěn)定彈簧
[0030]6活動(dòng)電極13活動(dòng)電極掛線
[0031]7滑動(dòng)塊14鎖緊螺釘
【具體實(shí)施方式】
[0032]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0033]本實(shí)用新 型的熱絲張緊機(jī)構(gòu)包括電極結(jié)構(gòu)、電極固定結(jié)構(gòu)和張緊結(jié)構(gòu)，所述電極結(jié)構(gòu)包括固定電極5、活動(dòng)電極6和熱絲10 ;所述電極固定結(jié)構(gòu)由第一橫梁1、第二橫梁2和滑動(dòng)塊7構(gòu)成；所述張緊結(jié)構(gòu)有兩根支撐條3、一根橫條4、彈簧8，12和滑動(dòng)隔熱板11。
[0034]電極固定結(jié)構(gòu)的第一橫梁I與第二橫梁2呈平行相對(duì)設(shè)置；張緊結(jié)構(gòu)的兩根支撐條3縱向固定在第二橫梁2的兩端；橫條4與兩根支撐條3的另外兩端固定形成框架，由第二橫梁2、支撐條3、橫條4形成穩(wěn)定的一個(gè)固定架結(jié)構(gòu)。
[0035]固定電極5—端固定在第一橫梁I上，另一端帶掛鉤；活動(dòng)電極6的結(jié)構(gòu)為兩端帶掛鉤，中間為長方形槽9，該長方形槽9通過第二橫梁2的滑動(dòng)塊7在第二橫梁2上定位，在垂直方向定位，在水平方向可滑動(dòng)；熱絲10繞接在固定電極5和活動(dòng)電極6的均有掛鉤的相對(duì)兩端，熱絲10形成之子形。
[0036]彈簧8 一端與橫條4固定連接，另一端與滑動(dòng)隔熱板11的一面固定連接；滑動(dòng)隔熱塊11的另一面通過活動(dòng)電極掛線13與活動(dòng)電極6另一端的掛鉤固定。
[0037]滑動(dòng)隔熱板11的上下兩端與兩根支撐條3的接觸面采用滑動(dòng)槽結(jié)構(gòu)，支撐條3中間部位開上下貫通的槽，滑動(dòng)隔熱板11在該槽內(nèi)滑動(dòng)。使用一個(gè)鎖定螺釘14穿過支撐條3的貫通槽擰在滑動(dòng)隔熱板極6固定，松開時(shí)活動(dòng)電極6則可隨滑動(dòng)隔熱板11作左右的橫向位移，確保在彈簧8的拉力下能及時(shí)拉起因加熱變長的熱絲10而不下垂。
[0038]所述活動(dòng)電極6在熱絲10加熱前繞絲時(shí)，活動(dòng)電極6的長方形槽9的右端抵靠滑動(dòng)塊7，同時(shí)擰緊鎖定螺釘14，滑動(dòng)隔熱板11和活動(dòng)電極6均被鎖定，此時(shí)熱絲10可以繃緊纏繞。
[0039]絲架安裝好后，活動(dòng)螺釘7松開，依靠彈簧的拉力保持熱絲10的繃緊狀態(tài)；在熱絲10被加熱后，熱絲10變長，變形量隨時(shí)被彈簧8吸收。
[0040]上述滑動(dòng)塊7用鎢或鑰材料；滑動(dòng)隔熱板11和支撐條3材質(zhì)為耐高溫可加工絕緣陶瓷；橫條4的材質(zhì)為鑰或不銹鋼；固定電極5及活動(dòng)電極6的材料為鉭或鑰；活動(dòng)電極掛線13為直徑l-5mm鑰絲。
[0041]本實(shí)用新型在具體使用時(shí)，按如下方法:
[0042]I)在爐外，按圖所示的結(jié)構(gòu)布置10?20根固定電極5和活動(dòng)電極6，在滑動(dòng)隔熱板11上下兩端上掛上兩根彈簧8 ;向左方向移動(dòng)滑動(dòng)隔熱板11，使活動(dòng)電極6的長方形槽9的右端抵靠滑動(dòng)塊7，同時(shí)擰緊鎖定螺釘14。
[0043]2)將熱絲10繞在固定電極5與活動(dòng)電極6的掛鉤上，此時(shí)熱絲10應(yīng)繃緊，不得有
垂落、彎曲。
[0044]3)整個(gè)機(jī)構(gòu)放入加熱爐后，與爐內(nèi)電極柱連接好，松開鎖緊螺釘14，隨著電流增大，熱絲10被加熱變長，在彈簧8的作用下，活動(dòng)電極6被滑動(dòng)隔熱板11向右橫向位移，熱絲10的變形量隨即被彈簧8所吸收，可使熱絲10 —直處于平直狀態(tài)。
[0045]圖2是本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例。在該結(jié)構(gòu)中，滑動(dòng)隔熱板11中間部位增加I根彈簧12，該彈簧12和上下兩根彈簧8共同作用，使滑動(dòng)隔熱板11在移動(dòng)中更穩(wěn)定。