蒸鍍源和蒸鍍裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種蒸鍍源和蒸鍍裝置。所述蒸鍍源內(nèi)設(shè)置有沿其長度方向分布的加熱件，所述加熱件包括多個串聯(lián)的加熱部，對應(yīng)于所述蒸鍍源的長度方向的兩端位置的加熱部的熱功率大于對應(yīng)于所述蒸鍍源的長度方向的中間位置的加熱部的熱功率。本發(fā)明中設(shè)置在蒸鍍源兩端位置的加熱部的熱功率比設(shè)置在中間位置的加熱部的熱功率大，因此能夠補(bǔ)償蒸鍍源兩端的熱量散失，使蒸鍍源內(nèi)的溫度分布更加均勻，從而使蒸鍍材料的消耗速率更均勻，延長了蒸鍍源的使用周期。
【專利說明】蒸鍍源和蒸鍍裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示設(shè)備制造【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種蒸鍍源和蒸鍍裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)蒸鍍裝置中使用的蒸鍍源主要有點源和線源兩種，點型蒸鍍源由于體積小，主要用于實驗線和早期量產(chǎn)線中，線型蒸鍍源由于能夠較好地控制膜厚的均勻性，得到了廣泛的應(yīng)用。
[0003]目前，線型蒸鍍源中的加熱線的分布皆采用等間距的方式，如圖1中所示，蒸鍍源11中的加熱線12以均勻的密度分布。然而，隨著蒸鍍源11的尺寸越做越大，這種方式會使其各個部位溫度差異較大。這是由于蒸鍍源11兩端的熱量散失比中間位置的熱量散失要大，因此造成溫度分布不均勻。在大型尺寸的線型蒸鍍源中，中間溫度與兩端溫度的差異甚至可達(dá)到30°C _40°C，這將使蒸鍍材料的消耗速率不均勻，對于量產(chǎn)而言，會縮短蒸鍍裝置的使用周期。
[0004]為了達(dá)到溫度分布的均勻性，現(xiàn)有的一種解決方法是在線型蒸鍍源的兩端另外多并聯(lián)設(shè)置一些加熱線，然而，這種解決方案會增加生產(chǎn)管理的風(fēng)險性與復(fù)雜性。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種蒸鍍源和蒸鍍裝置，以使蒸鍍源的溫度分布更加均勻，從而延長蒸鍍源的使用周期。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，作為本發(fā)明的第一個方面，提供一種蒸鍍源，所述蒸鍍源內(nèi)設(shè)置有沿其長度方向分布的加熱件，所述加熱件包括多個串聯(lián)的加熱部，對應(yīng)于所述蒸鍍源的長度方向的兩端位置的加熱部的熱功率大于對應(yīng)于所述蒸鍍源的長度方向的中間位置的加熱部的熱功率。
[0007]優(yōu)選地，所述加熱部為線圈，對應(yīng)于所述蒸鍍源的兩端位置的線圈的纏繞密度大于對應(yīng)于所述蒸鍍源的中間位置的線圈的纏繞密度。
[0008]優(yōu)選地，多個所述線圈的纏繞密度從所述蒸鍍源的中間位置向所述蒸鍍源的兩端位置逐漸增大。
[0009]優(yōu)選地，多個所述線圈關(guān)于所述蒸鍍源的長度方向的中心對稱。
[0010]優(yōu)選地，從所述蒸鍍源的長度方向的中心至任意一端依次設(shè)置有多個線圈，并且，在相鄰兩個線圈中，靠近端部的線圈的纏繞密度是靠近中心的線圈的纏繞密度的1.5倍。
[0011]優(yōu)選地，從所述蒸鍍源的長度方向的中心至任意一端依次設(shè)置有第一線圈、第二線圈、……、第N線圈，其中，N為大于零的自然數(shù)，并且，所述第N線圈的纏繞密度是所述第一線圈的纏繞密度的(N+l) X0.5倍。
[0012]優(yōu)選地，多個所述線圈由相同導(dǎo)電材料制作并形成一體化結(jié)構(gòu)。
[0013]優(yōu)選地，所述蒸鍍源還包括坩堝，所述加熱件用于加熱所述坩堝，所述坩堝用于放置蒸鍍材料。
[0014]作為本發(fā)明的第二個方面，還提供一種蒸鍍裝置，所述蒸鍍裝置包括本發(fā)明所提供的上述蒸鍍源。
[0015]優(yōu)選地，所述蒸鍍裝置還包括設(shè)置在所述蒸鍍源兩端外側(cè)的反射板，所述反射板的反射面朝向所述蒸鍍源設(shè)置。
[0016]本發(fā)明中設(shè)置在蒸鍍源兩端位置的加熱部的熱功率比設(shè)置在中間位置的加熱部的熱功率大，因此能夠補(bǔ)償蒸鍍源兩端的熱量散失，使蒸鍍源內(nèi)的溫度分布更加均勻，從而使蒸鍍材料的消耗速率更均勻，延長了蒸鍍源的使用周期。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]附圖是用來提供對本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的【具體實施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。