以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步的詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種化學(xué)氣相沉積金剛石設(shè)備中使用的熱絲張緊機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述熱絲張緊機(jī)構(gòu)包括: 電極結(jié)構(gòu)，所述電極結(jié)構(gòu)包括固定電極(5)、活動(dòng)電極(6)和熱絲(10)； 電極固定結(jié)構(gòu)，所述電極固定結(jié)構(gòu)由第一橫梁(I)、第二橫梁(2)和滑動(dòng)塊(7)構(gòu)成； 張緊結(jié)構(gòu)，所述張緊結(jié)構(gòu)包括兩根支撐條(3)、一根橫條(4)、彈簧(8)和滑動(dòng)隔熱板(11);其中， 所述第一橫梁(I)與第二橫梁(2 )呈平行相對(duì)設(shè)置；兩根支撐條(3 )縱向固定在第二橫梁(2)的兩端；兩根支撐條(3)的另外兩端與所述橫條(4)固定，所述第二橫梁(2)、支撐條(3)、橫條(4)形成穩(wěn)定的一個(gè)固定架結(jié)構(gòu)； 所述固定電極(5)的一端固定在第一橫梁(I)上，所述熱絲(10)之子形纏繞在固定電極(5)和活動(dòng)電極(6)相對(duì)兩端的掛鉤上；活動(dòng)電極(6)另一端通過活動(dòng)電極掛線(13)固定在滑動(dòng)隔熱板(11)上；所述滑動(dòng)隔熱板(11)通過彈簧(8)連接橫條(4);所述滑動(dòng)隔熱板(11)可以在兩根支撐條(3)之間滑動(dòng)或被鎖定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱絲張緊機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述活動(dòng)電極(6)的中間結(jié)構(gòu)為長方形槽(9)，所述第二橫梁(2)安裝滑動(dòng)塊(7)，所述長方形槽(9)由滑動(dòng)塊(7)定位，并可以在滑動(dòng)塊(7)上水平往復(fù)滑動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱絲張緊機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述彈簧(8)為兩根，分別安裝在滑動(dòng)隔熱板(11)上下兩端。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的熱絲張緊機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述支撐條(3)中間部位開上下貫通的槽，所述滑動(dòng)隔熱板(11)在該槽內(nèi)滑動(dòng)；所述滑動(dòng)隔熱板(11)兩端穿過支撐條(3)的貫通槽安裝鎖定螺釘(14)，控制滑動(dòng)隔熱板(11)的鎖定和滑動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱絲張緊機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述固定電極(5)和活動(dòng)電極(6)分別為10根?20根，其排列間距為10?20mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的熱絲張緊機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述滑動(dòng)隔熱板(11)中間部位增加I根彈簧(12)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的熱絲張緊機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述活動(dòng)電極掛線(13)為直徑I?5mm的鑰絲，所述滑動(dòng)塊(7)的材料為鎢或鑰。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種熱絲張緊機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述第一橫梁(I)、第二橫梁(2)采用鎢桿或鑰桿；所述支撐條(3)和滑動(dòng)隔熱板(11)的材質(zhì)為耐高溫可加工絕緣陶瓷。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種熱絲張緊機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述橫條(4)材質(zhì)為鑰或不銹鋼。
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種熱絲張緊機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述固定電極(5)和活動(dòng)電極(6)的材料為鉭或鑰。
【文檔編號(hào)】C23C16/27GK203754804SQ201420078816
【公開日】2014年8月6日 申請(qǐng)日期:2014年2月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月24日
【發(fā)明者】晏雙利 申請(qǐng)人:中科聯(lián)碳（北京）科技有限公司