[0018]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中蒸鍍源的示意圖；
[0019]圖2是本發(fā)明實施例所提供的蒸鍍源的示意圖之一；
[0020]圖3是本發(fā)明實施例所提供的蒸鍍源的示意圖之二。
[0021]在附圖中，11:現(xiàn)有技術(shù)中的蒸鍍源；12:加熱線；21:本發(fā)明中的蒸鍍源；22:力口熱件；220:加熱部；23:反射板。

【具體實施方式】
[0022]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】進(jìn)行詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0023]本發(fā)明首先提供一種蒸鍍源，如圖2中所示。所述蒸鍍源21內(nèi)設(shè)置有沿其長度方向分布的加熱件22，加熱件22包括多個串聯(lián)的加熱部220。其中，對應(yīng)于蒸鍍源21的長度方向的兩端位置的加熱部220的熱功率大于對應(yīng)于蒸鍍源21的長度方向的中間位置的加熱部220的熱功率。例如在圖2中，a、b、c分別表示相應(yīng)的加熱部220的長度。那么，長度為a的加熱部220的熱功率大于長度為c的加熱部220的熱功率。
[0024]本發(fā)明中設(shè)置在蒸鍍源21兩端位置的加熱部220的熱功率比設(shè)置在中間位置的加熱部220的熱功率大，因此能夠補(bǔ)償蒸鍍源21兩端的熱量散失，使蒸鍍源21內(nèi)的溫度分布更加均勻，從而使蒸鍍材料的消耗速率更均勻，不會造成蒸鍍源21內(nèi)中間位置的蒸鍍材料已耗盡，而兩端位置蒸鍍材料還剩余較多的情況，從而延長了蒸鍍源21的使用周期。并且，本發(fā)明中的加熱部220串聯(lián)設(shè)置，與現(xiàn)有技術(shù)相比，不需要在蒸鍍源21的兩端并聯(lián)設(shè)置額外的加熱件，可簡化蒸鍍源的結(jié)構(gòu)，便于在生產(chǎn)過程中進(jìn)行管控，降低管控風(fēng)險性和復(fù)雜性。
[0025]在本發(fā)明中，加熱件22可以由電阻絲制成。例如，加熱件22可以是金屬材料制成的加熱電阻絲，金屬的熱量傳遞效率較高，很適合用于制造蒸鍍源21的加熱件22。
[0026]具體地，加熱部220為線圈，S卩，加熱件22包括多個串聯(lián)的線圈。對應(yīng)于蒸鍍源21的兩端位置的線圈的纏繞密度大于對應(yīng)于蒸鍍源21的中間位置的線圈的纏繞密度。并且，多個所述線圈的纏繞密度從蒸鍍源21的中間位置向蒸鍍源21的兩端位置逐漸增大。
[0027]以圖2為例，當(dāng)加熱部220為線圈時，a、b、c分別表示各段線圈的長度。也就是說，長度為a的線圈的纏繞密度大于長度為b的線圈的纏繞密度，長度為b的線圈的纏繞密度大于長度為C的線圈的纏繞密度。
[0028]將加熱部220設(shè)置為線圈不僅便于生產(chǎn)制造，而且能夠精確控制每段線圈的纏繞密度，從而精確控制不同加熱部220的熱功率。
[0029]進(jìn)一步地，多個所述線圈關(guān)于蒸鍍源21的長度方向的中心對稱。如圖2中所示，長度為b的線圈和長度為a的線圈在長度為c的線圈兩側(cè)對稱設(shè)置。當(dāng)使用蒸鍍源21進(jìn)行加熱時，這種對稱設(shè)置能夠使其內(nèi)部熱量及溫度的分布更加均勻，不會造成蒸鍍源21內(nèi)中間位置的蒸鍍材料已耗盡，而兩端位置蒸鍍材料還剩余較多的情況，從而延長了蒸鍍源21的使用周期。
[0030]并且，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明無需額外增加加熱件22的數(shù)量，只需要調(diào)節(jié)各段線圈的纏繞密度，即可達(dá)到使蒸鍍源21內(nèi)溫度均勻分布的目的，降低了生產(chǎn)管理的風(fēng)險性和復(fù)雜性。
[0031]作為本發(fā)明的第一種【具體實施方式】，從蒸鍍源21的長度方向的中心至任意一端依次設(shè)置有多個線圈，并且，在相鄰兩個線圈中，靠近端部的線圈的纏繞密度是靠近中心的線圈的纏繞密度的1.5倍。
[0032]作為本發(fā)明的第二種【具體實施方式】，從蒸鍍源21的長度方向的中心至任意一端依次設(shè)置有第一線圈、第二線圈、……、第N線圈，其中，N為大于零的自然數(shù)，并且，所述第N線圈的纏繞密度是所述第一線圈的纏繞密度的(N+l) X0.5倍。
[0033]也就是說，如果假設(shè)位于中心處的第一線圈的纏繞密度為1，那么第二線圈的纏繞密度為1.5，第三線圈的纏繞密度是2，以此類推。
[0034]需要說明的是，本發(fā)明并不局限于以上兩種實施方式。在進(jìn)行蒸鍍工藝時，可以根據(jù)蒸鍍源21的具體尺寸、加熱件22的材質(zhì)、以及待蒸鍍材料的揮發(fā)特性來綜合確定各段線圈的具體纏繞密度，理論上可以將蒸鍍源21兩端位置與中間位置的溫度的差異控制在1%以下。
[0035]在本發(fā)明中，可以將多個線圈分別按照各自的纏繞密度制造后再進(jìn)行串聯(lián)，或者，多個線圈由相同導(dǎo)電材料制作并形成一體化結(jié)構(gòu)，只需要使相應(yīng)位置的纏繞密度不同即可。也就是說，本發(fā)明中的加熱件22可以是一個整體的線圈，該線圈在蒸鍍源21的中間位置纏繞較松，在蒸鍍源21的兩端位置纏繞較密，通過調(diào)整該線圈在不同位置的纏繞密度，就能夠?qū)崿F(xiàn)使蒸鍍源21內(nèi)的熱量均勻分布。將多個線圈制作為一體化結(jié)構(gòu)能夠簡化加熱件22的制造流程，便于生產(chǎn)管控。
[0036]進(jìn)一步地，蒸鍍源21還包括坩堝，加熱件22用于加熱所述坩堝，所述坩堝用于放置蒸鍍材料。通常，蒸鍍材料沿蒸鍍源21的長度方向均勻分布，因此，當(dāng)蒸鍍源21內(nèi)的溫度分布更加均勻時，能夠使蒸鍍材料在各個位置的消耗速率更加均勻，從而使蒸鍍源21具有更長的使用周期。
[0037]本發(fā)明還提供了一種蒸鍍裝置，所述蒸鍍裝置包括本發(fā)明所提供的上述蒸鍍源。如上所述，本發(fā)明所提供的蒸鍍裝置由于熱量及溫度分布更加均勻，因此具有較長的使用周期。
[0038]優(yōu)選地，如圖3中所示，所述蒸鍍裝置還包括設(shè)置在蒸鍍源21兩端外側(cè)的反射板23，反射板23的反射面朝向蒸鍍源21設(shè)置。反射板23能夠?qū)⒄翦冊?1兩側(cè)散失的部分熱量反射回去，以降低蒸鍍源21兩側(cè)的熱量損失，進(jìn)一步提高所述蒸鍍裝置中溫度分布的均勻性。
[0039]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種蒸鍍源，所述蒸鍍源內(nèi)設(shè)置有沿其長度方向分布的加熱件，其特征在于，所述加熱件包括多個串聯(lián)的加熱部，對應(yīng)于所述蒸鍍源的長度方向的兩端位置的加熱部的熱功率大于對應(yīng)于所述蒸鍍源的長度方向的中間位置的加熱部的熱功率。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍源，其特征在于，所述加熱部為線圈，對應(yīng)于所述蒸鍍源的兩端位置的線圈的纏繞密度大于對應(yīng)于所述蒸鍍源的中間位置的線圈的纏繞密度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍源，其特征在于，多個所述線圈的纏繞密度從所述蒸鍍源的中間位置向所述蒸鍍源的兩端位置逐漸增大。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蒸鍍源，其特征在于，多個所述線圈關(guān)于所述蒸鍍源的長度方向的中心對稱。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蒸鍍源，其特征在于，從所述蒸鍍源的長度方向的中心至任意一端依次設(shè)置有多個線圈，并且，在相鄰兩個線圈中，靠近端部的線圈的纏繞密度是靠近中心的線圈的纏繞密度的1.5倍。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蒸鍍源，其特征在于，從所述蒸鍍源的長度方向的中心至任意一端依次設(shè)置有第一線圈、第二線圈、……、第N線圈，其中，N為大于零的自然數(shù)，并且，所述第N線圈的纏繞密度是所述第一線圈的纏繞密度的(N+l) X0.5倍。
7.根據(jù)權(quán)利要求2至6中任意一項所述的蒸鍍源，其特征在于，多個所述線圈由相同導(dǎo)電材料制作并形成一體化結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任意一項所述的蒸鍍源，其特征在于，所述蒸鍍源還包括坩堝，所述加熱件用于加熱所述坩堝，所述坩堝用于放置蒸鍍材料。
9.一種蒸鍍裝置，其特征在于，包括權(quán)利要求1至8中任意一項所述的蒸鍍源。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置還包括設(shè)置在所述蒸鍍源兩端外側(cè)的反射板，所述反射板的反射面朝向所述蒸鍍源設(shè)置。
【文檔編號】C23C14/24GK104404451SQ201410784050
【公開日】2015年3月11日 申請日期:2014年12月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月16日
【發(fā)明者】黃俊淞, 葉嵐凱 申請人:合肥鑫晟光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司